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Chemical Name:
Oxyde de hafnium
Formula:
HfO2
Product No.:
720800
CAS No.:
12055-23-1
EINECS No.:
235-013-2
Form:
Sputtering Target
HazMat:
ID du produit Formule Purity Dimension Quantity Prix en € Enquête
720800ST001 HfO2 99.95% (Zr< 0.5wt%) Ø 76.2 mm x 3.175 mm 1 POR Inquire
720800ST002 HfO2 99.95% (Zr< 0.5wt%) Ø 76.2 mm x 6.35 mm 1 POR Inquire
720800ST003 HfO2 99.95% (Zr< 0.5wt%) Ø 101.6 mm x 6.35 mm 1 POR Inquire
ID du produit
720800ST001
Formule
HfO2
Purity
99.95% (Zr< 0.5wt%)
Dimension
Ø 76.2 mm x 3.175 mm
Quantity
1
Prix en €
POR
ID du produit
720800ST002
Formule
HfO2
Purity
99.95% (Zr< 0.5wt%)
Dimension
Ø 76.2 mm x 6.35 mm
Quantity
1
Prix en €
POR
ID du produit
720800ST003
Formule
HfO2
Purity
99.95% (Zr< 0.5wt%)
Dimension
Ø 101.6 mm x 6.35 mm
Quantity
1
Prix en €
POR

Les cibles de pulvérisation d’oxyde de hafnium (HfO2) sont des matériaux de revêtement sous vide très performants. En utilisant de l’oxyde de hafnium de haute pureté comme matière première, des films minces sont fabriqués par dépôt physique en phase vapeur (PVD) dans divers scénarios de revêtement sous vide. Ces films sont des matériaux clés dans de nombreux domaines de haute technologie tels que les semi-conducteurs, l’optique et l’électronique, et ont de vastes perspectives d’application.

Notre oxyde de hafnium de haute pureté peut être personnalisé en taille et en forme (cibles planes, rectangulaires et de forme irrégulière) selon les besoins. L’emballage sous vide garantit la stabilité du produit. Contactez nous pour plus d’informations pour plus d’informations.

Propriétés des cibles de pulvérisation d’oxyde d’hafnium

Pureté : Généralement ≥99,95 % pour assurer une qualité de film stable.

Densité : Densité théorique ~9,68 g/cm³ ; les objectifs réels doivent être ≥90% de cette valeur.

Dureté : Élevée (Mohs ~6,5), offrant une bonne résistance à l’usure et une longue durée de vie.

Conductivité thermique : Faible (~3-5 W/m-K), nécessitant un refroidissement efficace pendant la pulvérisation.

Point de fusion : Très élevé (~2810°C), permettant un fonctionnement dans des conditions de ენერგy élevées.

Taille des grains : Habituellement 1-10 μm ; les grains plus fins améliorent l’uniformité et la densité du film.

Structure cristalline : Comprend des phases monocliniques, tétragonales et cubiques ; la sélection dépend de l’application.

Applications des cibles de pulvérisation d’oxyde d’hafnium

Domaine des semi-conducteurs

  • Condensateurs et optoélectronique : Une constante diélectrique élevée et une bonne isolation améliorent le stockage de l’énergie, l’efficacité photoélectrique et la vitesse du signal.
  • Transistors à effet de champ (FET) : Une résistance élevée à la rupture améliore la vitesse de commutation et la stabilité du dispositif (par exemple, MOSFET).
  • Oxydes de grille (CMOS) : Les faibles fuites, la grande fiabilité et la bonne mobilité des porteurs contribuent à améliorer les performances et l’intégration des puces.

Domaine de l’optique

  • Revêtements optiques : Un indice de réfraction élevé et une faible perte améliorent la transmission de la lumière et la qualité de l’image (par exemple, lentilles, miroirs, fibres).
  • Composants laser : Utilisés dans les miroirs et les fenêtres des lasers en raison de leur grande stabilité thermique et de leur résistance aux rayonnements à haute énergie.

Matériaux supraconducteurs

  • Utilisés dans les supraconducteurs à haute température (par exemple, les systèmes à base de Hf), applicables aux trains maglev, à l’informatique de pointe et à l’IRM.

Autres applications

  • Revêtements résistants à l’usure : Améliore la durabilité des pièces mécaniques et des outils de coupe.
  • Revêtements décoratifs : Améliorent l’apparence et la valeur grâce à des effets optiques spéciaux.

