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Chemical Name:
Tantale métallique
Formula:
Ta
Product No.:
7300
CAS No.:
7440-25-7
EINECS No.:
231-135-5
Form:
Sputtering Target
HazMat:
ID du produit Formule Purity Dimension Quantity Prix en € Enquête
7300ST001 Ta 99.95% Ø 25.4 mm x 3.175 mm 1 POR Inquire
7300ST002 Ta 99.99% Ø 25.4 mm x 6.35 mm 1 POR Inquire
7300ST003 Ta 99.999% Ø 25.4 mm x 6.35 mm 1 POR Inquire
7300ST004 Ta 99.95% Ø 50.8 mm x 3.175 mm 1 POR Inquire
7300ST005 Ta 99.99% Ø 50.8 mm x 3.175 mm 1 POR Inquire
7300ST006 Ta 99.999% Ø 50.8 mm x 6.35 mm 1 POR Inquire
7300ST007 Ta 99.99% Ø 76.2 mm x 3.175 mm 1 POR Inquire
7300ST008 Ta 99.999% Ø 76.2 mm x 6.35 mm 1 POR Inquire
7300ST009 Ta 99.95% Ø 101.6 mm x 6.35 mm 1 POR Inquire
7300ST010 Ta 99.99% Ø 101.6 mm x 6.35 mm 1 POR Inquire
7300ST011 Ta 99.999% Ø 101.6 mm x 6.35 mm 1 POR Inquire
7300ST012 Ta 99.99% Ø 125.4 mm x 3.175 mm 1 POR Inquire
7300ST013 Ta 99.99% Ø 125.4 mm x 6.35 mm 1 POR Inquire
7300ST014 Ta 99.999% Ø 125.4 mm x 6.35 mm 1 POR Inquire
7300ST015 Ta 99.95% Ø 150 mm x 6 mm 1 POR Inquire
7300ST016 Ta 99.99% Ø 150 mm x 6 mm 1 POR Inquire
7300ST017 Ta 99.99% Ø 223 mm x 6 mm 1 POR Inquire
7300ST018 Ta 99.999% Ø 223 mm x 6 mm 1 POR Inquire
7300ST019 Ta 99.99% 241.3 mm x 203.2 mm x 6.35mm 1 POR Inquire
ID du produit
7300ST001
Formule
Ta
Purity
99.95%
Dimension
Ø 25.4 mm x 3.175 mm
Quantity
1
Prix en €
POR
ID du produit
7300ST002
Formule
Ta
Purity
99.99%
Dimension
Ø 25.4 mm x 6.35 mm
Quantity
1
Prix en €
POR
ID du produit
7300ST003
Formule
Ta
Purity
99.999%
Dimension
Ø 25.4 mm x 6.35 mm
Quantity
1
Prix en €
POR
ID du produit
7300ST004
Formule
Ta
Purity
99.95%
Dimension
Ø 50.8 mm x 3.175 mm
Quantity
1
Prix en €
POR
ID du produit
7300ST005
Formule
Ta
Purity
99.99%
Dimension
Ø 50.8 mm x 3.175 mm
Quantity
1
Prix en €
POR
ID du produit
7300ST006
Formule
Ta
Purity
99.999%
Dimension
Ø 50.8 mm x 6.35 mm
Quantity
1
Prix en €
POR
ID du produit
7300ST007
Formule
Ta
Purity
99.99%
Dimension
Ø 76.2 mm x 3.175 mm
Quantity
1
Prix en €
POR
ID du produit
7300ST008
Formule
Ta
Purity
99.999%
Dimension
Ø 76.2 mm x 6.35 mm
Quantity
1
Prix en €
POR
ID du produit
7300ST009
Formule
Ta
Purity
99.95%
Dimension
Ø 101.6 mm x 6.35 mm
Quantity
1
Prix en €
POR
ID du produit
7300ST010
Formule
Ta
Purity
99.99%
Dimension
Ø 101.6 mm x 6.35 mm
Quantity
1
Prix en €
POR
ID du produit
7300ST011
Formule
Ta
Purity
99.999%
Dimension
Ø 101.6 mm x 6.35 mm
Quantity
1
Prix en €
POR
ID du produit
7300ST012
Formule
Ta
Purity
99.99%
Dimension
Ø 125.4 mm x 3.175 mm
Quantity
1
Prix en €
POR
ID du produit
7300ST013
Formule
Ta
Purity
99.99%
Dimension
Ø 125.4 mm x 6.35 mm
Quantity
1
Prix en €
POR
ID du produit
7300ST014
Formule
Ta
Purity
99.999%
Dimension
Ø 125.4 mm x 6.35 mm
Quantity
1
Prix en €
POR
ID du produit
7300ST015
Formule
Ta
Purity
99.95%
Dimension
Ø 150 mm x 6 mm
Quantity
1
Prix en €
POR
ID du produit
7300ST016
Formule
Ta
Purity
99.99%
Dimension
Ø 150 mm x 6 mm
Quantity
1
Prix en €
POR
ID du produit
7300ST017
Formule
Ta
Purity
99.99%
Dimension
Ø 223 mm x 6 mm
Quantity
1
Prix en €
POR
ID du produit
7300ST018
Formule
Ta
Purity
99.999%
Dimension
Ø 223 mm x 6 mm
Quantity
1
Prix en €
POR
ID du produit
7300ST019
Formule
Ta
Purity
99.99%
Dimension
241.3 mm x 203.2 mm x 6.35mm
Quantity
1
Prix en €
POR

