Ossido di alluminio : Ossido di ittrio : Ossido di tulio (Al₂O₃- Y₂O₃-Tm₂O₃) I bersagli sono bersagli compositi creati da una miscela di ossido di alluminio, ossido di ittrio e ossido di tulio, spesso utilizzati in processi avanzati di deposizione di film sottili, come lo sputtering e la deposizione laser pulsata (PLD). Questa combinazione di ossidi si traduce in un materiale target con proprietà ottiche, termiche e strutturali uniche, adatto per l’uso in applicazioni elettroniche, fotoniche e laser.
L’ossido di alluminio (Al₂O₃) fornisce stabilità termica, durezza e isolamento elettrico. L’ossido di ittrio (Y₂O₃) migliora la tenacità e la resistenza termica del bersaglio, nonché la sua stabilità chimica. L’ossido di tulio (Tm₂O₃) è uno ione attivo nei materiali ottici, che aggiunge proprietà di emissione ottica vantaggiose per applicazioni laser e fotoniche.
Elevata durezza e tenacità: la combinazione di ossidi di alluminio e ittrio migliora la durezza e la tenacità alla frattura del bersaglio, il che lo rende durevole e resistente a crepe o usura durante l’uso. Stabilità termica: con un alto punto di fusione e una buona conduttività termica, questi target sono adatti per ambienti ad alta temperatura, con stabilità mantenuta fino a circa 2000°C.
Capacità fotoluminescente: L’ossido di tulio introduce proprietà luminescenti, rendendo il materiale efficace nelle applicazioni laser e ottiche. Se utilizzato in applicazioni a film sottile, questo bersaglio può depositare strati che emettono in determinate lunghezze d’onda, come il vicino infrarosso, vantaggiosi nella fotonica e nei sistemi laser medicali. Alta trasparenza: La combinazione di ossidi, in particolare con Tm₂O₃, può produrre film sottili trasparenti o traslucidi, adatti per rivestimenti ottici o applicazioni laser.
L’obiettivo mantiene elevate proprietà dielettriche, grazie ad Al₂O₃ e Y₂O₃, che garantiscono un forte isolamento elettrico in film sottili, rendendoli adatti per applicazioni in strati isolanti o rivestimenti protettivi in dispositivi elettronici.
Questa composizione target è resistente a molte sostanze chimiche, inclusi acidi e alcali, il che la rende ideale per applicazioni esposte ad ambienti difficili.
Dispositivi laser e fotonici: il componente dell’ossido di tulio conferisce proprietà luminescenti utili nei laser nel vicino infrarosso, nei circuiti fotonici e nelle tecnologie laser mediche. Rivestimenti ottici: il target composito può essere utilizzato per depositare film sottili con elevata trasparenza e proprietà ottiche specifiche, adatti per lenti, schermi e altri componenti ottici. Rivestimenti protettivi nell’elettronica: grazie alla sua durata, stabilità termica e isolamento, il bersaglio è utile nei rivestimenti per dispositivi elettronici, soprattutto dove è necessaria la resilienza alle alte temperature. Applicazioni resistenti all’usura e alle alte temperature: in ambienti che richiedono resistenza all’usura e stabilità alle alte temperature, questo bersaglio fornisce un’opzione robusta per la protezione delle superfici.
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