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Chemical Name:
Pentóxido de tantalio
Formula:
Ta2O5
Product No.:
730800
CAS No.:
1314-61-0
EINECS No.:
215-238-2
Form:
Sputtering Target
HazMat:
ID del producto Fórmula Purity Dimensión Quantity Precio en € Indagación
730800ST001 Ta2O5 99.95% Ø 50.8 mm x 3.175 mm 1 POR Inquire
730800ST002 Ta2O5 99.95% Ø 76.2 mm x 3.175 mm 1 POR Inquire
730800ST003 Ta2O5 99.95% Ø 101.6 mm x 6.35 mm 1 POR Inquire
730800ST004 Ta2O5 99.99% Ø 25.4 mm x 6.35 mm 1 POR Inquire
730800ST005 Ta2O5 99.99% Ø 50.8 mm x 3.175 mm 1 POR Inquire
730800ST006 Ta2O5 99.99% Ø 50.8 mm x 6.35 mm 1 POR Inquire
730800ST007 Ta2O5 99.99% Ø 76.2 mm x 3.175 mm 1 POR Inquire
730800ST008 Ta2O5 99.99% Ø 101.6 mm x 6.35 mm 1 POR Inquire
730800ST009 Ta2O5 99.99% Ø 203.2 mm x 6.35 mm 1 POR Inquire
ID del producto
730800ST001
Fórmula
Ta2O5
Purity
99.95%
Dimensión
Ø 50.8 mm x 3.175 mm
Quantity
1
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POR
ID del producto
730800ST002
Fórmula
Ta2O5
Purity
99.95%
Dimensión
Ø 76.2 mm x 3.175 mm
Quantity
1
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730800ST003
Fórmula
Ta2O5
Purity
99.95%
Dimensión
Ø 101.6 mm x 6.35 mm
Quantity
1
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POR
ID del producto
730800ST004
Fórmula
Ta2O5
Purity
99.99%
Dimensión
Ø 25.4 mm x 6.35 mm
Quantity
1
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POR
ID del producto
730800ST005
Fórmula
Ta2O5
Purity
99.99%
Dimensión
Ø 50.8 mm x 3.175 mm
Quantity
1
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ID del producto
730800ST006
Fórmula
Ta2O5
Purity
99.99%
Dimensión
Ø 50.8 mm x 6.35 mm
Quantity
1
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ID del producto
730800ST007
Fórmula
Ta2O5
Purity
99.99%
Dimensión
Ø 76.2 mm x 3.175 mm
Quantity
1
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ID del producto
730800ST008
Fórmula
Ta2O5
Purity
99.99%
Dimensión
Ø 101.6 mm x 6.35 mm
Quantity
1
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POR
ID del producto
730800ST009
Fórmula
Ta2O5
Purity
99.99%
Dimensión
Ø 203.2 mm x 6.35 mm
Quantity
1
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Pentóxido de tantalio El blanco de pulverización de pentóxido de tantalio es un material cerámico de alto rendimiento ampliamente utilizado para la deposición de películas delgadas dieléctricas, ópticas y protectoras. El Ta₂O₅ combina una alta constante dieléctrica, un alto índice de refracción, una excelente estabilidad química y una buena estabilidad térmica, lo que lo hace adecuado para aplicaciones avanzadas de deposición de películas delgadas.

VIMATERIAL suministra blancos de pulverización de Ta₂O₅ de alta pureza en diversos tamaños, formas y configuraciones para satisfacer los requisitos de las aplicaciones en semiconductores, recubrimientos ópticos, electrónica y otras aplicaciones de películas delgadas. Póngase en contacto con nosotros para obtener más información.

Especificaciones del producto

Artículo Especificaciones
Nombre del producto Blanco de pulverización de pentóxido de tantalio
Fórmula química Ta₂O₅
Peso molecular 441,89 g/mol
Pureza 99,95 % – 99,99 %
Aspecto Sólido cerámico de color blanco a blanquecino
Densidad Aprox. 8,2 g/cm³
Punto de fusión Aprox. 1872 °C
Índice de refracción Aprox. 2,1
Constante dieléctrica Aprox. 25–35
Tipo de blanco Planos / Rotativos / A medida
Forma Circular / Rectangular / A medida
Fijación Sin unión / Con placa de soporte
Métodos de deposición CC / RF / Pulverización reactiva

*Nota: La densidad real, la constante dieléctrica, el índice de refracción y otras propiedades pueden variar en función de la pureza del blanco, la microestructura, las condiciones de deposición y el método de medición.

