| ID du produit | Formule | Purity | Dimension | Quantity | Prix en € | Enquête |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 401400ST001 | ZrSi2 | 99.5% (Zr + Hf) | Ø 50.8 mm x 3.175 mm | 1 | POR | Inquire |
| 401400ST002 | ZrSi2 | 99.5% (Zr + Hf) | Ø 76.2 mm x 6.35 mm | 1 | POR | Inquire |
| 401400ST003 | ZrSi2 | 99.5% (Zr + Hf) | Ø 232.4 mm x 6.35 mm | 1 | POR | Inquire |
Siliciure de zirconium les cibles de pulvérisation sont des matériaux de haute pureté, de haute densité, chimiquement stables avec des structures cristallines compatibles, qui sont préparés par une variété de méthodes et sont largement utilisés dans les domaines des semi-conducteurs, des dispositifs électroniques, de l’optique et des revêtements.
VIMATERIAL propose des cibles, des granulés et des poudres de siliciure de zirconium de haute pureté. Des tailles et des granulométries personnalisées sont disponibles sur demande. Contactez nous pour plus d’informations pour plus d’informations.
Densité : Elle est généralement comprise entre 4,8 et 5,5 g/cm³.
Point de fusion : Point de fusion élevé d’environ 1500-1550°C, offrant une excellente stabilité thermique.
Dureté : Dureté Mohs d’environ 7-8, offrant une bonne résistance à l’usure et une bonne durabilité.
Structure cristalline : La structure cristalline est bien définie, généralement cubique, ce qui permet d’assurer une qualité de film et des performances de pulvérisation constantes.
Coefficient de dilatation thermique : Environ 6×10-⁶/°C à 8×10-⁶/°C entre 20 et 1000°C, ce qui permet une bonne compatibilité avec divers matériaux de substrat et réduit la tension du film pendant le dépôt et le fonctionnement.
Résistivité électrique : Généralement de l’ordre de 10-⁴-10-³ Ω-cm, répondant aux exigences de conductivité pour les applications électriques et électroniques.
Applications dans le domaine des semi-conducteurs : Le siliciure de zirconium est largement utilisé dans les dispositifs semi-conducteurs pour les couches isolantes, les barrières de diffusion et les portes métalliques. Ses propriétés diélectriques élevées et son faible courant de fuite contribuent à améliorer les performances, la fiabilité, l’efficacité énergétique et la densité d’intégration des dispositifs.
Dispositifs électroniques : Dans les circuits intégrés, les transistors à couche mince (TFT) et les écrans à cristaux liquides (LCD), les films de siliciure de zirconium servent d’électrodes, d’interconnexions et de matériaux de contact, offrant une excellente conductivité électrique, une grande stabilité et une forte adhérence des films.
Applications optiques : Les films de siliciure de zirconium sont utilisés dans les revêtements optiques tels que les films antireflets, réfléchissants et les filtres optiques. Leur indice de réfraction et leurs propriétés optiques appropriés permettent un contrôle précis de la lumière, ce qui les rend précieux dans les instruments optiques, les systèmes de communication optique et les applications solaires photovoltaïques.
Revêtements protecteurs : En tant que matériau de revêtement à haute performance, il est utilisé pour produire des revêtements résistants à l’usure, à la corrosion et aux températures élevées. Ces revêtements améliorent considérablement la dureté, la résistance à l’oxydation et la durée de vie des outils de coupe, des moules et des composants aérospatiaux.
Les cibles de siliciure de zirconium sont généralement emballées sous vide, à l’abri de l’humidité, avec des coussins de protection pour éviter l’oxydation, la contamination et les dommages mécaniques pendant le transport.
Les cibles doivent être stockées dans un environnement sec, frais et propre, de préférence dans un emballage scellé à température ambiante, à l’abri de l’humidité, des acides et des agents oxydants afin de préserver la pureté du matériau et les performances de pulvérisation.
Q1 : Qu’est-ce qu’une cible de pulvérisation de siliciure de zirconium ?
R : Les cibles de pulvérisation du siliciure de zirconium sont des matériaux intermétalliques de haute pureté utilisés dans les processus de dépôt physique en phase vapeur (PVD) pour déposer des couches minces dotées d’excellentes propriétés électriques, thermiques et mécaniques pour les revêtements fonctionnels avancés.
Q2 : À quoi sert le siliciure de zirconium ?
R : Il est largement utilisé dans les dispositifs semi-conducteurs (tels que les couches barrières et conductrices), les composants électroniques (circuits intégrés, écrans plats, écrans à cristaux liquides), les revêtements optiques (films antireflets et réfléchissants) et les revêtements de protection nécessitant une dureté, une résistance à l’usure et une stabilité thermique élevées.
Q3 : Comment commander des cibles de pulvérisation de siliciure de zirconium ?
R : Vous pouvez les commander en fonction des paramètres requis (tels que la pureté, la taille, la forme, le type de liaison et la compatibilité avec le substrat). Contactez-nous directement pour la personnalisation, les devis et la confirmation du délai de livraison.
VI HALBLEITERMATERIAL GmbH (VIMATERIAL) utilise un système d’assurance qualité rigoureux pour garantir la fiabilité de la qualité de ses produits. Un contrôle de qualité strict est mis en œuvre tout au long de la chaîne de production et, pour les produits défectueux, nous appliquons strictement le principe de la reprise et du remplacement. Chaque lot n’est libéré qu’après avoir passé des tests de spécification détaillés.
Chaque lot de nos matériaux est testé de manière indépendante et, si nécessaire, nous envoyons des échantillons à des entreprises certifiées pour qu’elles les testent. Nous fournissons ces documents et les certificats d’analyse avec l’envoi pour certifier que nos produits répondent aux normes requises.
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