Tungstène la cible rotative est une cible creuse fabriquée en tungstène de haute pureté par pressage isostatique à chaud (HIP), pulvérisation de plasma, frittage ou filage. Elle est largement utilisée dans le processus de dépôt de couches minces pour les écrans plats, les cellules solaires, le verre photovoltaïque et les panneaux tactiles. Son point de fusion élevé, sa haute densité et son excellente conductivité électrique et thermique lui confèrent une excellente stabilité structurelle et une grande uniformité de film dans un environnement sous vide à haute température.
Les cibles rotatives en tungstène fournies par VIMATERIAL présentent un point de fusion et une stabilité thermique élevés, un taux de production de film rapide, une couche de film uniforme, un taux de recyclage élevé, une grande pureté, une faible impureté et une forte résistance à la corrosion, contactez-nous pour une assistance technique.
Formule chimique : W
Densité : 19,3 g/cm³.
Point de fusion : 3422°C
Résistivité : environ 5,5 μΩ-cm
Structure cristalline Corps cubique centré (BCC)
Dimensions : personnalisées en fonction de l’équipement
Écrans plats : Les cibles rotatives en tungstène sont largement utilisées pour la pulvérisation de couches minces d’électrodes métalliques dans la production d’écrans TFT-LCD et d’écrans OLED afin de fournir un chemin conducteur stable. Sa grande pureté et son faible taux de particules garantissent la qualité de l’affichage et le rendement de l’écran.
Revêtement du verre solaire photovoltaïque : Dans le revêtement low-e du verre photovoltaïque, les cibles de tungstène sont utilisées pour déposer des couches de film fonctionnel hautement réfléchissant ou réfléchissant les infrarouges. Leur grande uniformité permet d’améliorer la transmission de la lumière et l’efficacité de conversion des cellules. 3.
Dépôt d’écrans tactiles et de matériaux de remplacement de l’ITO : En tant que matériau conducteur de pulvérisation en couche mince, le tungstène métallique peut être co-pulvérisé avec des oxydes pour former une couche conductrice transparente destinée à remplacer l’ITO. En tant que matériau conducteur de pulvérisation en couche mince, le tungstène peut être pulvérisé conjointement avec des oxydes pour former des couches conductrices transparentes à la place de l’ITO. Les cibles de tungstène ont une excellente adhérence et stabilité de couche, et conviennent aux écrans flexibles et autres technologies d’affichage émergentes.
Semi-conducteurs et microélectronique : En tant que matériau d’interconnexion métallique à haute performance, le tungstène métal peut être utilisé pour le dépôt de couches d’insertion de portes et de contacts dans les processus BEOL (back-end-of-chip). Les cibles de tungstène sont déposées par pulvérisation magnétron pour former des films métalliques de haute densité présentant une faible résistance et une bonne stabilité thermique.
VIMATERIAL applique rigoureusement un système de gestion de la qualité afin de garantir la cohérence et la qualité de ses produits tout au long du processus de R&D, de production, d’expédition et de service. Tous les lots doivent passer les tests normalisés avant de quitter l’usine et tout écart est traité conformément à la procédure 8D. Nous respectons pleinement les normes internationales telles que REACH et ASTM, et nous nous engageons à construire une chaîne d’approvisionnement durable et socialement responsable.
Les cibles rotatives en tungstène sont emballées sous vide individuellement et placées dans des boîtes en bois personnalisées.
Les cibles rotatives en tungstène sont stockées dans un environnement sec, propre et à l’abri de la lumière afin d’éviter l’oxydation et la contamination de la surface ; la température de stockage recommandée est de 5-35°C et l’humidité relative < 50% ; elles peuvent être remises sous vide lorsqu’elles n’ont pas été utilisées pendant une longue période.
Q1 : Qu’est-ce qu’une cible en tungstène ?
R : Une cible de tungstène est un matériau solide de haute pureté utilisé dans les processus de pulvérisation pour déposer des couches minces de tungstène sur un substrat. Elle sert de matériau source qui libère des atomes de tungstène sous l’effet d’un bombardement ionique, formant des revêtements fonctionnels dans l’électronique, l’optique, les cellules solaires et d’autres applications de haute technologie.
Q2 : Pourquoi le tungstène est-il utilisé comme matériau cible ?
R : Le tungstène est utilisé comme cible de pulvérisation en raison de sa grande stabilité thermique, de sa bonne conductivité électrique, de sa forte résistance mécanique et de sa capacité à former des couches minces denses et uniformes. Il est également fiable dans les environnements de pulvérisation à haute température et à haute énergie.
Q3 : Quel matériau est mélangé au tungstène pour former une cible ?
R : Le tungstène peut être utilisé à l’état pur ou combiné à d’autres éléments en fonction de l’application. Les combinaisons les plus courantes sont les alliages de tungstène ou les composés de tungstène tels que l’oxyde de tungstène (WOₓ) ou le siliciure de tungstène (WSiₓ), qui sont utilisés pour obtenir des propriétés électriques ou optiques spécifiques.
Q4 : Quelles sont les fonctions du tungstène ?
R : Le tungstène est largement utilisé dans l’électronique, les semi-conducteurs, les cellules solaires, l’optique, l’aérospatiale et les équipements médicaux. Ses principales fonctions consistent à servir d’électrodes, de matériaux d’interconnexion, de couches barrières, de revêtements protecteurs et de composants pour les environnements à haute température et à rayonnement.
VI HALBLEITERMATERIAL GmbH (VIMATERIAL) utilise un système d’assurance qualité rigoureux pour garantir la fiabilité de la qualité de ses produits. Un contrôle de qualité strict est mis en œuvre tout au long de la chaîne de production et, pour les produits défectueux, nous appliquons strictement le principe de la reprise et du remplacement. Chaque lot n’est libéré qu’après avoir passé des tests de spécification détaillés.
Chaque lot de nos matériaux est testé de manière indépendante et, si nécessaire, nous envoyons des échantillons à des entreprises certifiées pour qu’elles les testent. Nous fournissons ces documents et les certificats d’analyse avec l’envoi pour certifier que nos produits répondent aux normes requises.
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