Características principales

  • Alta constante dieléctrica
  • Alto índice de refracción
  • Excelente estabilidad química
  • Alta estabilidad térmica
  • Adecuado para películas finas de alto rendimiento

Aplicaciones del blanco de pulverización de pentóxido de tantalio

  • Semiconductores y microelectrónica: Se utiliza para capas dieléctricas de alta constante dieléctrica (high-k), películas dieléctricas de condensadores y capas aislantes en dispositivos semiconductores y electrónicos.
  • Recubrimientos ópticos: Se utiliza en recubrimientos antirreflectantes, recubrimientos de alta reflexión, filtros ópticos, lentes y otras películas ópticas multicapa.
  • Componentes electrónicos: Adecuado para películas dieléctricas en condensadores, sensores y otros componentes electrónicos y optoelectrónicos.
  • Recubrimientos funcionales y protectores: Se utilizan como películas finas funcionales o protectoras en las que se requieren altas propiedades dieléctricas, estabilidad química y estabilidad térmica.

Opciones de blancos/personalización

Parámetros del blanco Contenido recomendado
Pureza 99,95 % / 99,99 %
Densidad ≥ densidad teórica / valor real
Forma Circular / Rectangular / A medida
Dimensiones A medida
Espesor A medida
Unión Indio / Elastómero / Sin unión
Placa de soporte Cu / Mo / acero inoxidable / a medida
Pulverización catódica RF / Reactivo
Embalaje Al vacío / Gas inerte / A prueba de humedad
Plazo de entrega En stock / 2–4 semanas

Para requisitos especiales de deposición, se pueden acordar la composición del blanco, la densidad, las dimensiones y las especificaciones de unión en función del equipo de pulverización catódica y los parámetros de proceso del cliente.

¿Por qué elegir VIMATERIAL?

  • Alta pureza: Disponible en grados de alta pureza para reducir la contaminación durante la deposición de películas finas.
  • Composición estable: La composicióncontrolada de Ta₂O₅ garantiza una calidad constante de la película y un rendimiento de deposición uniforme.
  • Dimensiones a medida: Las dimensiones y configuracionesde los blancos se pueden personalizar según los requisitos del equipo de pulverización catódica.
  • Múltiples opciones de pureza:Los nivelesde purezapueden seleccionarse en función de diferentes aplicaciones de investigación, recubrimientos ópticos, semiconductores e industriales.
  • Asistencia técnica profesional: Podemos ofrecer asesoramiento sobre las especificaciones de los blancos, las dimensiones, los requisitos de unión y la selección de materiales para procesos de deposición específicos.

Embalaje y almacenamiento

Los blancos de pulverización de óxido de tantalio se embalan cuidadosamente para protegerlos de la humedad, la contaminación, los daños mecánicos y la contaminación superficial durante el transporte y el almacenamiento.

Los blancos deben almacenarse en un entorno limpio y seco, y mantenerse en su embalaje original sellado hasta su uso. Cuando se suministran blancos adheridos, se utiliza una protección adicional para evitar daños en el blanco y en la placa de soporte durante el transporte.

Preguntas frecuentes

P1. ¿Qué es un blanco de pulverización de pentóxido de tantalio?

R: Un blanco de pulverización de pentóxido de tantalio es un blanco cerámico fabricado con pentóxido de tantalio de alta pureza y que se utiliza como material de partida para depositar películas delgadas de óxido de tantalio mediante pulverización.

P2. ¿Para qué se utiliza un blanco de pulverización de óxido de tantalio?

Los blancos de pulverización de óxido de tantalio se utilizan principalmente para recubrimientos ópticos, películas dieléctricas de alta constante dieléctrica (high-k), condensadores, dispositivos semiconductores, componentes electrónicos y películas finas funcionales.

P3. ¿Se pueden personalizar los blancos de Ta₂O₅?

Sí. Los blancos de Ta₂O₅ se pueden personalizar en cuanto a pureza, dimensiones, forma, espesor, placa de soporte y configuración de unión, de acuerdo con el equipo de pulverización catódica del cliente y sus requisitos técnicos.

P4. ¿Es el Ta₂O₅ un material dieléctrico de alta constante dieléctrica (high-k)?

Sí. El Ta₂O₅ se ha estudiado y utilizado ampliamente como material dieléctrico de alta constante dieléctrica, ya que su constante dieléctrica es significativamente superior a la del SiO₂ convencional.

Producto recomendado

GARANTÍA DE CALIDAD

VI HALBLEITERMATERIAL GmbH (VIMATERIAL) emplea un estricto sistema de garantía de calidad para asegurar la fiabilidad de la calidad de nuestros productos. Se aplica un estricto control de calidad en toda la cadena de producción, y en el caso de productos defectuosos, aplicamos estrictamente el principio de reelaborar y rehacer. Cada lote se libera sólo después de superar pruebas detalladas de especificación.

Cada lote de nuestros materiales se somete a pruebas independientes y, si es necesario, enviamos muestras a empresas certificadas para que las prueben. Proporcionamos estos documentos y certificados de análisis con el envío para certificar que nuestros productos cumplen las normas exigidas.

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