Il tungsteno il bersaglio rotante è un bersaglio cavo realizzato in tungsteno di elevata purezza mediante pressatura isostatica a caldo (HIP), spruzzatura al plasma, sinterizzazione o filatura, ampiamente utilizzato nel processo di deposizione di film sottili di schermi piatti, celle solari, vetro fotovoltaico e pannelli tattili. L’elevato punto di fusione, l’alta densità e l’eccellente conducibilità elettrica e termica fanno sì che il film presenti un’ottima stabilità strutturale e un’ottima uniformità in ambienti sotto vuoto ad alta temperatura.
I target rotanti in tungsteno forniti da VIMATERIAL hanno un elevato punto di fusione e stabilità termica, una rapida velocità di produzione del film, uno strato uniforme, un elevato tasso di riciclaggio, un’elevata purezza, una bassa impurità e una forte resistenza alla corrosione, contattateci per il supporto tecnico.
Formula chimica: W
Densità: 19,3 g/cm³.
Punto di fusione: 3422°C
Resistività: circa 5,5 μΩ-cm
Struttura cristallina cubica a corpo centrato (BCC)
Dimensioni: personalizzate in base all’attrezzatura
Display a schermo piatto: I target di tungsteno a tubo rotante sono ampiamente utilizzati per lo sputtering a film sottile di elettrodi metallici nella produzione di TFT-LCD e OLED per fornire un percorso conduttivo stabile. L’elevata purezza e il basso tasso di particelle garantiscono la qualità del display e la resa del pannello.
Rivestimento del vetro solare fotovoltaico: Nel rivestimento low-e del vetro fotovoltaico, i target di tungsteno sono utilizzati per depositare strati di film funzionali altamente riflettenti o riflettenti all’infrarosso. La loro elevata uniformità contribuisce a migliorare la trasmissione della luce e l’efficienza di conversione delle celle. 3.
Deposito di materiale sostitutivo per touch screen e ITO: Come materiale conduttivo a film sottile per sputtering, il tungsteno metallico può essere co-sputato con ossidi per formare uno strato conduttivo trasparente in sostituzione dell’ITO. Come materiale conduttivo a film sottile per sputtering, il tungsteno può essere co-sputato con ossidi per formare strati conduttivi trasparenti al posto dell’ITO. I target di tungsteno hanno un’eccellente adesione e stabilità dello strato e sono adatti per schermi flessibili e altre tecnologie di visualizzazione emergenti.
Semiconduttori e microelettronica: Come materiale di interconnessione metallica ad alte prestazioni, il tungsteno metallico può essere utilizzato per la deposizione dello strato di inserimento di gate e contatti nei processi BEOL (back-end-of-chip). I target di tungsteno vengono depositati mediante sputtering magnetronico per formare film metallici ad alta densità con bassa resistenza e buona stabilità termica.
VIMATERIALE implementa rigorosamente un sistema di gestione della qualità per garantire la coerenza e l’elevato standard dei nostri prodotti durante l’intero processo di R&S, produzione, spedizione e assistenza. Tutti i lotti devono superare i test standardizzati prima di lasciare la fabbrica e qualsiasi deviazione viene gestita secondo la procedura 8D. Siamo pienamente conformi agli standard internazionali come REACH e ASTM e ci impegniamo a costruire una catena di approvvigionamento sostenibile e socialmente responsabile.
I bersagli rotanti in tungsteno sono confezionati sottovuoto singolarmente e inseriti in scatole di legno personalizzate.
I bersagli rotanti al tungsteno vengono conservati in un ambiente asciutto, pulito e al riparo dalla luce per evitare l’ossidazione e la contaminazione della superficie; la temperatura di conservazione consigliata è di 5-35°C e l’umidità relativa <50%; possono essere rimessi sottovuoto quando non vengono utilizzati per un lungo periodo.
Q1: Che cos’è un bersaglio di tungsteno?
R: Un bersaglio di tungsteno è un materiale solido di elevata purezza utilizzato nei processi di sputtering per depositare film sottili di tungsteno su un substrato. Serve come materiale di partenza che rilascia atomi di tungsteno sotto bombardamento ionico, formando rivestimenti funzionali in elettronica, ottica, celle solari e altre applicazioni high-tech.
D2: Perché il tungsteno viene utilizzato come materiale di destinazione?
R: Il tungsteno viene utilizzato come bersaglio per lo sputtering grazie alla sua elevata stabilità termica, alla buona conducibilità elettrica, alla forte resistenza meccanica e alla capacità di formare film sottili densi e uniformi. Inoltre, si comporta in modo affidabile in ambienti di sputtering ad alta temperatura e ad alta energia.
D3: Quale materiale viene miscelato con il tungsteno per formare un bersaglio?
R: Il tungsteno può essere utilizzato in forma pura o combinato con altri elementi, a seconda dell’applicazione. Le combinazioni più comuni includono leghe di tungsteno o composti di tungsteno come l’ossido di tungsteno (WOₓ) o il siliciuro di tungsteno (WSiₓ), che vengono utilizzati per ottenere specifiche proprietà elettriche o ottiche.
D4: Quali sono le funzioni del tungsteno?
R: Il tungsteno è ampiamente utilizzato nell’elettronica, nei semiconduttori, nelle celle solari, nell’ottica, nel settore aerospaziale e nelle apparecchiature mediche. Le sue funzioni principali includono elettrodi, materiali di interconnessione, strati barriera, rivestimenti protettivi e componenti per ambienti ad alta temperatura e radiazioni.
VI HALBLEITERMATERIAL GmbH (VIMATERIAL) impiega un rigoroso sistema di garanzia della qualità per assicurare l’affidabilità dei nostri prodotti. Il controllo di qualità è rigoroso in tutta la catena di produzione e per i prodotti difettosi applichiamo rigorosamente il principio della rilavorazione e del rifacimento. Ogni lotto viene rilasciato solo dopo aver superato dettagliati test sulle specifiche.
Ogni lotto dei nostri materiali viene testato in modo indipendente e, se necessario, inviamo campioni ad aziende certificate per i test. Forniamo questi documenti e i certificati di analisi con la spedizione per certificare che i nostri prodotti soddisfano gli standard richiesti.
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