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Chemical Name:
Titane métallique
Formula:
Ti
Product No.:
2200
CAS No.:
7440-32-6
EINECS No.:
231-142-3
Form:
Sputtering Target
HazMat:
ID du produit Formule Purity Dimension Quantity Prix en € Enquête
2200ST001 Ti 99.5% Ø 63mm x 32mm 1 POR Inquire
2200ST002 Ti 99.5% Ø 100mm x 40mm 1 POR Inquire
2200ST003 Ti 99.99% Ø 50.8mm x 3.175mm 1 POR Inquire
2200ST004 Ti 99.99% Ø 76.2mm x 3.175mm 1 POR Inquire
2200ST005 Ti 99.999% Ø 50.8mm x 6.35mm 1 461.00 Inquire
2200ST006 Ti 99.999% Ø 76.2mm x 3.175mm 1 367.00 Inquire
2200ST007 Ti 99.999% Ø 76.2mm x 6.35mm 1 467.00 Inquire
2200ST008 Ti 99.999% Ø 101.6mm x 6.35mm 1 594.00 Inquire
2200ST009 Ti 99.999% Ø 203.2mm x 6.35mm 1 POR Inquire
ID du produit
2200ST001
Formule
Ti
Purity
99.5%
Dimension
Ø 63mm x 32mm
Quantity
1
Prix en €
POR
ID du produit
2200ST002
Formule
Ti
Purity
99.5%
Dimension
Ø 100mm x 40mm
Quantity
1
Prix en €
POR
ID du produit
2200ST003
Formule
Ti
Purity
99.99%
Dimension
Ø 50.8mm x 3.175mm
Quantity
1
Prix en €
POR
ID du produit
2200ST004
Formule
Ti
Purity
99.99%
Dimension
Ø 76.2mm x 3.175mm
Quantity
1
Prix en €
POR
ID du produit
2200ST005
Formule
Ti
Purity
99.999%
Dimension
Ø 50.8mm x 6.35mm
Quantity
1
Prix en €
461.00
ID du produit
2200ST006
Formule
Ti
Purity
99.999%
Dimension
Ø 76.2mm x 3.175mm
Quantity
1
Prix en €
367.00
ID du produit
2200ST007
Formule
Ti
Purity
99.999%
Dimension
Ø 76.2mm x 6.35mm
Quantity
1
Prix en €
467.00
ID du produit
2200ST008
Formule
Ti
Purity
99.999%
Dimension
Ø 101.6mm x 6.35mm
Quantity
1
Prix en €
594.00
ID du produit
2200ST009
Formule
Ti
Purity
99.999%
Dimension
Ø 203.2mm x 6.35mm
Quantity
1
Prix en €
POR

Les cibles de pulvérisation en titane sont des cibles métalliques de haute pureté largement utilisées dans les procédés de dépôt de couches minces par dépôt physique en phase vapeur (PVD). Le titane présente une excellente résistance à la corrosion, une forte adhérence, une résistance mécanique élevée et une stabilité chimique exceptionnelle, ce qui en fait un matériau idéal pour les semi-conducteurs, les revêtements optiques, les revêtements décoratifs et les applications industrielles de pointe.

VIMATERIAL fournit des cibles de pulvérisation en titane de haute pureté, pouvant atteindre 99,999 % (5N). Nos cibles sont fabriquées par fusion sous vide, usinage de précision et contrôle qualité rigoureux afin de garantir une excellente densité, une microstructure uniforme, une faible teneur en impuretés et des performances de pulvérisation stables. Contactez-nous pour plus d’informations.

Propriétés

Propriété Valeur
Formule chimique Ti
Numéro atomique 22
Masse moléculaire 47,867 g/mol
Aspect Métallique blanc argenté
Pureté 99,5 %–99,999 %
Densité 4,506 g/cm³
Point de fusion 1 660 °C
Point d’ébullition 3 287 °C
Structure cristalline Hexagonale compacte (HCP)
Conductivité thermique 21,9 W/m·K
Résistivité électrique 42 nΩ·m

Caractéristiques principales

  • Haute pureté avec des niveaux d’impuretés extrêmement faibles
  • Excellente stabilité de pulvérisation et érosion uniforme
  • Haute densité pour une meilleure utilisation de la cible
  • Résistance exceptionnelle à la corrosion et à l’oxydation
  • Forte adhérence du film avec un excellent état de surface
  • Convient à la pulvérisation magnétron en courant continu et à la pulvérisation RF
  • Disponible en dimensions et configurations de collage sur mesure

Spécifications disponibles

VIMATERIAL fabrique des cibles de pulvérisation en titane dans une grande variété de configurations.

Pureté

  • 99,5 %
  • 99,99 %
  • 99,999

Forme

  • Disque
  • Rectangle
  • Anneau
  • Cible rotative
  • Forme personnalisée

Plaque d’appui

  • Revêtu de cuivre
  • Revêtement en acier inoxydable
  • Revêtement en indium
  • Non revêtu

Des dimensions sur mesure et des spécifications OEM sont disponibles sur demande.

