Les cibles de pulvérisation en nitrure d’hafnium sont fabriquées à partir de nitrure d’hafnium de haute pureté et sont largement utilisées pour le dépôt de couches minces, les technologies de revêtement et l’industrie des semi-conducteurs. Les cibles de pulvérisation en nitrure d’hafnium de VImaterial offrent une excellente stabilité chimique et une excellente dureté, ce qui les rend adaptées à une variété d’applications de couches minces de haute précision. Elles assurent une vitesse de pulvérisation uniforme pendant le dépôt, permettant un contrôle précis de l’épaisseur et de la qualité du matériau déposé.
Matériau de haute pureté : Nos cibles sont fabriquées à partir de matières premières de haute pureté, garantissant l’absence d’impuretés lors du processus de pulvérisation et la production de films de haute qualité.
Excellente stabilité thermique : Nos cibles offrent une conductivité thermique élevée et une résistance aux températures élevées, permettant un fonctionnement stable dans des environnements à haute température et adaptées aux processus de dépôt dans diverses conditions extrêmes.
Forte stabilité chimique : Nos cibles sont très résistantes à l’oxydation et à la corrosion, conservant une stabilité à long terme dans divers environnements chimiques.
Applications variées : Convient aux revêtements durs, fonctionnels, optiques, couches minces semi-conductrices et autres applications, répondant aux exigences des procédés de dépôt de couches minces haut de gamme.
| Paramètres | Spécifications |
| Formule chimique | HfN |
| Pureté | 99,5 % |
| Diamètre et épaisseur | Personnalisé |
| Densité | 12,5 g/cm³ |
| Dureté | 1600 HV |
| Conductivité thermique | 14 W/m·K |
| Température de fonctionnement | 1000 °C (jusqu’à 1500 °C) |
| Méthode de pulvérisation cathodique | Pulvérisation CC / Pulvérisation RF / Pulvérisation laser pulsé |
| Structure cristalline | Cubique à faces centrées (FCC) |
| Méthode de collage | Collage métallique / Adhésif conducteur / Soudure de fond de panier |
| Options de fond de panier | Fond de panier en cuivre / Fond de panier en aluminium / Fond de panier en acier inoxydable |
Revêtements durs et revêtements fonctionnels : Dotés d’une excellente dureté et d’une excellente résistance à l’usure, ces films conviennent aux revêtements de surface des outils de coupe, des moules, des composants électroniques, et d’autres applications, améliorant la durabilité des matériaux et la résistance aux rayures.
Revêtements optiques : Les films de nitrure d’hafnium peuvent être utilisés dans les revêtements réfléchissants haute température, les dispositifs optiques, les réflecteurs laser et autres composants optiques, offrant une meilleure réflectivité et une meilleure résistance aux dommages causés par la lumière.
Industrie des semi-conducteurs : Largement utilisés comme couches de résistance aux radiations ou d’isolation électrique dans les dispositifs semi-conducteurs, notamment en électronique de puissance, MEMS et optoélectronique.
Technologie des batteries : Les films minces de nitrure d’hafnium peuvent être utilisés dans les batteries au lithium, les supercondensateurs et autres dispositifs de stockage d’énergie, améliorant leur conductivité et leur stabilité, prolongeant ainsi leur durée de vie.
Garantie de haute qualité : Chaque cible de pulvérisation cathodique en nitrure d’hafnium que nous fournissons est soumise à des tests de qualité rigoureux afin de garantir sa stabilité et sa fiabilité dans diverses applications de haute précision.
Personnalisation : En fonction de vos besoins spécifiques, nous pouvons fournir des services personnalisés avec différentes tailles et puretés pour répondre aux exigences spécifiques des différents équipements de pulvérisation cathodique.
Prix compétitifs : En tant que fabricant professionnel de cibles de pulvérisation cathodique, VIMATERIAL propose à ses clients des produits économiques et un approvisionnement stable et durable.
Support technique : Notre équipe technique propose des services complets d’assistance et de conseil pour aider nos clients à résoudre divers problèmes liés à l’utilisation des cibles de pulvérisation cathodique et garantir un processus fluide.
A1 : Oui, les cibles en nitrure d’hafnium présentent une excellente stabilité thermique et peuvent fonctionner de manière stable jusqu’à 1 000 °C, ce qui les rend idéales pour les applications de dépôt de couches minces à haute température.
