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Chemical Name:
Titanmetall
Formula:
Ti
Product No.:
2200
CAS No.:
7440-32-6
EINECS No.:
231-142-3
Form:
Sputtering Target
HazMat:
Produkt-ID Formel Purity Dimension Quantity Preis in € Anfrage
2200ST001 Ti 99.5% Ø 63mm x 32mm 1 POR Inquire
2200ST002 Ti 99.5% Ø 100mm x 40mm 1 POR Inquire
2200ST003 Ti 99.99% Ø 50.8mm x 3.175mm 1 POR Inquire
2200ST004 Ti 99.99% Ø 76.2mm x 3.175mm 1 POR Inquire
2200ST005 Ti 99.999% Ø 50.8mm x 6.35mm 1 461.00 Inquire
2200ST006 Ti 99.999% Ø 76.2mm x 3.175mm 1 367.00 Inquire
2200ST007 Ti 99.999% Ø 76.2mm x 6.35mm 1 467.00 Inquire
2200ST008 Ti 99.999% Ø 101.6mm x 6.35mm 1 594.00 Inquire
2200ST009 Ti 99.999% Ø 203.2mm x 6.35mm 1 POR Inquire
Produkt-ID
2200ST001
Formel
Ti
Purity
99.5%
Dimension
Ø 63mm x 32mm
Quantity
1
Preis in €
POR
Produkt-ID
2200ST002
Formel
Ti
Purity
99.5%
Dimension
Ø 100mm x 40mm
Quantity
1
Preis in €
POR
Produkt-ID
2200ST003
Formel
Ti
Purity
99.99%
Dimension
Ø 50.8mm x 3.175mm
Quantity
1
Preis in €
POR
Produkt-ID
2200ST004
Formel
Ti
Purity
99.99%
Dimension
Ø 76.2mm x 3.175mm
Quantity
1
Preis in €
POR
Produkt-ID
2200ST005
Formel
Ti
Purity
99.999%
Dimension
Ø 50.8mm x 6.35mm
Quantity
1
Preis in €
461.00
Produkt-ID
2200ST006
Formel
Ti
Purity
99.999%
Dimension
Ø 76.2mm x 3.175mm
Quantity
1
Preis in €
367.00
Produkt-ID
2200ST007
Formel
Ti
Purity
99.999%
Dimension
Ø 76.2mm x 6.35mm
Quantity
1
Preis in €
467.00
Produkt-ID
2200ST008
Formel
Ti
Purity
99.999%
Dimension
Ø 101.6mm x 6.35mm
Quantity
1
Preis in €
594.00
Produkt-ID
2200ST009
Formel
Ti
Purity
99.999%
Dimension
Ø 203.2mm x 6.35mm
Quantity
1
Preis in €
POR

Titan-Sputter-Targets sind hochreine Metalltargets, die häufig für Dünnschichtbeschichtungsverfahren mittels physikalischer Gasphasenabscheidung (PVD) verwendet werden. Titan zeichnet sich durch hervorragende Korrosionsbeständigkeit, starke Haftfähigkeit, hohe mechanische Festigkeit und ausgezeichnete chemische Stabilität aus, was es zu einem idealen Werkstoff für Halbleiter, optische Beschichtungen, dekorative Beschichtungen und anspruchsvolle industrielle Anwendungen macht.

VIMATERIAL liefert hochreine Titan-Sputtertargets mit einer Reinheit von bis zu 99,999 % (5N). Unsere Targets werden durch Vakuumschmelzen, Präzisionsbearbeitung und strenge Qualitätskontrollen hergestellt, um eine hervorragende Dichte, eine gleichmäßige Mikrostruktur, einen geringen Verunreinigungsgehalt und eine stabile Sputterleistung zu gewährleisten. Kontaktieren Sie uns für weitere Informationen.

Eigenschaften

Eigenschaft Wert
Chemische Formel Ti
Ordnungszahl 22
Molekulargewicht 47,867 g/mol
Aussehen Silberweiß, metallisch
Reinheit 99,5 %–99,999 %
Dichte 4,506 g/cm³
Schmelzpunkt 1660 °C
Siedepunkt 3287 °C
Kristallstruktur hexagonale dichtestgepackte Gitterstruktur (HCP)
Wärmeleitfähigkeit 21,9 W/m·K
Elektrischer spezifischer Widerstand 42 nΩ·m

Hauptmerkmale

  • Hohe Reinheit mit extrem geringen Verunreinigungswerten
  • Hervorragende Sputterstabilität und gleichmäßige Abtragung
  • Hohe Dichte für eine verbesserte Targetausnutzung
  • Hervorragende Korrosions- und Oxidationsbeständigkeit
  • Starke Schichthaftung mit hervorragender Oberflächengüte
  • Geeignet für DC-Magnetron-Sputtern und HF-Sputtern
  • Erhältlich in kundenspezifischen Abmessungen und Befestigungskonfigurationen

Verfügbare Spezifikationen

VIMATERIAL fertigt Titan-Sputtertargets in einer Vielzahl von Konfigurationen.

Reinheit

  • 99,5 %
  • 99,99 %
  • 99,999

Form

  • Scheibe
  • Rechteck
  • Ring
  • Drehziel
  • Benutzerdefinierte Form

Trägerplatte

  • Kupferbeschichtet
  • Edelstahlbeschichtet
  • Indiumbeschichtet
  • Unbeschichtet

Sonderabmessungen und OEM-Spezifikationen sind auf Anfrage erhältlich.

