Come realizzare il target di sputtering?

Materia prima in polvere – fusione della polvere – miscelazione della polvere – stampaggio a pressione – sinterizzazione in atmosfera – lavorazione della plastica – trattamento termico – rilevamento dei difetti a ultrasuoni – taglio ad acqua – lavorazione – metallizzazione – legatura – test a ultrasuoni – pulizia a ultrasuoni – ispezione – spedizione.

Tra questi, i significati specifici dei processi principali sono i seguenti:

Fusione della polvere: la polvere della materia prima viene sottoposta a una sinterizzazione preliminare in atmosfera per controllare il contenuto di gas nella polvere della materia prima.

Miscelazione della polvere: il materiale di destinazione ha una formula unica e il contenuto di ciascun componente deve essere controllato con precisione e il contenuto di impurità deve essere rigorosamente limitato. Nel processo di metallurgia delle polveri, è necessario miscelare completamente gli elementi in modo uniforme e la distribuzione delle dimensioni delle particelle è uniforme per evitare l’inquinamento; una polvere mista composita deve essere preparata con mezzi di processo speciali.

Stampaggio: il materiale di destinazione preparato con il processo di metallurgia delle polveri deve essere pre-stampato per renderlo un corpo verde di media densità. L’uniformità della densità e i difetti interni influiscono sulla resa della sinterizzazione ad alta temperatura nella fase successiva.

Sinterizzazione in atmosfera: Il corpo verde precompresso deve essere sottoposto a una o più sinterizzazioni ad alta temperatura. In base ai diversi materiali vengono selezionate diverse curve di temperatura di sinterizzazione e diversi ambienti di sinterizzazione, come l’atmosfera e la pressione di sinterizzazione, per preparare sbozzi ad alta densità.

Lavorazione della plastica: La billetta metallica deve subire un’ampia deformazione plastica per ottenere dimensioni sufficienti in lunghezza, larghezza e spessore e per consentire ai grani interni di subire una sufficiente deformazione a trazione, generando così sufficienti dislocazioni all’interno.  Trattamento termico: Dopo che la billetta metallica è stata sottoposta a una grande deformazione plastica, il processo di trattamento termico viene selezionato in base alle caratteristiche dei diversi materiali, in modo che il materiale metallico possa ricristallizzarsi e lo stress interno del materiale possa essere rimosso.

Rilevamento dei difetti a ultrasuoni: Dopo la lavorazione del target grezzo, è necessario utilizzare le onde ultrasoniche per verificare la presenza di difetti all’interno del materiale. Dopo l’incollaggio del grezzo alla piastra posteriore, è necessario utilizzare uno scanner a ultrasuoni a immersione d’acqua per rilevare lo strato di incollaggio e verificare se l’area di incollaggio è conforme agli standard.

Lavorazione meccanica: Il pezzo grezzo deve essere lavorato con una precisa formatura meccanica. La piastra posteriore utilizzata in combinazione con il pezzo grezzo deve avere una precisione dimensionale e una resistenza meccanica estremamente elevate, a causa del preciso coordinamento con l’apparecchiatura di rivestimento e del raffreddamento ad acqua ad alta pressione. La difficoltà di lavorazione è relativamente elevata, soprattutto per la piastra posteriore con un canale interno di circolazione dell’acqua. A causa della particolarità del materiale, la saldatura chiusa del canale d’acqua è molto difficile e richiede un processo di saldatura speciale.

Metallizzazione: Prima di legare il pezzo grezzo e la piastra posteriore, per migliorare le proprietà di bagnatura del metallo del materiale di destinazione e del materiale di destinazione e della saldatura, la superficie di saldatura deve essere pretrattata in modo che uno strato di transizione sia placcato sulla superficie.

Incollaggio: La maggior parte dei materiali di destinazione non può essere installata direttamente per il rivestimento a causa delle proprietà fisiche o chimiche del materiale. Per saldare insieme il target grezzo e la piastra posteriore è necessaria una saldatura metallica e il tasso di incollaggio effettivo della superficie deve raggiungere un’area di saldatura superiore al 95%. L’intero processo deve essere eseguito ad alta temperatura e ad alta pressione.