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Chemical Name:
Molybdänsilizid
Formula:
MoSi2
Product No.:
421401
CAS No.:
12136-78-6
EINECS No.:
235-231-8
Form:
Sputtering Target
HazMat:
Produkt-ID Formel Purity Dimension Quantity Preis in € Anfrage
421401ST001 MoSi2 99.5% Ø 76.2 mm x 6.35 mm 1 POR Inquire
421401ST002 MoSi2 99.9% Ø 200 mm x 4 mm 1 POR Inquire
421401ST003 MoSi2 99.5% 150 mm x 100 mm x 6 mm 1 POR Inquire
421401ST004 MoSi2 99.9% 300 mm x 100 mm x 6 mm 1 POR Inquire
Produkt-ID
421401ST001
Formel
MoSi2
Purity
99.5%
Dimension
Ø 76.2 mm x 6.35 mm
Quantity
1
Preis in €
POR
Produkt-ID
421401ST002
Formel
MoSi2
Purity
99.9%
Dimension
Ø 200 mm x 4 mm
Quantity
1
Preis in €
POR
Produkt-ID
421401ST003
Formel
MoSi2
Purity
99.5%
Dimension
150 mm x 100 mm x 6 mm
Quantity
1
Preis in €
POR
Produkt-ID
421401ST004
Formel
MoSi2
Purity
99.9%
Dimension
300 mm x 100 mm x 6 mm
Quantity
1
Preis in €
POR
Die von VIMATERIAL angebotenenSputtertargets aus Molybdänsilizid eignen sich für die PVD-Beschichtung, optische Dünnschichten und Halbleiterbauelemente. Diese hochdichten, hochreinen Molybdänsilizid-Targets gewährleisten eine gleichmäßige Dünnschichtabscheidung und hohe Temperaturstabilität.Die Molybdänsilizid-Sputtertargets von VIMATERIAL werden aus hochreinen Rohstoffen und mithilfe fortschrittlicher Hochtemperatur-Sinterverfahren hergestellt, wodurch eine gleichmäßige Abscheidung und langfristige Stabilität gewährleistet sind. Diese Targets eignen sich für PVD-Beschichtungen, optische Dünnschichten, Halbleiterbauelemente sowie die Herstellung von hochtemperaturbeständigen, verschleißfesten Werkstoffen.

  • Reinheit: ≥99,9 %
  • Dichte: ≥95 % der theoretischen Dichte
  • Spezifikationen: Runde und quadratische Targets, Dicke nach Wunsch anpassbar
  • Form: Gepresste und geformte Partikel gleichmäßiger Größe

Technische Spezifikationen

Parameter Beschreibung
Chemische Formel MoSi₂
Verunreinigungsgehalt Fe, Ni, Cu < 50 ppm
Dichte ≥7,0 g/cm³
Gute Leitfähigkeit geeignet für Hochtemperaturbeschichtung
Verfahren Kaltisostatisches Pressen + Hochtemperatursintern
Form Runde und quadratische Targets, Dicke nach Wunsch anpassbar
Kristallstruktur Hexagonal dicht gepackt
Verbindungs-Trägerplatte Anpassbar

Anwendungen von Molybdänsilizid-Sputtertargets

  • Optische PVD-Beschichtung: Hohe Reinheit gewährleistet einen gleichmäßigen Dünnfilm
  • Halbleiterbauelemente: Geeignet für die Hochtemperaturabscheidung von Chip- und Elektrodenmaterialien
  • Verschleißfeste Hochtemperaturwerkstoffe: Geeignet für die Beschichtungsvorbereitung in extremen Umgebungen
  • Forschung und Experimentieren: Geeignet für die Materialwissenschaft und die Entwicklung von Dünnschichten

Vorteile von Sputtertargets aus Molybdänsilizid

  • Hohe Reinheit und hohe Dichte: Gewährleisten eine gleichmäßige Beschichtung und stabile Leistung.
  • Hohe Temperaturstabilität: Geeignet für PVD-Beschichtungsverfahren bei hohen Temperaturen.
  • Individuell anpassbare Formen: Runde und quadratische Targets, auch in kundenspezifischen Dicken erhältlich.
  • Geringer Verunreinigungsgehalt: Extrem niedriger Gehalt an Fe, Ni und Cu, was die Schichtqualität verbessert.
  • Langfristige und stabile Lieferung: Eine strenge Qualitätskontrolle gewährleistet die gleichbleibende Produktqualität.

