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Chemical Name:
Dioxyde de silicium
Formula:
SiO2
Product No.:
140801
CAS No.:
7631-86-9
EINECS No.:
231-545-4
Form:
Sputtering Target
HazMat:
ID du produit Formule Purity Dimension Quantity Prix en € Enquête
140801ST001 SiO2 99.99% Ø 50.8mm x 3.175mm 1 POR Inquire
140801ST002 SiO2 99.995% Ø 50.8mm x 3.175mm 1 POR Inquire
140801ST003 SiO2 99.99% Ø 76.2mm x 3.175mm 1 POR Inquire
140801ST004 SiO2 99.99% Ø 76.2mm x 6.35mm 1 POR Inquire
140801ST005 SiO2 99.995% Ø 76.2mm x 6.35mm 1 POR Inquire
140801ST006 SiO2 99.99% Ø 101.6mm x 3.175mm 1 POR Inquire
140801ST007 SiO2 99.995% Ø 101.6mm x 3.175mm 1 POR Inquire
140801ST008 SiO2 99.995% Ø 110mm x 14mm 1 POR Inquire
140801ST009 SiO2 99.99% Ø 304.8mm x 6.35mm 1 POR Inquire
140801ST010 SiO2 99.99% 280mm x 200mm x 6mm 1 POR Inquire
ID du produit
140801ST001
Formule
SiO2
Purity
99.99%
Dimension
Ø 50.8mm x 3.175mm
Quantity
1
Prix en €
POR
ID du produit
140801ST002
Formule
SiO2
Purity
99.995%
Dimension
Ø 50.8mm x 3.175mm
Quantity
1
Prix en €
POR
ID du produit
140801ST003
Formule
SiO2
Purity
99.99%
Dimension
Ø 76.2mm x 3.175mm
Quantity
1
Prix en €
POR
ID du produit
140801ST004
Formule
SiO2
Purity
99.99%
Dimension
Ø 76.2mm x 6.35mm
Quantity
1
Prix en €
POR
ID du produit
140801ST005
Formule
SiO2
Purity
99.995%
Dimension
Ø 76.2mm x 6.35mm
Quantity
1
Prix en €
POR
ID du produit
140801ST006
Formule
SiO2
Purity
99.99%
Dimension
Ø 101.6mm x 3.175mm
Quantity
1
Prix en €
POR
ID du produit
140801ST007
Formule
SiO2
Purity
99.995%
Dimension
Ø 101.6mm x 3.175mm
Quantity
1
Prix en €
POR
ID du produit
140801ST008
Formule
SiO2
Purity
99.995%
Dimension
Ø 110mm x 14mm
Quantity
1
Prix en €
POR
ID du produit
140801ST009
Formule
SiO2
Purity
99.99%
Dimension
Ø 304.8mm x 6.35mm
Quantity
1
Prix en €
POR
ID du produit
140801ST010
Formule
SiO2
Purity
99.99%
Dimension
280mm x 200mm x 6mm
Quantity
1
Prix en €
POR

Dioxyde de silicium Les cibles de pulvérisation en dioxyde de silicium sont des matériaux céramiques de haute pureté largement utilisés pour le dépôt de films minces isolants, protecteurs, optiques et diélectriques. Elles conviennent aux applications dans les domaines des semi-conducteurs, des écrans, des revêtements optiques, du photovoltaïque et de l’électronique, en particulier lorsque la haute pureté, la transparence optique, la stabilité chimique et une uniformité fiable du film sont requises.

VIMATERIAL fournit des cibles de pulvérisation en SiO₂ sous forme de disques, de plaques plates, de piliers, de cibles à gradins et d’autres géométries sur mesure. Les dimensions, la pureté et la configuration des cibles peuvent être personnalisées en fonction de votre équipement et des exigences de votre application.

Contactez-nous pour obtenir les spécifications et des solutions sur mesure.

Caractéristiques principales

  • Haute pureté
  • Excellente transparence optique
  • Grande stabilité chimique
  • Bonne isolation électrique
  • Dimensions personnalisables

Options de pureté

La pureté d’une cible de pulvérisation en SiO₂ influe directement sur les niveaux d’impuretés, les performances de dépôt et l’adéquation à différentes applications. VIMATERIAL peut fournir différents degrés de pureté en fonction des exigences des clients.

Pureté Applications typiques
99,9 % Revêtements généraux, applications optiques, électroniques et de recherche
99,99 Applications dans le domaine des semi-conducteurs, des revêtements optiques, des écrans et des couches minces de pointe
99,995 Applications de haute précision dans les semi-conducteurs, l’optoélectronique et d’autres domaines exigeants

Les grades de pureté supérieure nécessitent un contrôle plus rigoureux des matières premières, des conditions de traitement et de la contamination tout au long du processus de fabrication.

Processus de fabrication

Les cibles de pulvérisation en dioxyde de silicium peuvent être fabriquées à l’aide de différentes technologies de traitement et de densification des céramiques, en fonction de la pureté, de la densité, des dimensions et de l’application requises.

