Ossido di alluminio

Il bersaglio sputtering in ossido di alluminio è un materiale bersaglio solido di elevata purezza composto principalmente da ossido di alluminio, comunemente utilizzato nei processi di deposizione di film sottili come lo sputtering e la deposizione laser pulsata. I target di ossido di alluminio sono essenziali nei settori che richiedono rivestimenti altamente durevoli, isolanti e resistenti all’usura, in particolare nell’elettronica, nell’ottica e nelle applicazioni ad alta temperatura.

Composizione dei bersagli di sputtering in ossido di alluminio:

Gli obiettivi di sputtering dell’ossido di alluminio sono in genere di purezza del 99,9% o superiore, soprattutto in applicazioni come la produzione di semiconduttori in cui la contaminazione minima è fondamentale. La composizione di Al₂O₃ ad alta purezza garantisce che i film risultanti presentino difetti minimi ed eccellenti proprietà isolanti.

Proprietà fisiche e strutturali:

Struttura densa e uniforme: I target uniformi e ad alta densità sono essenziali per una deposizione uniforme del film e sono progettati per ridurre al minimo i difetti e garantire l’omogeneità durante il processo di deposizione. Alto punto di fusione: L’ossido di alluminio ha un punto di fusione di circa 2072°C (3762°F), che lo rende adatto per applicazioni ad alta temperatura e per l’uso come barriera termica. Durezza e durata: L’Al₂O₃ si colloca ai primi posti nella scala di durezza Mohs, che consente al bersaglio di sopportare un uso prolungato in apparecchiature di sputtering senza usura significativa.

Isolamento termico ed elettrico:

Eccellente isolante: L’ossido di alluminio è un eccellente isolante elettrico, una proprietà preziosa per la creazione di strati isolanti nei componenti elettronici. Stabilità termica: Grazie alla sua stabilità termica, l’Al₂O₃ può resistere a temperature estreme senza rompersi, il che lo rende ideale per rivestimenti protettivi e componenti ad alta temperatura. Inerzia chimica: L’Al₂O₃ è altamente resistente alla corrosione e agli attacchi chimici, il che significa che può resistere all’esposizione ad ambienti difficili senza degradarsi. Questa inerzia è vantaggiosa nelle applicazioni che richiedono rivestimenti stabili che non reagiscono con altri materiali.

Applicazioni:

Elettronica e semiconduttori: I bersagli sputtering in ossido di alluminio sono comunemente usati per depositare strati sottili e isolanti nei dispositivi elettronici, come gli strati dielettrici nei condensatori e i rivestimenti protettivi nei circuiti microelettronici. Ottica: I rivestimenti in ossido di alluminio sono utilizzati in applicazioni ottiche per rivestimenti antiriflesso, lenti durevoli e schermi di visualizzazione grazie alla loro trasparenza e resistenza ai graffi. Aerospaziale e automobilistico: Come isolante per alte temperature e rivestimento resistente alla corrosione, l’Al₂O₃ viene applicato per proteggere i componenti critici dall’usura e dalle condizioni estreme. Rivestimenti protettivi: La durezza e l’inerzia chimica dell’ossido di alluminio lo rendono adatto per rivestimenti resistenti all’usura su utensili, strumenti da taglio e varie apparecchiature industriali.