Häufig gestellte Fragen

Frage 1: Für welche Beschichtungsverfahren eignen sich Molybdänsilicid-Sputtertargets?

A: Sie eignen sich in erster Linie für PVD, Magnetron-Sputtern und die Abscheidung optischer Dünnschichten und gewährleisten dabei Schichtgleichmäßigkeit und Hochtemperaturstabilität.

F2: Können die Abmessungen der Targets individuell angepasst werden?

A: Ja, sowohl runde als auch quadratische Targets sowie deren Dicke können an die Kundenanforderungen angepasst werden.

Frage 3: Wie hoch ist der Verunreinigungsgehalt?

A: Unsere Molybdänsilizid-Targetplatten weisen einen extrem geringen Verunreinigungsgehalt auf, wobei der Gehalt an Fe, Ni und Cu unter 50 ppm liegt, was hochreine Beschichtungsergebnisse gewährleistet.

F4: Was sind die Vorteile von MoSi₂-Targets?

A: Hohe Reinheit, hohe Dichte, gleichmäßige Abscheidung, Hochtemperaturstabilität und anpassbare Formen.

Verpackung und Versand

Jedes Molybdändisilizid-Target wird in hochwertigen, stoßdämpfenden Schaumstoff, antistatisches Material und eine maßgeschneiderte Verpackung eingepackt, um es vor Stößen und Feuchtigkeit zu schützen.

Wir bieten spezielle Verpackungen für verschiedene Targetgrößen (rund und quadratisch) an, um einen sicheren Transport zu gewährleisten. Wir bieten eine Vielzahl von Versandoptionen an: Land-, Luft- oder Expressversand, um den unterschiedlichen Kundenbedürfnissen gerecht zu werden.

Um die Stabilität und Leistungsfähigkeit von Molybdändisilizid-Targets zu gewährleisten, sollten diese in einer trockenen Umgebung mit konstanter Temperatur gelagert werden. Vermeiden Sie längeren Kontakt mit Luft und ergreifen Sie Schutzmaßnahmen, um Feuchtigkeit, Beschädigungen und Verunreinigungen zu verhindern.

Anwendungsempfehlungen

Um eine optimale Leistung der MoSi₂-Targetplatten zu gewährleisten, überprüfen Sie deren Oberflächen vor dem Einbau auf Risse und Verunreinigungen. Halten Sie während der Beschichtung eine stabile Umgebungstemperatur und einen stabilen Umgebungsdruck aufrecht und stellen Sie sicher, dass die Anlage mit der Targetplatte kompatibel ist. Reinigen Sie die Targetoberfläche regelmäßig und führen Sie zeitnahe Inspektionen und Wartungsarbeiten an der Anlage durch, um einen effizienten Betrieb zu gewährleisten.

Bearbeitungsdienstleistungen

VIMATERIAL bietet maßgeschneiderte MoSi₂-Targets sowie Präzisionsschneide- und Bearbeitungsdienstleistungen an, um sicherzustellen, dass diese den Anforderungen der Kunden hinsichtlich Abmessungen und Oberflächenbeschaffenheit entsprechen. Für Targets, die eine hohe Oberflächengüte erfordern, bieten wir zudem Präzisionsschleifdienstleistungen an, um eine glatte Oberfläche zu gewährleisten, die für hochpräzise Beschichtungsprozesse geeignet ist.

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QUALITÄTSSICHERUNG

Die VI HALBLEITERMATERIAL GmbH (VIMATERIAL) wendet ein strenges Qualitätssicherungssystem an, um die Zuverlässigkeit unserer Produktqualität zu gewährleisten. In der gesamten Produktionskette werden strenge Qualitätskontrollen durchgeführt, und bei fehlerhaften Produkten setzen wir das Prinzip der Nachbesserung streng durch. Jede Charge wird erst dann freigegeben, wenn sie detaillierte Spezifikationstests bestanden hat.

Jede Charge unserer Materialien wird von unabhängiger Seite getestet, und falls erforderlich, senden wir Proben an zertifizierte Unternehmen zur Prüfung. Wir liefern diese Dokumente und Analysezertifikate zusammen mit der Lieferung, um zu bestätigen, dass unsere Produkte die erforderlichen Standards erfüllen.

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