Le tantale est une cible de pulvérisation cathodique en métal réfractaire haute performance largement utilisée dans la fabrication de semi-conducteurs, les revêtements optiques et d’autres applications de dépôt de couches minces. Doté d’un point de fusion élevé, d’une densité élevée et d’une excellente résistance à la corrosion, le tantale offre des performances stables dans des conditions de pulvérisation cathodique exigeantes.

VIMATERIAL fournit des cibles de pulvérisation en tantale de différentes formes, dimensions et configurations, avec des spécifications personnalisées adaptées à votre équipement de dépôt et aux exigences de votre application. Contactez-nous pour plus d’informations.

Principaux avantages

  • – Point de fusion élevé, d’environ 2 996 °C, adapté aux environnements de dépôt exigeants
  • – Densité élevée, d’environ 16,69 g/cm³
  • – Excellente résistance à la corrosion et stabilité chimique
  • – Bonne conductivité électrique, adaptée aux applications de couches minces conductrices
  • – Performances de pulvérisation stables pour le dépôt physique en phase vapeur (PVD) et le dépôt de couches minces
  • – Disponible dans des dimensions, formes et configurations sur mesure
  • – Adapté aux semi-conducteurs, aux revêtements optiques et à d’autres applications de revêtement de pointe

Propriétés de base

Propriété Valeur typique
Symbole chimique Ta
Numéro atomique 73
Masse atomique 180,95 g/mol
Aspect Gris métallique
Point de fusion Environ 2 996 °C
Densité Environ 16,69 g/cm³
Résistance à la corrosion Excellente
Conductivité électrique Bonne
Type de matériau Métal réfractaire

Symbole chimique : Ta, appartient au groupe VB du tableau périodique, numéro atomique 73, masse atomique 180,9479.
Aspect : métal gris acier, au lustre métallique intense.
Propriétés physiques : point de fusion élevé (2 996 °C), densité élevée (16,654 g/cm³).
Propriétés chimiques : très haute résistance à la corrosion.

Fabrication de cibles de pulvérisation en tantale

Les cibles de pulvérisation en tantale sont fabriquées à partir de matières premières de tantale de haute pureté, grâce à un traitement contrôlé des matériaux.
En fonction des spécifications requises pour la cible, des procédés tels que la métallurgie des poudres, le frittage, le laminage, le forgeage, l’usinage et la finition de surface peuvent être appliqués.

Le processus de fabrication est contrôlé afin d’obtenir la composition, la densité, les dimensions, la qualité de surface et l’uniformité structurelle requises, ce qui contribue à garantir des performances stables de la cible pendant la pulvérisation.

Pour les cibles en tantale sur mesure, VIMATERIAL peut intervenir selon les plans, les dimensions et les exigences des équipements.

Applications des cibles de pulvérisation en tantale

  • Industrie des semi-conducteurs :les cibles de pulvérisationen tantalesont utilisées dans la fabrication de semi-conducteurs et de composants microélectroniques pour le dépôt de films minces contenant du tantale, notamment dans des applications liées aux couches barrières, aux structures conductrices et aux technologies d’interconnexion avancées.
  • Revêtements optiques : les films mincesà base de tantale peuvent être utilisés dans les systèmes de revêtement optique pour modifier les propriétés optiques des composants, notamment la réflectance, la transmittance et les caractéristiques de réfraction. Les applications peuvent inclure les lentilles optiques, les composants d’appareils photo et d’autres instruments optiques.
  • Applications des films minces et du dépôt physique en phase vapeur (PVD ): les ciblesen tantale sont également utilisées dans divers procédés de dépôt physique en phase vapeur (PVD) nécessitant un métal réfractaire présentant une bonne stabilité chimique et une bonne conductivité électrique.

