Kataloge

Chemical Name:
Tantalmetall
Formula:
Ta
Product No.:
7300
CAS No.:
7440-25-7
EINECS No.:
231-135-5
Form:
Sputtering Target
HazMat:
Produkt-ID Formel Purity Dimension Quantity Preis in € Anfrage
7300ST001 Ta 99.95% Ø 25.4 mm x 3.175 mm 1 POR Inquire
7300ST002 Ta 99.99% Ø 25.4 mm x 6.35 mm 1 POR Inquire
7300ST003 Ta 99.999% Ø 25.4 mm x 6.35 mm 1 POR Inquire
7300ST004 Ta 99.95% Ø 50.8 mm x 3.175 mm 1 POR Inquire
7300ST005 Ta 99.99% Ø 50.8 mm x 3.175 mm 1 POR Inquire
7300ST006 Ta 99.999% Ø 50.8 mm x 6.35 mm 1 POR Inquire
7300ST007 Ta 99.99% Ø 76.2 mm x 3.175 mm 1 POR Inquire
7300ST008 Ta 99.999% Ø 76.2 mm x 6.35 mm 1 POR Inquire
7300ST009 Ta 99.95% Ø 101.6 mm x 6.35 mm 1 POR Inquire
7300ST010 Ta 99.99% Ø 101.6 mm x 6.35 mm 1 POR Inquire
7300ST011 Ta 99.999% Ø 101.6 mm x 6.35 mm 1 POR Inquire
7300ST012 Ta 99.99% Ø 125.4 mm x 3.175 mm 1 POR Inquire
7300ST013 Ta 99.99% Ø 125.4 mm x 6.35 mm 1 POR Inquire
7300ST014 Ta 99.999% Ø 125.4 mm x 6.35 mm 1 POR Inquire
7300ST015 Ta 99.95% Ø 150 mm x 6 mm 1 POR Inquire
7300ST016 Ta 99.99% Ø 150 mm x 6 mm 1 POR Inquire
7300ST017 Ta 99.99% Ø 223 mm x 6 mm 1 POR Inquire
7300ST018 Ta 99.999% Ø 223 mm x 6 mm 1 POR Inquire
7300ST019 Ta 99.99% 241.3 mm x 203.2 mm x 6.35mm 1 POR Inquire
Produkt-ID
7300ST001
Formel
Ta
Purity
99.95%
Dimension
Ø 25.4 mm x 3.175 mm
Quantity
1
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POR
Produkt-ID
7300ST002
Formel
Ta
Purity
99.99%
Dimension
Ø 25.4 mm x 6.35 mm
Quantity
1
Preis in €
POR
Produkt-ID
7300ST003
Formel
Ta
Purity
99.999%
Dimension
Ø 25.4 mm x 6.35 mm
Quantity
1
Preis in €
POR
Produkt-ID
7300ST004
Formel
Ta
Purity
99.95%
Dimension
Ø 50.8 mm x 3.175 mm
Quantity
1
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POR
Produkt-ID
7300ST005
Formel
Ta
Purity
99.99%
Dimension
Ø 50.8 mm x 3.175 mm
Quantity
1
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POR
Produkt-ID
7300ST006
Formel
Ta
Purity
99.999%
Dimension
Ø 50.8 mm x 6.35 mm
Quantity
1
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POR
Produkt-ID
7300ST007
Formel
Ta
Purity
99.99%
Dimension
Ø 76.2 mm x 3.175 mm
Quantity
1
Preis in €
POR
Produkt-ID
7300ST008
Formel
Ta
Purity
99.999%
Dimension
Ø 76.2 mm x 6.35 mm
Quantity
1
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POR
Produkt-ID
7300ST009
Formel
Ta
Purity
99.95%
Dimension
Ø 101.6 mm x 6.35 mm
Quantity
1
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POR
Produkt-ID
7300ST010
Formel
Ta
Purity
99.99%
Dimension
Ø 101.6 mm x 6.35 mm
Quantity
1
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POR
Produkt-ID
7300ST011
Formel
Ta
Purity
99.999%
Dimension
Ø 101.6 mm x 6.35 mm
Quantity
1
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POR
Produkt-ID
7300ST012
Formel
Ta
Purity
99.99%
Dimension
Ø 125.4 mm x 3.175 mm
Quantity
1
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POR
Produkt-ID
7300ST013
Formel
Ta
Purity
99.99%
Dimension
Ø 125.4 mm x 6.35 mm
Quantity
1
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POR
Produkt-ID
7300ST014
Formel
Ta
Purity
99.999%
Dimension
Ø 125.4 mm x 6.35 mm
Quantity
1
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POR
Produkt-ID
7300ST015
Formel
Ta
Purity
99.95%
Dimension
Ø 150 mm x 6 mm
Quantity
1
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Produkt-ID
7300ST016
Formel
Ta
Purity
99.99%
Dimension
Ø 150 mm x 6 mm
Quantity
1
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POR
Produkt-ID
7300ST017
Formel
Ta
Purity
99.99%
Dimension
Ø 223 mm x 6 mm
Quantity
1
Preis in €
POR
Produkt-ID
7300ST018
Formel
Ta
Purity
99.999%
Dimension
Ø 223 mm x 6 mm
Quantity
1
Preis in €
POR
Produkt-ID
7300ST019
Formel
Ta
Purity
99.99%
Dimension
241.3 mm x 203.2 mm x 6.35mm
Quantity
1
Preis in €
POR

