| Produkt-ID | Formel | Purity | Dimension | Quantity | Preis in € | Anfrage |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 401400ST001 | ZrSi2 | 99.5% (Zr + Hf) | Ø 50.8 mm x 3.175 mm | 1 | POR | Inquire |
| 401400ST002 | ZrSi2 | 99.5% (Zr + Hf) | Ø 76.2 mm x 6.35 mm | 1 | POR | Inquire |
| 401400ST003 | ZrSi2 | 99.5% (Zr + Hf) | Ø 232.4 mm x 6.35 mm | 1 | POR | Inquire |
Zirkoniumsilicid sputtertargets sind hochreine, hochdichte, chemisch stabile Materialien mit kompatiblen Kristallstrukturen, die durch eine Vielzahl von Verfahren hergestellt werden und in den Bereichen Halbleiter, elektronische Geräte, Optik und Beschichtungen weit verbreitet sind.
VIMATERIAL bietet hochreine Zirkoniumsilizid-Targets, -Granulate und -Pulver an. Kundenspezifische Größen und Partikelgrößen sind auf Anfrage erhältlich. Kontaktieren Sie uns für weitere Informationen.
Dichte: Liegt typischerweise zwischen 4,8 und 5,5 g/cm³.
Schmelzpunkt: Hoher Schmelzpunkt von etwa 1500-1550°C, der eine ausgezeichnete thermische Stabilität gewährleistet.
Härte: Mohs-Härte von etwa 7-8, die eine gute Verschleißfestigkeit und Haltbarkeit bietet.
Kristallstruktur: Gut definierte Kristallstruktur, in der Regel kubisch, die eine gleichbleibende Filmqualität und Sputterleistung gewährleistet.
Wärmeausdehnungskoeffizient: Ungefähr 6×10-⁶/°C bis 8×10-⁶/°C innerhalb von 20-1000°C, was eine gute Kompatibilität mit verschiedenen Substratmaterialien ermöglicht und die Belastung des Films während der Abscheidung und des Betriebs reduziert.
Elektrischer spezifischer Widerstand: Liegt typischerweise im Bereich von 10-⁴-10-³ Ω-cm und erfüllt die Leitfähigkeitsanforderungen für elektrische und elektronische Anwendungen.
Halbleiteranwendungen: Zirconiumsilicid wird in Halbleiterbauelementen häufig für Isolierschichten, Diffusionsbarrieren und Metallgates verwendet. Seine hohen dielektrischen Eigenschaften und der geringe Leckstrom tragen dazu bei, die Leistung, Zuverlässigkeit, Energieeffizienz und Integrationsdichte der Geräte zu verbessern.
Elektronische Geräte: In integrierten Schaltkreisen, Dünnschichttransistoren (TFTs) und Flüssigkristallanzeigen (LCDs) dienen Zirkoniumsilicid-Filme als Elektroden-, Verbindungs- und Kontaktmaterialien und bieten eine hervorragende elektrische Leitfähigkeit, Stabilität und starke Filmhaftung.
Optische Anwendungen: Zirkoniumsilicid-Filme werden in optischen Beschichtungen wie Antireflex-, Reflexions- und optischen Filterfilmen verwendet. Ihr geeigneter Brechungsindex und ihre optischen Eigenschaften ermöglichen eine präzise Lichtsteuerung, was sie für optische Instrumente, optische Kommunikationssysteme und photovoltaische Solaranwendungen wertvoll macht.
Schützende Beschichtungen: Als Hochleistungsbeschichtungsmaterial wird es zur Herstellung von verschleißfesten, korrosionsbeständigen und hochtemperaturbeständigen Beschichtungen verwendet. Diese Beschichtungen verbessern die Härte, Oxidationsbeständigkeit und Lebensdauer von Schneidwerkzeugen, Formen und Komponenten für die Luft- und Raumfahrt erheblich.
Zirkoniumsilicid-Targets werden in der Regel vakuumversiegelt, feuchtigkeitsdicht verpackt und mit Schutzpolstern versehen, um Oxidation, Verunreinigung und mechanische Beschädigung während des Transports zu verhindern.
Lagern Sie die Targets in einer trockenen, kühlen und sauberen Umgebung, vorzugsweise in einer versiegelten Verpackung bei Raumtemperatur, fern von Feuchtigkeit, Säuren und Oxidationsmitteln, um die Materialreinheit und Sputterleistung zu erhalten.
Q1: Was sind Sputtertargets aus Zirkoniumsilicid?
A: Sputtertargets aus Zirkoniumsilicid sind hochreine intermetallische Materialien, die in PVD-Verfahren (Physical Vapor Deposition) zur Abscheidung dünner Schichten mit hervorragenden elektrischen, thermischen und mechanischen Eigenschaften für hochentwickelte funktionelle Beschichtungen verwendet werden.
F2: Wofür wird Zirkoniumsilicid verwendet?
A: Zirconiumsilicid findet breite Anwendung in Halbleiterbauelementen (z. B. Barriere- und Leitschichten), elektronischen Bauteilen (ICs, TFTs, LCDs), optischen Beschichtungen (Antireflex- und Reflexionsschichten) und Schutzschichten, die eine hohe Härte, Verschleißfestigkeit und thermische Stabilität erfordern.
F3: Wie bestelle ich Sputtertargets aus Zirkoniumsilicid?
A: Sie können es auf der Grundlage der von Ihnen benötigten Parameter (wie Reinheit, Größe, Form, Bindungsart und Substratkompatibilität) bestellen. Setzen Sie sich direkt mit uns in Verbindung, um ein individuelles Angebot und eine Bestätigung der Lieferzeit zu erhalten.
Die VI HALBLEITERMATERIAL GmbH (VIMATERIAL) wendet ein strenges Qualitätssicherungssystem an, um die Zuverlässigkeit unserer Produktqualität zu gewährleisten. In der gesamten Produktionskette werden strenge Qualitätskontrollen durchgeführt, und bei fehlerhaften Produkten setzen wir das Prinzip der Nachbesserung streng durch. Jede Charge wird erst dann freigegeben, wenn sie detaillierte Spezifikationstests bestanden hat.
Jede Charge unserer Materialien wird von unabhängiger Seite getestet, und falls erforderlich, senden wir Proben an zertifizierte Unternehmen zur Prüfung. Wir liefern diese Dokumente und Analysezertifikate zusammen mit der Lieferung, um zu bestätigen, dass unsere Produkte die erforderlichen Standards erfüllen.
Wenden Sie sich noch heute an unser Expertenteam und lassen Sie sich von uns bei Ihrem Geschäft helfen!
