| Produkt-ID | Formel | Purity | Dimension | Quantity | Preis in € | Anfrage |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 730800ST001 | Ta2O5 | 99.95% | Ø 50.8 mm x 3.175 mm | 1 | POR | Inquire |
| 730800ST002 | Ta2O5 | 99.95% | Ø 76.2 mm x 3.175 mm | 1 | POR | Inquire |
| 730800ST003 | Ta2O5 | 99.95% | Ø 101.6 mm x 6.35 mm | 1 | POR | Inquire |
| 730800ST004 | Ta2O5 | 99.99% | Ø 25.4 mm x 6.35 mm | 1 | POR | Inquire |
| 730800ST005 | Ta2O5 | 99.99% | Ø 50.8 mm x 3.175 mm | 1 | POR | Inquire |
| 730800ST006 | Ta2O5 | 99.99% | Ø 50.8 mm x 6.35 mm | 1 | POR | Inquire |
| 730800ST007 | Ta2O5 | 99.99% | Ø 76.2 mm x 3.175 mm | 1 | POR | Inquire |
| 730800ST008 | Ta2O5 | 99.99% | Ø 101.6 mm x 6.35 mm | 1 | POR | Inquire |
| 730800ST009 | Ta2O5 | 99.99% | Ø 203.2 mm x 6.35 mm | 1 | POR | Inquire |
Tantalpentoxid Das Sputtertarget aus Tantalpentoxid ist ein hochleistungsfähiges keramisches Sputtermaterial, das weit verbreitet für die Abscheidung dielektrischer, optischer und schützender Dünnschichten eingesetzt wird. Ta₂O₅ vereint eine hohe Dielektrizitätskonstante, einen hohen Brechungsindex, ausgezeichnete chemische Stabilität und gute thermische Stabilität, wodurch es sich für anspruchsvolle Anwendungen in der Dünnschichtabscheidung eignet.
VIMATERIAL liefert hochreine Ta₂O₅-Sputtertargets in verschiedenen Größen, Formen und Konfigurationen, um den Anforderungen in den Bereichen Halbleiter, optische Beschichtungen, Elektronik und anderen Dünnschichtanwendungen gerecht zu werden. Kontaktieren Sie uns für weitere Informationen.
| Artikel | Spezifikation |
| Produktname | Tantalpentoxid-Sputtertarget |
| Chemische Formel | Ta₂O₅ |
| Molmasse | 441,89 g/mol |
| Reinheit | 99,95 % – 99,99 % |
| Aussehen | Weißer bis cremefarbener keramischer Feststoff |
| Dichte | ca. 8,2 g/cm³ |
| Schmelzpunkt | Ca. 1872 °C |
| Brechungsindex | ca. 2,1 |
| Dielektrizitätskonstante | ca. 25–35 |
| Zieltyp | Planar / Rotierend / Kundenspezifisch |
| Form | Rund / Rechteckig / Kundenspezifisch |
| Klebung | Unbeschichtet / Mit Trägerplatte beschichtet |
| Abscheidungsverfahren | Gleichstrom / Hochfrequenz / reaktives Sputtern |
*Hinweis: Die tatsächliche Dichte, die Dielektrizitätskonstante, der Brechungsindex und andere Eigenschaften können je nach Reinheit des Targets, Mikrostruktur, Abscheidungsbedingungen und Messverfahren variieren.
| Zielparameter | Empfohlene Zusammensetzung |
| Reinheit | 99,95 % / 99,99 % |
| Dichte | ≥ theoretische Dichte / tatsächlicher Wert |
| Form | Rund / Rechteckig / Nach Maß |
| Abmessungen | Nach Maß |
| Dicke | Nach Maß |
| Verklebung | Indium / Elastomer / Unverbunden |
| Trägerplatte | Cu / Mo / Edelstahl / Kundenspezifisch |
| Sputtern | HF / reaktiv |
| Verpackung | Vakuum / Inertgas / Feuchtigkeitsschutz |
| Lieferzeit | Ab Lager / 2–4 Wochen |
Bei besonderen Anforderungen an die Abscheidung können die Zusammensetzung, Dichte und Abmessungen des Targets sowie die Spezifikationen für die Befestigung entsprechend der Sputteranlage und den Prozessparametern des Kunden besprochen werden.
Tantaloxid-Sputtertargets werden sorgfältig verpackt, um sie während des Transports und der Lagerung vor Feuchtigkeit, Verunreinigungen, mechanischen Beschädigungen und Oberflächenverschmutzungen zu schützen.
Die Targets sollten in einer sauberen, trockenen Umgebung gelagert und bis zur Verwendung in ihrer original versiegelten Verpackung aufbewahrt werden. Bei der Lieferung von geklebten Targets wird zusätzlicher Schutz verwendet, um Beschädigungen des Targets und der Trägerplatte während des Transports zu verhindern.
A Ein Tantalpentoxid-Sputtertarget ist ein keramisches Target aus hochreinem Tantalpentoxid, das als Ausgangsmaterial für die Abscheidung von Tantaloxid-Dünnschichten durch Sputtern verwendet wird.
Tantaloxid-Sputtertargets werden hauptsächlich für optische Beschichtungen, High-k-Dielektrika, Kondensatoren, Halbleiterbauelemente, elektronische Bauteile und funktionelle Dünnschichten verwendet.
Ja. Ta₂O₅-Targets können hinsichtlich Reinheit, Abmessungen, Form, Dicke, Trägerplatte und Befestigungskonfiguration entsprechend der Sputteranlage des Kunden und den technischen Anforderungen angepasst werden.
Ja. Ta₂O₅ wird intensiv erforscht und als High-k-Dielektrikum eingesetzt, da seine Dielektrizitätskonstante deutlich höher ist als die von herkömmlichem SiO₂.
Die VI HALBLEITERMATERIAL GmbH (VIMATERIAL) wendet ein strenges Qualitätssicherungssystem an, um die Zuverlässigkeit unserer Produktqualität zu gewährleisten. In der gesamten Produktionskette werden strenge Qualitätskontrollen durchgeführt, und bei fehlerhaften Produkten setzen wir das Prinzip der Nachbesserung streng durch. Jede Charge wird erst dann freigegeben, wenn sie detaillierte Spezifikationstests bestanden hat.
Jede Charge unserer Materialien wird von unabhängiger Seite getestet, und falls erforderlich, senden wir Proben an zertifizierte Unternehmen zur Prüfung. Wir liefern diese Dokumente und Analysezertifikate zusammen mit der Lieferung, um zu bestätigen, dass unsere Produkte die erforderlichen Standards erfüllen.
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