Il bersaglio di sputtering in ossido di zirconio
è un tipo di bersaglio ceramico con ossido di zirconio come componente principale, che presenta caratteristiche quali alto punto di fusione, elevata durezza e buona stabilità chimica, ed è utilizzato nella sputtering magnetronica e in altre tecnologie di rivestimento per preparare materiali a film sottile di alta qualità.
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Caratteristiche
Formula chimica: ZrO2
Punto di fusione: circa 2700 °C.
Punto di ebollizione: circa 4300 °C.
Densità: densità teorica 5,68 g/cm3.
Durezza: durezza Mohs circa 7.
Proprietà chimiche: elevata stabilità chimica, a temperatura ambiente non reagisce facilmente con acqua, acidi, alcali e altre sostanze, ma ad alte temperature, in presenza di acidi forti, alcali e altre condizioni specifiche, può subire reazioni chimiche.
Proprietà elettriche: in generale, l’ossido di zirconio ha una resistività relativamente elevata, ma la sua conduttività elettrica può essere efficacemente migliorata mediante drogaggio e altri mezzi per soddisfare i requisiti della polverizzazione magnetronica e di altri processi di polverizzazione elettricamente guidati.
Proprietà ottiche: il film di zirconia ha una buona trasmittanza ottica e un buon indice di rifrazione, può essere utilizzato per la preparazione di film ottici, film di miglioramento della permeabilità, film di interferenza, ecc.
Struttura della fase cristallina: l’ossido di zirconio ha tre fasi cristalline, ovvero la fase monoclina (al di sotto di 1170 °C), la fase tetragonale (1170 °C-2370 °C) e la fase cubica (al di sopra di 2370 °C).
Elettronica: utilizzati nei semiconduttori, nei display e nei dispositivi fotovoltaici per film dielettrici ad alta costante dielettrica, strati conduttivi trasparenti e miglioramento dell’efficienza e della stabilità.
Ottica: applicati nei rivestimenti ottici e laser per migliorare il controllo della luce, la durata e la stabilità termica.
Energia: utilizzati negli elettroliti SOFC e nelle batterie agli ioni di litio per migliorare la conduttività ionica, le prestazioni e la durata del ciclo.
Medicina: adatto per restauri dentali e rivestimenti di dispositivi medici grazie all’eccellente biocompatibilità, durezza e proprietà antibatteriche.
Industria: impiegato in rivestimenti resistenti all’usura, barriere termiche e rivestimenti decorativi per migliorare la durata, la resistenza al calore e le prestazioni superficiali.
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