
Zirkoniumtargets: Ein Schlüsselmaterial für die Hochleistungs-Dünnschichtabscheidung
Zirkoniumtargets sind scheiben- oder plattenförmige Materialien aus Zirkonium, die hauptsächlich im Sputterverfahren in der Elektronikindustrie eingesetzt werden. Beim Hochtemperatur-Sputtern werden diese Targets auf Substrate abgeschieden,