Types de cibles en titane

Cibles en titane pur

Lesciblesde pulvérisationen titane puroffrent une excellente résistance à la corrosion, un comportement de pulvérisation stable et une grande pureté du film. Elles sont largement utilisées pour la métallisation des semi-conducteurs, les revêtements optiques, les revêtements décoratifs et la recherche sur les couches minces.

Cibles en alliage de titane

Les cibles de pulvérisation en alliage de titane associent le titane à des éléments tels que l’aluminium (TiAl), le silicium (TiSi), le tungstène (TiW) ou le nickel afin d’obtenir une dureté, une conductivité, une résistance à l’oxydation ou une résistance à l’usure accrues pour des applications spécialisées de couches minces.

Applications des cibles de pulvérisation en titane

Les cibles de pulvérisation en titane sont largement utilisées pour le dépôt de films minces haute performance dans les applications de semi-conducteurs, d’optique, de revêtements décoratifs et industriels.

  • Semi-conducteurs – Couches barrières, couches d’adhérence, interconnexions et dispositifs MEMS.
  • Revêtements optiques – Revêtements antireflets, filtres optiques, objectifs d’appareils photo et optiques laser.
  • Revêtements décoratifs – Montres, bijoux, électronique grand public et finitions décoratives en acier inoxydable.
  • Revêtements durs – Films minces de TiN, TiCN et TiO₂ pour outils de coupe, moules, pièces automobiles et composants résistants à l’usure.
  • Stockage de données – Films minces pour disques durs et dispositifs de stockage magnétique.

Assurance qualité

Chaque cible de pulvérisation en titane est soumise à un contrôle qualité rigoureux avant expédition afin de garantir des performances de pulvérisation constantes et un dépôt fiable de couches minces.

Les points contrôlés comprennent :

  • Analyse chimique par ICP
  • Test de densité
  • Analyse de la taille des grains
  • Contrôle de la rugosité de surface
  • Détection des défauts par ultrasons (si nécessaire)
  • Vérification dimensionnelle

Des certificats d’analyse (COA) sont disponibles sur demande.

Emballage et stockage

Les cibles de pulvérisation en titane sont scellées sous vide et emballées avec un rembourrage protecteur afin d’éviter toute contamination et tout dommage mécanique pendant le transport.

Stockez le produit dans un environnement propre, sec et bien ventilé. Évitez toute exposition à l’humidité, aux produits chimiques corrosifs et aux chocs directs avant l’installation.

Pourquoi choisir VIMATERIAL ?

  • Pureté pouvant atteindre 99,999 %
  • Usinage de précision avec des tolérances serrées
  • Performances de pulvérisation stables
  • Dimensions sur mesure et cibles composites disponibles
  • Livraison rapide dans le monde entier
  • Assistance technique professionnelle
  • Système de gestion de la qualité certifié ISO

Foire aux questions

Q1. Quelle est la pureté des cibles de pulvérisation en titane que vous proposez ?

Les puretés standard sont de 99,5 %, 99,99 % et 99,999 %. Des degrés de pureté supérieurs peuvent être personnalisés sur demande.

Q2. Pouvez-vous fabriquerdes ciblesaux dimensions personnalisées ?

Oui. Nous produisons des cibles selon les plans ou les spécifications de nos clients, notamment en ce qui concerne le diamètre, l’épaisseur, la forme et les exigences relatives à la plaque de support.

Q3. Quelles méthodes de pulvérisation sont adaptées ?

Les cibles en titane sont compatibles avec la pulvérisation magnétron en courant continu, la pulvérisation RF et d’autres systèmes de revêtement PVD.

Q4. Proposez-vous des cibles en titane collées ?

Oui. Nous proposons des cibles collées et non collées avec des plaques de support en cuivre, en acier inoxydable ou sur mesure.

Q5. Quels secteurs utilisent couramment les cibles de pulvérisation en titane ?

Les cibles de pulvérisation en titane sont largement utilisées dans la fabrication de semi-conducteurs, les revêtements optiques, les revêtements décoratifs, l’énergie solaire, les revêtements durs, le stockage de données et la recherche scientifique.

Produit recommandé

ASSURANCE QUALITÉ

VI HALBLEITERMATERIAL GmbH (VIMATERIAL) utilise un système d’assurance qualité rigoureux pour garantir la fiabilité de la qualité de ses produits. Un contrôle de qualité strict est mis en œuvre tout au long de la chaîne de production et, pour les produits défectueux, nous appliquons strictement le principe de la reprise et du remplacement. Chaque lot n’est libéré qu’après avoir passé des tests de spécification détaillés.

Chaque lot de nos matériaux est testé de manière indépendante et, si nécessaire, nous envoyons des échantillons à des entreprises certifiées pour qu’elles les testent. Nous fournissons ces documents et les certificats d’analyse avec l’envoi pour certifier que nos produits répondent aux normes requises.

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