Titan-Target-Typen

Target aus reinem Titan

Sputter-Targets aus reinem Titan bieten eine hervorragende Korrosionsbeständigkeit, ein stabiles Sputterverhalten und eine hohe Schichtreinheit. Sie finden breite Anwendung bei der Halbleitermetallisierung, bei optischen Beschichtungen, bei dekorativen Beschichtungen sowie in der Dünnschichtforschung.

Titanlegierungs-Targets

Sputter-Targets aus Titanlegierungen kombinieren Titan mit Elementen wie Aluminium (TiAl), Silizium (TiSi), Wolfram (TiW) oder Nickel, um eine verbesserte Härte, Leitfähigkeit, Oxidationsbeständigkeit oder Verschleißfestigkeit für spezielle Dünnschichtanwendungen zu erzielen.

Anwendungen von Titan-Sputtertargets

Titan-Sputtertargets werden häufig zur Abscheidung von Hochleistungsdünnschichten in Halbleiter-, optischen, dekorativen und industriellen Beschichtungsanwendungen eingesetzt.

  • Halbleiter – Barriereschichten, Haftschichten, Verbindungen und MEMS-Bauelemente.
  • Optische Beschichtungen – Antireflexbeschichtungen, optische Filter, Kameraobjektive und Laseroptik.
  • Dekorative Beschichtungen – Uhren, Schmuck, Unterhaltungselektronik und dekorative Oberflächen aus Edelstahl.
  • Härtbeschichtungen – TiN-, TiCN- und TiO₂-Dünnschichten für Schneidwerkzeuge, Formen, Automobilteile und verschleißfeste Komponenten.
  • Datenspeicherung – Dünnschichten für Festplattenlaufwerke und magnetische Speichermedien.

Qualitätssicherung

Jedes Titan-Sputtertarget wird vor dem Versand einer strengen Qualitätsprüfung unterzogen, um eine gleichbleibende Sputterleistung und eine zuverlässige Dünnschichtabscheidung zu gewährleisten.

Zu den Prüfpunkten gehören:

  • ICP-chemische Analyse
  • Dichtemessung
  • Korngrößenanalyse
  • Prüfung der Oberflächenrauheit
  • Ultraschall-Rissprüfung (falls erforderlich)
  • Maßprüfung

Analysezertifikate (COA) sind auf Anfrage erhältlich.

Verpackung und Lagerung

Titan-Sputtertargets werden vakuumversiegelt und mit Schutzpolsterung verpackt, um Verunreinigungen und mechanische Beschädigungen während des Transports zu vermeiden.

Lagern Sie das Produkt in einer sauberen, trockenen und gut belüfteten Umgebung. Vermeiden Sie vor der Installation den Kontakt mit Feuchtigkeit, korrosiven Chemikalien und direkten Stößen.

Warum sollten Sie sich für VIMATERIAL entscheiden?

  • Reinheit bis zu 99,999 %
  • Präzisionsbearbeitung mit engen Toleranzen
  • Stabile Sputterleistung
  • Kundenspezifische Abmessungen und gebondete Targets erhältlich
  • Schnelle weltweite Lieferung
  • Professioneller technischer Support
  • ISO-zertifiziertes Qualitätsmanagement

Häufig gestellte Fragen

Frage 1: Welche Reinheitsgrade bieten Sie für Titan-Sputtertargets an?

Zu den Standardreinheitsgraden gehören 99,5 %, 99,99 % und 99,999 %. Höhere Reinheitsgrade können auf Anfrage individuell angefertigt werden.

Frage 2: Können Sie Sonderabmessungen fertigen?

Ja. Wir fertigen Targets nach Kundenzeichnungen oder -spezifikationen, einschließlich Anforderungen an Durchmesser, Dicke, Form und Trägerplatte.

Frage 3: Welche Sputterverfahren sind geeignet?

Titan-Target sind mit DC-Magnetron-Sputtern, HF-Sputtern und anderen PVD-Beschichtungssystemen kompatibel.

Frage 4: Sind gebundene Titan-Target erhältlich?

Ja. Wir bieten gebundene und ungebundene Targets mit Trägerplatten aus Kupfer, Edelstahl oder nach Kundenwunsch an.

F5. In welchen Branchen werden Titan-Sputtertargets üblicherweise eingesetzt?

Titan-Sputtertargets finden breite Anwendung in der Halbleiterfertigung, bei optischen Beschichtungen, dekorativen Beschichtungen, in der Solarenergie, bei Hartbeschichtungen, in der Datenspeicherung und in der wissenschaftlichen Forschung.

Empfohlenes Produkt

QUALITÄTSSICHERUNG

Die VI HALBLEITERMATERIAL GmbH (VIMATERIAL) wendet ein strenges Qualitätssicherungssystem an, um die Zuverlässigkeit unserer Produktqualität zu gewährleisten. In der gesamten Produktionskette werden strenge Qualitätskontrollen durchgeführt, und bei fehlerhaften Produkten setzen wir das Prinzip der Nachbesserung streng durch. Jede Charge wird erst dann freigegeben, wenn sie detaillierte Spezifikationstests bestanden hat.

Jede Charge unserer Materialien wird von unabhängiger Seite getestet, und falls erforderlich, senden wir Proben an zertifizierte Unternehmen zur Prüfung. Wir liefern diese Dokumente und Analysezertifikate zusammen mit der Lieferung, um zu bestätigen, dass unsere Produkte die erforderlichen Standards erfüllen.

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