A2 : Oui, VIMATERIAL propose des tailles sur mesure pour répondre aux besoins des différents équipements de pulvérisation.
A3 : Notre équipe technique professionnelle prend en charge la personnalisation de nos produits. N’hésitez pas à nous faire part de vos informations ou suggestions pertinentes pour évaluation.
A4 : Lors de la pulvérisation cathodique au nitrure d’hafnium, les points suivants doivent être pris en compte :
1. Choix de l’atmosphère de pulvérisation : Utiliser de l’azote (N₂) ou de l’argon (Ar) comme gaz de pulvérisation. L’azote favorise la formation d’un film de nitrure stable sur le substrat.
2. Contrôle de la puissance de pulvérisation : Maintenir une puissance de pulvérisation appropriée pour éviter toute surchauffe ou évaporation de la surface de la cible, susceptibles d’altérer la qualité du film.
3. Température du substrat : La température du substrat doit être maintenue dans une plage appropriée pour garantir la qualité et l’uniformité du film, et éviter une cristallisation excessive ou une fissuration fragile.
4. Nettoyage de la surface de la cible : S’assurer que la surface de la cible est exempte de contaminants. Un nettoyage peut être effectué avant utilisation pour éviter tout impact sur les performances de pulvérisation.
5. Suivi de la vitesse de pulvérisation : Maintenir une vitesse de pulvérisation stable pour garantir une épaisseur de film uniforme et s’adapter aux différentes exigences de dépôt.
Les cibles de pulvérisation cathodique en nitrure d’hafnium sont emballées conformément aux normes internationales avant expédition. Nous utilisons des sacs en plastique antistatiques, de la mousse et des cartons extérieurs haute résistance pour protéger les cibles des dommages pendant le transport. La surface de la cible est également traitée pour éviter les rayures et autres dommages mécaniques.
Nous proposons différentes options d’expédition, notamment maritime, aérienne et terrestre, afin de garantir une livraison rapide et sûre. Toutes les procédures de transport sont strictement conformes aux réglementations internationales en matière d’expédition afin de garantir que les cibles en nitrure d’hafnium soient en parfait état à la livraison.
Les cibles en nitrure d’hafnium doivent être stockées dans un endroit sec et frais, en évitant toute exposition directe à l’humidité, aux gaz corrosifs ou aux températures élevées, afin de préserver leurs performances et leur qualité.
Cibles de pulvérisation cathodique en oxyde d’hafnium (HfO₂) : Utilisées dans les revêtements résistants à la chaleur et aux hautes températures, les condensateurs et les couches minces optiques, elles offrent d’excellentes propriétés électriques et une excellente stabilité chimique.
Cibles de pulvérisation en nitrure de silicium (Si3N4) : Adaptées à la fabrication de composants électroniques, de cellules solaires et de dispositifs optiques, elles offrent une résistivité et une résistance à l’usure élevées.
Cibles de pulvérisation en nitrure de tantale (TaN) : Utilisées dans l’industrie des semi-conducteurs, les résistances à couches minces et les circuits intégrés.
Nous fournissons une documentation technique complète sur les cibles de pulvérisation en nitrure d’hafnium, comprenant un certificat d’analyse (COA), une fiche technique (TDS) et une fiche de données de sécurité (FDS). Vous pouvez télécharger la documentation directement depuis la page produit ou nous contacter par message. Nous vous fournirons un rapport produit complet et adapté à vos besoins. De plus, sur demande, nous pouvons fournir des échantillons pour vérification par des laboratoires d’essai tiers, garantissant ainsi une conformité et une fiabilité optimales.
VI HALBLEITERMATERIAL GmbH (VIMATERIAL) utilise un système d’assurance qualité rigoureux pour garantir la fiabilité de la qualité de ses produits. Un contrôle de qualité strict est mis en œuvre tout au long de la chaîne de production et, pour les produits défectueux, nous appliquons strictement le principe de la reprise et du remplacement. Chaque lot n’est libéré qu’après avoir passé des tests de spécification détaillés.
Chaque lot de nos matériaux est testé de manière indépendante et, si nécessaire, nous envoyons des échantillons à des entreprises certifiées pour qu’elles les testent. Nous fournissons ces documents et les certificats d’analyse avec l’envoi pour certifier que nos produits répondent aux normes requises.
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