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Innere Defekte, Spannungskonzentration und Rissausbreitung bei ITO-Sputtertargets – VIMATERIAL

Warum entstehen Risse oder Explosionen bei ITO-Sputter-Targets? Erläuterungen zur Sinterstruktur und Spannungskontrolle

ITO-Sputter-Targets (Indium-Zinn-Oxid) werden häufig zur Herstellung transparenter leitfähiger Schichten für Displays, Touchpanels, Photovoltaikgeräte und andere optoelektronische Anwendungen eingesetzt. Beim Magnetron-Sputtern können ITO-Targets jedoch Risse, Abplatzungen, abnormale Lichtbogenbildung oder sogar plötzliche Brüche entwickeln, was gemeinhin als

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