Tantal Sputtertargets aus Tantal sind hochleistungsfähige Targets aus hochschmelzendem Metall, die in der Halbleiterfertigung, bei optischen Beschichtungen und anderen Anwendungen zur Dünnschichtabscheidung weit verbreitet sind. Dank seines hohen Schmelzpunkts, seiner hohen Dichte und seiner hervorragenden Korrosionsbeständigkeit bietet Tantal eine stabile Leistung unter anspruchsvollen Sputterbedingungen.

VIMATERIAL liefert Tantal-Sputtertargets in verschiedenen Formen, Abmessungen und Konfigurationen; maßgeschneiderte Spezifikationen sind entsprechend Ihrer Abscheidungsanlage und Ihren Anwendungsanforderungen erhältlich. Kontaktieren Sie uns für weitere Informationen.

Wichtige Vorteile

  • – Hoher Schmelzpunkt von ca. 2996 °C für anspruchsvolle Abscheidungsumgebungen
  • – Hohe Dichte von ca. 16,69 g/cm³
  • – Hervorragende Korrosionsbeständigkeit und chemische Stabilität
  • – Gute elektrische Leitfähigkeit, geeignet für leitfähige Dünnschichtanwendungen
  • – Stabile Sputterleistung für PVD und Dünnschichtabscheidung
  • – Erhältlich in kundenspezifischen Abmessungen, Formen und Konfigurationen
  • – Geeignet für Halbleiter, optische Beschichtungen und andere anspruchsvolle Beschichtungsanwendungen

Grundlegende Eigenschaften

Eigenschaft Typischer Wert
Chemisches Symbol Ta
Ordnungszahl 73
Atommasse 180,95 g/mol
Aussehen Grau-metallisch
Schmelzpunkt ca. 2996 °C
Dichte ca. 16,69 g/cm³
Korrosionsbeständigkeit Hervorragend
Elektrische Leitfähigkeit Gut
Werkstofftyp Refraktäres Metall

Chemisches Symbol: Ta, gehört zur Gruppe VB im Periodensystem, Ordnungszahl 73, Atomgewicht 180,9479.
Aussehen: stahlgraues Metall mit starkem metallischem Glanz.
Physikalische Eigenschaften: hoher Schmelzpunkt (2996 °C), hohe Dichte (16,654 g/cm³).
Chemische Eigenschaften: sehr hohe Korrosionsbeständigkeit.

Herstellung von Tantal-Sputtertargets

Tantal-Sputtertargets werden aus hochreinen Tantal-Rohstoffen durch kontrollierte Materialverarbeitung hergestellt.
Je nach den geforderten Targetspezifikationen können Verfahren wie Pulvermetallurgie, Sintern, Walzen, Schmieden, Zerspanen und Oberflächenveredelung zum Einsatz kommen.

Der Herstellungsprozess wird so gesteuert, dass die geforderte Zusammensetzung, Dichte, Abmessungen, Oberflächenqualität und strukturelle Homogenität erreicht werden, was zu einer stabilen Targetleistung während des Sputtervorgangs beiträgt.

Für maßgeschneiderte Tantal-Targets, kann VIMATERIAL nach Zeichnungen, Maßen und Anlagenanforderungen arbeiten.

Anwendungen von Tantal-Sputtertargets

  • Halbleiterindustrie: Tantal-Sputtertargetswerden in der Halbleiter- und Mikroelektronikfertigung zur Abscheidung von tantalhaltigen Dünnschichten eingesetzt, unter anderem für Anwendungen im Zusammenhang mit Barriereschichten, leitfähigen Strukturen und fortschrittlichen Verbindungstechnologien.
  • Optische Beschichtung: Dünnschichtenauf Tantalbasis können in optischen Beschichtungssystemen eingesetzt werden, um die optischen Eigenschaften von Bauteilen zu verändern, darunter Reflexionsgrad, Transmissionsgrad und Brechungseigenschaften. Zu den Anwendungsbereichen zählen unter anderem optische Linsen, Kamerakomponenten und andere optische Instrumente.
  • Dünnschicht- und PVD-Anwendungen: Tantal-Targetplatten werden auch in verschiedenen physikalischen Gasphasenabscheidungsverfahren (PVD) eingesetzt, bei denen ein hochschmelzendes Metall mit guter chemischer Stabilität und elektrischer Leitfähigkeit erforderlich ist.

Verfügbare Spezifikationen für Tantal-Target

VIMATERIAL kann Tantal-Sputtertargets in verschiedenen Konfigurationen entsprechend den Kundenanforderungen liefern.

