Tellur(IV)-oxid

Tellurdioxid ist ein hochreines keramisches Sputtermaterial, das für die physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) und das Magnetron-Sputtern entwickelt wurde. Dank seines hohen Brechungsindex, seiner optischen Transparenz sowie seiner hervorragenden akustooptischen und nichtlinearen optischen Eigenschaften wird TeO₂ in großem Umfang für optische Beschichtungen, photonische Bauelemente, Wellenleiter, Optoelektronik und die Forschung im Bereich fortschrittlicher Dünnschichten eingesetzt.

VIMATERIAL liefert hochreine TeO₂-Sputtertargets in kundenspezifischen Reinheitsgraden, Abmessungen, Formen und Befestigungskonfigurationen, um den Anforderungen verschiedener Sputtersysteme und Dünnschichtabscheidungsverfahren gerecht zu werden. Kontaktieren Sie uns für weitere Informationen.

Eigenschaften

Wesentliche Vorteile

• Hohe optische Leistungsfähigkeit: TeO₂ weist einen hohen Brechungsindex und günstige optische Eigenschaften auf, wodurch es sich für optische Schichten mit hohem Brechungsindex, Wellenleiter und spezielle photonische Strukturen eignet.
• Hervorragende Dünnschichtabscheidung: TeO₂-Targets können in RF- und Magnetron-Sputterprozessen eingesetzt werden, um gleichmäßige Dünnschichten mit kontrollierter Dicke und Zusammensetzung herzustellen. Die Abscheidungsleistung lässt sich durch Anpassung der Sputterleistung, des Arbeitsdrucks, der Gaszusammensetzung, der Substrattemperatur und des Abstands zwischen Target und Substrat optimieren.
• Akustooptische und nichtlineare optische Eigenschaften: TeO₂ wird wegen seiner ausgeprägten akustooptischen und nichtlinearen optischen Eigenschaften geschätzt, wodurch es sich für spezialisierte optische Modulation, Signalverarbeitung und photonische Anwendungen eignet.
• Hohe Reinheit und individuelle Anpassung: Hochreine TeO₂-Sputtertargets tragen dazu bei, Verunreinigungen während der Abscheidung zu minimieren und ermöglichen eine bessere Kontrolle über die Zusammensetzung und die Eigenschaften der Schichten. Die Reinheit, die Abmessungen, die Dicke, die Befestigungskonfiguration und weitere Spezifikationen der Targets können entsprechend den Kundenanforderungen individuell angepasst werden.

Anwendungen von Tellurdioxid-Sputtertargets

• Optische Beschichtungen: TeO₂- Dünnschichten können als Schichten mit hohem Brechungsindex in optischen Beschichtungen, Mehrschichtstrukturen, Interferenzbeschichtungen und anderen optischen Komponenten eingesetzt werden.
• Photonische Wellenleiter: Gesputterte TeO₂-Schichten eignen sich für optische Wellenleiter und integrierte photonische Strukturen, bei denen ein hoher Brechungsindex und kontrollierte optische Eigenschaften erforderlich sind.
• Akustooptische Bauelemente: TeO₂ wird aufgrund seiner günstigen akustooptischen Eigenschaften in akustooptischen Anwendungen wie optischen Modulatoren, Ablenkern und optischen Signalverarbeitungsbauelementen eingesetzt.
• Optoelektronik: TeO₂-Dünnschichten können in spezielle optoelektronische Bauelemente und Strukturen integriert werden, die kontrollierte optische und dielektrische Eigenschaften erfordern.
• Nichtlineare Optik: Die nichtlinearen optischen Eigenschaften von TeO₂ machen es geeignet für die Forschung und Entwicklung nichtlinearer photonischer Bauelemente und Technologien zur optischen Signalverarbeitung.
• Sensoren und Forschung:TeO₂-Dünnschichten können für optische und chemische Sensorik-Anwendungen sowie für die fortgeschrittene Dünnschicht-, Photonik- und PVD-Forschung untersucht werden.

Überlegungen zum Sputtern

TeO₂ weist eine relativ geringe Wärmeleitfähigkeit auf, daher werden eine angemessene Kühlung und eine kontrollierte Sputterleistung empfohlen, um lokale Erwärmung und thermische Spannungen zu minimieren. Die Abscheidungsrate hängt von Prozessparametern wie Sputterleistung, Arbeitsdruck, Gaszusammensetzung, Substrattemperatur und dem Abstand zwischen Target und Substrat ab.

Handhabung und Lagerung

Telluroxid-Sputtertargets sind sicher verpackt, um das Risiko von Feuchtigkeit, Staub, Verunreinigungen und mechanischen Beschädigungen während des Transports und der Lagerung zu minimieren. Lagern Sie die Targets in einer dicht verschlossenen, trockenen und sauberen Umgebung, vorzugsweise in ihrer ursprünglichen Schutzverpackung, und schützen Sie sie vor Feuchtigkeit und chemischer Verunreinigung.

Häufig gestellte Fragen

Frage 1: Wofür wird ein TeO₂-Sputtertarget verwendet?

TeO₂-Sputtertargets werden in erster Linie zur Abscheidung von Tellurdioxid-Dünnschichten für optische Beschichtungen, photonische Wellenleiter, akustooptische Bauelemente, Optoelektronik, nichtlineare Optik und spezielle Sensoranwendungen verwendet.

Frage 2: Welche Reinheitsgrade sind für TeO₂-Sputtertargets erhältlich?

VIMATERIAL kann TeO₂-Sputtertargets mit einer Reinheit von 99,99 % sowie in anderen kundenspezifischen Reinheitsgraden liefern, je nach Anwendung und Anforderungen an die Verunreinigungsfreiheit.

Frage 3: Können TeO₂-Sputtertargets individuell angepasst werden?

Ja. TeO₂-Targets können hinsichtlich Reinheit, Abmessungen, Dicke, Form, Dichte, Befestigungskonfiguration und Verpackung individuell angepasst werden, um sie an bestimmte Sputteranlagen und Abscheidungsverfahren anzupassen.

Frage 4: Wie sollten TeO₂-Sputtertargets gelagert werden?

Telluroxid-Sputtertargets sollten versiegelt in einer trockenen, sauberen Umgebung aufbewahrt und vor Feuchtigkeit, Staub, chemischer Verunreinigung und mechanischen Einwirkungen geschützt werden. Die ursprüngliche Schutzverpackung sollte bis zur Verwendung des Materials aufbewahrt werden.