  • Métallurgie des poudres : procédé couramment utilisé pour produire des cibles céramiques en SiO₂ conventionnelles dont la composition et les dimensions sont contrôlées.
  • Frittage sous pression à chaud : applique simultanément de la chaleur et de la pression pour améliorer la densité du matériau, sa résistance mécanique et l’uniformité de sa structure.
  • Pressage isostatique à chaud (HIP) : utilise une température élevée et une pression de gaz isostatique pour réduire davantage la porosité et améliorer la densité et l’homogénéité pour les applications exigeantes.

Le procédé de fabrication choisi a une influence directe sur la densité de la cible, sa porosité, sa microstructure, la stabilité de la pulvérisation et la qualité du film.

Applications des cibles de pulvérisation en dioxyde de silicium

  • Matériaux semi-conducteurs et électroniques : les ciblesen SiO₂ sont utilisées pour déposer des films isolants et diélectriques dans les applications semi-conductrices et électroniques. Les cibles de haute pureté contribuent à minimiser la contamination et garantissent des performances fiables des films minces.
  • Revêtements optiques : en raison de sa grande transparence optique et de sa stabilité chimique, le SiO₂ est largement utilisé pour les revêtements antireflets, les revêtements protecteurs et les films minces optiques sur les lentilles, les composants optiques et d’autres substrats.
  • Applications pour les écrans et les films minces : les cibles de pulvérisationen SiO₂ peuvent être utilisées dans les procédés PVD pour produire des films minces isolants, protecteurs et fonctionnels destinés aux écrans et aux dispositifs électroniques.
  • Applications photovoltaïques : les films mincesde SiO₂ peuvent servir de couches protectrices et optiques dans les technologies photovoltaïques, notamment pour des applications antireflets et de protection de surface.
  • Autres applications : les revêtementsen SiO₂ sont également utilisés lorsque la stabilité thermique, la résistance à la corrosion, l’isolation électrique et la protection de surface sont requises.

Formes disponibles et personnalisation

VIMATERIAL peut fournir des cibles de pulvérisation en SiO₂ dans diverses configurations, notamment :

  • Cibles en disque / circulaires
  • Cibles plates
  • Cibles en forme de pilier / cylindriques
  • Cibles à gradins
  • Cibles de forme sur mesure

La pureté, les dimensions, l’épaisseur, la forme et le conditionnement peuvent être personnalisés selon les plans ou les spécifications techniques du client.

Emballage et stockage

Les cibles de pulvérisation en SiO₂ sont emballées sous vide et protégées par un carton extérieur ou un coffret en bois afin de minimiser la contamination et les dommages physiques pendant le transport.

Conserver dans un environnement propre et sec et garder l’emballage scellé jusqu’à utilisation afin d’éviter toute contamination et exposition à l’humidité.

FAQ

Q1. Quelle pureté de cible de pulvérisation en SiO₂ dois-je choisir ?

R : La pureté appropriée dépend de votre procédé de dépôt et de votre application. Une pureté de 99,9 % convient aux applications générales, tandis que les puretés de 99,99 % et 99,995 % sont recommandées pour les applications nécessitant un contrôle plus strict des impuretés.

Q2. Les cibles de pulvérisation en SiO₂ peuvent-elles être personnalisées ?

R : Oui. VIMATERIAL peut personnaliser la pureté, les dimensions, l’épaisseur, la forme et la configuration des cibles en fonction des plans fournis par le client ou des spécifications de l’équipement.

Q3. Quelles sont les formes de cibles en SiO₂ disponibles ?

R : Nous fournissons des cibles de pulvérisation en SiO₂ sous forme de disques, de plaques plates, de piliers, à gradins et sur mesure.

Q4. Comment les cibles de pulvérisation en SiO₂ sont-elles emballées ?

R : Les cibles sont emballées sous vide, puis protégées dans un carton ou une caisse en bois, en fonction de leur taille et des exigences d’expédition.

Q5. Quelles informations dois-je fournir pour une cible sur mesure ?

R : Pour obtenir un devis, veuillez indiquer la pureté requise, la forme de la cible, ses dimensions, son épaisseur, la quantité souhaitée, ainsi que des informations sur l’application ou l’équipement de pulvérisation, si vous en disposez.

Produit recommandé

ASSURANCE QUALITÉ

VI HALBLEITERMATERIAL GmbH (VIMATERIAL) utilise un système d’assurance qualité rigoureux pour garantir la fiabilité de la qualité de ses produits. Un contrôle de qualité strict est mis en œuvre tout au long de la chaîne de production et, pour les produits défectueux, nous appliquons strictement le principe de la reprise et du remplacement. Chaque lot n’est libéré qu’après avoir passé des tests de spécification détaillés.

Chaque lot de nos matériaux est testé de manière indépendante et, si nécessaire, nous envoyons des échantillons à des entreprises certifiées pour qu’elles les testent. Nous fournissons ces documents et les certificats d’analyse avec l’envoi pour certifier que nos produits répondent aux normes requises.

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