Spezifikation Optionen
Material Tantal (Ta)
Targetform Rund, rechteckig, flach und kundenspezifisch
Abmessungen Kundenspezifisch gemäß Zeichnung
Reinheit Je nach Anwendungsanforderungen erhältlich
Oberfläche Bearbeitet / veredelt je nach Anforderung
Herstellung Optionen: gesintert, gewalzt, geschmiedet und bearbeitet
Verklebung Zielorientierter Klebeservice verfügbar
Menge Aufträge in kleinen Stückzahlen werden unterstützt

*Sonderabmessungen und -konfigurationen können gemäß Zeichnungen oder technischen Spezifikationen gefertigt werden.

Qualitätskontrolle

Bei Tantal-Sputtertargets konzentriert sich die Qualitätskontrolle auf die chemische Zusammensetzung, Reinheit, Dichte, Abmessungen, Oberflächenbeschaffenheit und die allgemeine Konsistenz des Targets. Diese Faktoren sind wichtig, um eine stabile Abscheidungsleistung und eine gleichbleibende Dünnschichtqualität zu erzielen.

VIMATERIAL bietet technische Unterstützung bei der Auswahl der geeigneten Tantal-Target-Spezifikation auf der Grundlage Ihres Sputter-Systems, der Target-Abmessungen und der Abscheidungsanforderungen.

Verpackung und Lagerung

Verpackung: Tantal-Sputtertargets werden einzeln geschützt und sicher verpackt, um Verunreinigungen, Kratzer und mechanische Beschädigungen während des Transports zu vermeiden.

Lagerung: Lagern Sie die Targets in einer sauberen, trockenen Umgebung und bewahren Sie sie bis zur Verwendung versiegelt oder angemessen geschützt auf, um Oberflächenverunreinigungen und Oxidation zu minimieren.

Warum VIMATERIAL wählen?

VIMATERIAL liefert Tantal-Sputtertargets für Forschung, Entwicklung und industrielle Dünnschichtanwendungen. Neben Standardspezifikationen unterstützen wir auch kundenspezifische Targetabmessungen, -formen und technische Anforderungen.

Unsere Materiallösungen umfassen:

  • Hochreine Tantalwerkstoffe
  • Kundenspezifische Targetgrößen und -formen
  • Bestellungen in kleinen Losgrößen
  • Target-Bonding-Service
  • Technischer Support
  • Anwendungsspezifische Materialauswahl
  • Flexible Verpackungs- und Lieferoptionen

Häufig gestellte Fragen

Frage 1: Wofür wird ein Tantal-Sputtertarget verwendet?

Es wird hauptsächlich für die PVD-Dünnschichtabscheidung in der Halbleiterfertigung, für optische Beschichtungen und andere hochentwickelte Beschichtungsanwendungen verwendet.

Frage 2: In welchen Formen sind Tantal-Sputtertargets erhältlich?

Tantal-Target können je nach Sputteranlage und Anwendungsanforderungen in runder, rechteckiger, flacher und anderer kundenspezifischer Form geliefert werden.

Frage 3: Können Tantal-Sputtertargets individuell angepasst werden?

Ja. VIMATERIAL kann maßgeschneiderte Sputtertargets gemäß Kundenzeichnungen, Abmessungen, Reinheitsanforderungen und anderen technischen Spezifikationen liefern.

Frage 4: Bietet VIMATERIAL das Verbinden von Targets an?

Ja. VIMATERIAL bietet einen Dienst zur Verklebung von Sputtertargets für geeignete Targetkonfigurationen an und kann Verklebungsanforderungen entsprechend der Anlage und der Anwendung des Kunden erfüllen.

Benötigen Sie ein maßgeschneidertes Tantal-Sputtertarget?

Teilen Sie uns Ihr Targetmaterial, die Reinheit, die Abmessungen, die Form, die Menge und die Anforderungen an die Sputteranlage mit . Wir empfehlen Ihnen eine geeignete Targetkonfiguration und unterbreiten Ihnen ein Angebot auf Basis Ihrer Anwendung.

Benötigen Sie eine maßgeschneiderte Materiallösung? Wenden Sie sich an VIMATERIAL, um technische Unterstützung und eine maßgeschneiderte Lösung zu erhalten .

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QUALITÄTSSICHERUNG

Die VI HALBLEITERMATERIAL GmbH (VIMATERIAL) wendet ein strenges Qualitätssicherungssystem an, um die Zuverlässigkeit unserer Produktqualität zu gewährleisten. In der gesamten Produktionskette werden strenge Qualitätskontrollen durchgeführt, und bei fehlerhaften Produkten setzen wir das Prinzip der Nachbesserung streng durch. Jede Charge wird erst dann freigegeben, wenn sie detaillierte Spezifikationstests bestanden hat.

Jede Charge unserer Materialien wird von unabhängiger Seite getestet, und falls erforderlich, senden wir Proben an zertifizierte Unternehmen zur Prüfung. Wir liefern diese Dokumente und Analysezertifikate zusammen mit der Lieferung, um zu bestätigen, dass unsere Produkte die erforderlichen Standards erfüllen.

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