Emballage et stockage

Emballage :

Les cibles d’oxyde de hafnium sont scellées sous vide, placées dans un sac plastique antistatique, rembourrées avec de la mousse et enfin placées dans une boîte en carton ou une caisse en bois solide et propre. La qualité du matériau, sa pureté, sa taille et le numéro de lot sont clairement étiquetés afin de garantir la traçabilité et le contrôle de la qualité.

Stockage :

Les cibles d’oxyde de hafnium doivent être stockées dans un environnement propre, sec et à température stable pour conserver leurs performances. Il est recommandé de les conserver dans leur emballage d’origine scellé jusqu’à leur utilisation et de les tenir à l’écart de l’humidité, de la poussière et des substances corrosives. Évitez tout contact direct avec les mains nues afin d’éviter toute contamination ; il convient de porter des gants ou des outils propres lors de la manipulation.

FAQ (Foire aux questions)

Q1 : Qu’est-ce que l’oxyde de hafnium? ?

R : L’oxyde de hafnium (HfO₂) est un composé inorganique composé de hafnium et d’oxygène. Il s’agit d’un matériau fonctionnel important appartenant à la famille des oxydes de métaux de transition. Il possède un point de fusion élevé (environ 2810℃), une grande dureté (dureté de Mohs 6,5-7,5) et une excellente stabilité chimique, étant pratiquement insoluble dans l’eau et la plupart des acides (à l’exception de l’acide fluorhydrique) à température ambiante. Ces propriétés en font un matériau de base pour les matériaux à haute température, les revêtements optiques et les appareils électroniques.

Q2 : À quoi sert l’oxyde de hafnium ?

R : L’oxyde de hafnium (HfO₂) est un composé inorganique important. En raison de sa section transversale élevée d’absorption des neutrons thermiques, c’est un matériau clé pour les barres de contrôle des réacteurs nucléaires et il a également de nombreuses applications dans les semi-conducteurs, l’optique et les technologies de mémoire avancées.

Énergie nucléaire et ingénierie des hautes températures : Barres de contrôle des réacteurs nucléaires et matériaux de protection, matériaux réfractaires et de revêtement à haute température, préparation et précurseurs du métal hafnium.

Semi-conducteurs et microélectronique : Couches diélectriques de grille de transistor, applications de mémoire, autres composants électroniques.

Optique et matériaux multifonctionnels : Revêtements optiques et matériaux pour lasers, céramiques et catalyseurs, matériaux fonctionnels spéciaux.

Q3 : Les cibles d’oxyde de hafnium peuvent-elles être personnalisées ?

R : Oui, les cibles de pulvérisation d’oxyde de hafnium (HfO2) peuvent être entièrement personnalisées pour répondre aux exigences d’applications spécifiques. Nous proposons des solutions sur mesure en termes de niveaux de pureté, de dimensions et de formes pour s’adapter aux différents procédés et équipements de dépôt. Que vous ayez besoin de disques standard, de cibles rectangulaires ou de géométries spéciales, notre équipe peut les fabriquer selon vos dessins et spécifications techniques. Cela garantit des performances, une compatibilité et une efficacité optimales pour votre application particulière.

Q4 : Quel est le délai de livraison des cibles d’oxyde d’hafnium ?

R : En stock : Expédition immédiate

Produits standard : Généralement 2-4 semaines

Produits personnalisés : Déterminé en fonction des détails requis

Les exigences particulières peuvent être discutées

Produit recommandé

ASSURANCE QUALITÉ

VI HALBLEITERMATERIAL GmbH (VIMATERIAL) utilise un système d’assurance qualité rigoureux pour garantir la fiabilité de la qualité de ses produits. Un contrôle de qualité strict est mis en œuvre tout au long de la chaîne de production et, pour les produits défectueux, nous appliquons strictement le principe de la reprise et du remplacement. Chaque lot n’est libéré qu’après avoir passé des tests de spécification détaillés.

Chaque lot de nos matériaux est testé de manière indépendante et, si nécessaire, nous envoyons des échantillons à des entreprises certifiées pour qu’elles les testent. Nous fournissons ces documents et les certificats d’analyse avec l’envoi pour certifier que nos produits répondent aux normes requises.

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