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ITO-Sputter-Target – VIMATERIAL

Häufige Probleme bei ITO-Sputter-Targets und deren Lösungen

Was ist ein Sputtertarget aus Indium-Zinn-Oxid (ITO)? Ein Indium-Zinn-Oxid (ITO)-Sputter-Target ist ein transparentes leitfähiges Oxid (TCO), das häufig zur Abscheidung transparenter leitfähiger Schichten verwendet wird. Die Standardzusammensetzung besteht aus 90 Gew.-% Indiumoxid (In₂O₃) und 10

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Rotations- vs. Planarsputter-Targets – VIMATERIAL

Rotations- vs. Planarsputter-Targets: Ein umfassender Vergleich

Sputter-Targets sind unverzichtbare Materialien bei der Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) und spielen eine entscheidende Rolle bei der Bestimmung der Beschichtungsqualität, der Produktionseffizienz und der Gesamtfertigungskosten. Unter den verschiedenen verfügbaren Target-Konstruktionen sind planare Sputtertargets und rotierende Sputtertargets

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