Spécifications disponibles des cibles en tantale

VIMATERIAL peut fournir des cibles de pulvérisation en tantale dans différentes configurations, selon les exigences des clients.

Spécifications Options
Matériau Tantale (Ta)
Forme de la cible Ronde, rectangulaire, plane et sur mesure
Dimensions Personnalisées selon le plan
Pureté Disponible selon les exigences de l’application
Surface Usinées / finies selon les exigences
Fabrication Options : fritté, laminé, forgé et usiné
Collage Service de collage sur cible disponible
Quantité Prise en charge des commandes en petites séries

*Des dimensions et configurations sur mesure peuvent être réalisées selon des plans ou des spécifications techniques.

Contrôle qualité

Pour les cibles de pulvérisation en tantale, le contrôle qualité porte principalement sur la composition chimique, la pureté, la densité, les dimensions, l’état de surface et l’uniformité globale de la cible. Ces facteurs sont essentiels pour garantir des performances de dépôt stables et une qualité constante des couches minces.

VIMATERIAL peut vous apporter une assistance technique pour choisir les spécifications appropriées de la cible en tantale en fonction de votre système de pulvérisation, des dimensions de la cible et de vos exigences en matière de dépôt.

Emballage et stockage

Emballage : Les cibles de pulvérisation en tantale sont protégées individuellement et emballées de manière sécurisée afin d’éviter toute contamination, rayure ou dommage mécanique pendant le transport.

Stockage : Stockez les cibles dans un environnement propre et sec, et conservez-les scellées ou protégées de manière appropriée jusqu’à leur utilisation afin de minimiser la contamination de surface et l’oxydation.

Pourquoi choisir VIMATERIAL ?

VIMATERIAL fournit des cibles de pulvérisation en tantale destinées à la recherche, au développement et aux applications industrielles de couches minces. Outre les spécifications standard, nous proposons des cibles sur mesure en termes de dimensions, de formes et d’exigences techniques.

Nos solutions matérielles comprennent :

  • Matériaux en tantale de haute pureté
  • Dimensions et formes de cibles sur mesure
  • Commandes en petites séries
  • Service de collage de cibles
  • Assistance technique
  • Sélection de matériaux adaptés à chaque application
  • Options d’emballage et de livraison flexibles

Foire aux questions

Q1. À quoi sert une cible de pulvérisation en tantale ?

Elle est principalement utilisée pour le dépôt de couches minces par PVD dans la fabrication de semi-conducteurs, les revêtements optiques et d’autres applications de revêtement de pointe.

Q2. Quelles sont les formes disponibles pour les cibles de pulvérisation en tantale ?

Les cibles en tantale peuvent être fournies sous forme ronde, rectangulaire, plane ou dans d’autres formes sur mesure, en fonction de l’équipement de pulvérisation et des exigences de l’application.

Q3. Les cibles de pulvérisation en tantale peuvent-elles être personnalisées ?

Oui. VIMATERIAL peut fournir des cibles de pulvérisation sur mesure selon les plans, les dimensions, les exigences de pureté et d’autres spécifications techniques fournies par le client.

Q4. VIMATERIAL propose-t-il un service d’assemblage de cibles ?

Oui. VIMATERIAL propose un service d’assemblage de cibles de pulvérisation pour les configurations de cibles adaptées et peut répondre aux exigences d’assemblage en fonction de l’équipement et de l’application du client.

Vous avez besoin d’une cible de pulvérisation en tantale sur mesure ?

Indiquez-nous le matériau de votre cible, sa pureté, ses dimensions, sa forme, la quantité requise et les exigences de votre équipement de pulvérisation. Nous pouvons vous recommander une configuration de cible adaptée et vous proposer un devis en fonction de votre application.

Vous avez besoin d’une solution sur mesure ? Contactez VIMATERIAL pour bénéficier d’ une assistance technique et d’une solution sur mesure.

Produit recommandé

ASSURANCE QUALITÉ

VI HALBLEITERMATERIAL GmbH (VIMATERIAL) utilise un système d’assurance qualité rigoureux pour garantir la fiabilité de la qualité de ses produits. Un contrôle de qualité strict est mis en œuvre tout au long de la chaîne de production et, pour les produits défectueux, nous appliquons strictement le principe de la reprise et du remplacement. Chaque lot n’est libéré qu’après avoir passé des tests de spécification détaillés.

Chaque lot de nos matériaux est testé de manière indépendante et, si nécessaire, nous envoyons des échantillons à des entreprises certifiées pour qu’elles les testent. Nous fournissons ces documents et les certificats d’analyse avec l’envoi pour certifier que nos produits répondent aux normes requises.

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