Wie erstelle ich ein Sputterziel?

Rohstoffpulver – Pulverschmelzen – Pulvermischen – Pressformen – Atmosphärensintern – Kunststoffverarbeitung – Wärmebehandlung – Ultraschallfehlererkennung – Wasserschneiden – Bearbeitung – Metallisierung – Bindung – Ultraschallprüfung – Ultraschallreinigung – Inspektion – Versand.

Unter ihnen sind die spezifischen Bedeutungen der Hauptprozesse wie folgt:

Pulverschmelzen: Das Rohmaterialpulver wird einem Vorsintern in Atmosphäre unterzogen, um den Gasgehalt im Rohmaterialpulver zu kontrollieren.

Pulvermischen: Das Zielmaterial hat eine einzigartige Formel, und der Gehalt jeder Komponente muss genau kontrolliert werden, und der Gehalt an Verunreinigungen muss streng begrenzt werden.
Bei der Pulvermetallurgie ist es notwendig, die Elemente gleichmäßig vollständig zu mischen, und die Partikelgrößenverteilung ist gleichmäßig, um eine Verschmutzung zu vermeiden, und ein gemischtes Verbundpulver muss mit speziellen Verfahrensmitteln hergestellt werden.

Pressformen: Das durch pulvermetallurgische Verfahren hergestellte Zielmaterial muss das Pulvermaterial vorpressen, um es zu einem Grünkörper mittlerer Dichte zu machen.
Die Gleichmäßigkeit der Dichte und die internen Defekte beeinflussen die Ausbeute des Hochtemperatursinterns in der späteren Phase.

Atmosphären-Sintern: Der vorgepresste Grünkörper muss einem oder mehreren Hochtemperatursintern unterzogen werden.
Je nach Material werden unterschiedliche Sintertemperaturkurven ausgewählt, und es werden unterschiedliche Sinterumgebungen, wie z. B. Sinteratmosphäre und Sinterdruck, ausgewählt, um Target-Rohlinge mit hoher Dichte herzustellen.

Kunststoffverarbeitung: Der Metallknüppel muss einer großen plastischen Verformung unterzogen werden, um ausreichende Längen-, Breiten- und Dickenabmessungen zu erhalten und die inneren Körner einer ausreichenden Zugverformung zu ermöglichen, wodurch genügend Versetzungen im Inneren erzeugt werden.
 Wärmebehandlung: Nachdem der Metallknüppel eine große plastische Verformung durchlaufen hat, wird der Wärmebehandlungsprozess entsprechend den Eigenschaften der verschiedenen Materialien ausgewählt, so dass das Metallmaterial rekristallisiert und die innere Spannung des Materials beseitigt werden kann.

Ultraschall-Fehlererkennung: Nachdem der Zielrohling bearbeitet wurde, müssen Ultraschallwellen verwendet werden, um zu überprüfen, ob sich im Material Fehler befinden.
Nachdem der Target-Rohling mit der Rückplatte verklebt wurde, muss ein Wasser-Immersions-Ultraschallscanner verwendet werden, um die Bonding-Schicht zu erkennen und zu überprüfen, ob der Bonding-Bereich der Norm entspricht.

Mechanische Bearbeitung: Der Zielrohling muss durch eine präzise mechanische Umformung bearbeitet werden.
Die in Kombination mit dem Zielrohling eingesetzte Rückplatte muss aufgrund ihrer präzisen Abstimmung mit der Beschichtungsanlage und der Hochdruckwasserkühlung eine extrem hohe Maßgenauigkeit und mechanische Festigkeit aufweisen.
Die Verarbeitungsschwierigkeit ist relativ hoch, insbesondere bei der Rückplatte mit einem internen Umlaufwasserkanal.
Aufgrund der Besonderheit des Materials ist das geschlossene Schweißen des Wasserkanals sehr schwierig und erfordert ein spezielles Schweißverfahren.

Metallisierung: Bevor der Targetrohling und die Rückplatte gebunden werden, muss die Schweißoberfläche vorbehandelt werden, um die metallbenetzungstechnischen Eigenschaften des Targetmaterials und des Targetmaterials und des Lots zu verbessern, so dass eine Übergangsschicht auf der Oberfläche plattiert wird.

Bindung: Die meisten Zielmaterialien können aufgrund der physikalischen oder chemischen Eigenschaften des Materials nicht direkt für die Beschichtung installiert werden.
Metalllot wird benötigt, um den Zielrohling und die Rückplatte miteinander zu verschweißen, und die effektive Bindungsrate der Oberfläche muss eine großflächige Schweißgenauigkeit von mehr als 95 % erreichen.
Der gesamte Prozess muss unter hohen Temperaturen und hohem Druck durchgeführt werden.