Comment faire une cible de pulvérisation ?

Poudre de matière première – fusion de poudre – mélange de poudre – moulage par pressage – frittage sous atmosphère – traitement du plastique – traitement thermique – détection de défauts par ultrasons – découpe à l’eau – usinage – métallisation – liaison – contrôle par ultrasons – nettoyage par ultrasons – inspection – expédition.

Les principaux procédés sont les suivants :

Fusion de poudre: la poudre de matière première est soumise à un frittage sous atmosphère préliminaire afin de contrôler sa teneur en gaz.

Mélange de poudre: le matériau cible possède une formule unique, la teneur de chaque composant doit être contrôlée avec précision et la teneur en impuretés strictement limitée. Dans le procédé de métallurgie des poudres, il est nécessaire de mélanger parfaitement les éléments de manière homogène et d’obtenir une distribution granulométrique uniforme pour éviter toute pollution. Une poudre composite mélangée doit être préparée par des procédés spéciaux.

Moulage par pressage: le matériau cible préparé par métallurgie des poudres doit être pré-pressé pour obtenir un corps cru de densité moyenne. L’uniformité de sa densité et ses défauts internes affectent le rendement du frittage à haute température à l’étape ultérieure.

Atmosphere sintering: The pre-pressed green body needs to undergo one or more high-temperature sintering. Different sintering temperature curves are selected according to different materials, and different sintering environments, such as sintering atmosphere and sintering pressure, are selected to prepare high-density target blanks.

Transformation plastique: La billette métallique doit subir une déformation plastique importante pour obtenir des dimensions de longueur, de largeur et d’épaisseur suffisantes, et pour permettre aux grains internes de subir une déformation en traction suffisante, générant ainsi suffisamment de dislocations internes.  Traitement thermique : Après que la billette métallique ait subi une grande déformation plastique, le processus de traitement thermique est sélectionné en fonction des caractéristiques des différents matériaux, de sorte que le matériau métallique puisse être recristallisé et que la contrainte interne du matériau puisse être éliminée.

Détection de défauts par ultrasons: Après le traitement de l’ébauche cible, des ultrasons doivent être utilisés pour vérifier la présence de défauts dans le matériau. Une fois l’ébauche cible collée à la plaque arrière, un scanner à ultrasons à immersion dans l’eau doit être utilisé pour détecter la couche de liaison et vérifier si la zone de collage est conforme à la norme.

Usinage mécanique: L’ébauche cible doit être usinée par formage mécanique précis. La plaque arrière utilisée en combinaison avec l’ébauche cible doit présenter une précision dimensionnelle et une résistance mécanique extrêmement élevées grâce à sa coordination précise avec l’équipement de revêtement et le refroidissement par eau haute pression. La difficulté d’usinage est relativement élevée, en particulier pour les plaques arrière avec un canal d’eau de circulation interne. En raison de la particularité du matériau, le soudage fermé du canal d’eau est très difficile et nécessite un procédé de soudage spécifique.

Métallisation: Avant que la cible vierge et la plaque arrière ne soient liées, afin d’améliorer les propriétés de mouillage du métal du matériau cible et du matériau cible et de la soudure, la surface de soudage doit être prétraitée afin qu’une couche de transition soit plaquée sur la surface.

Collage: Most target materials cannot be directly installed for coating due to the physical or chemical properties of the material. Metal solder is needed to weld the target blank and the back plate together, and the effective bonding rate of the surface needs to reach a large area welding greater than 95%. The whole process needs to be carried out under high temperature and high pressure.