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Chemical Name:
Siliciumdioxid
Formula:
SiO2
Product No.:
140801
CAS No.:
7631-86-9
EINECS No.:
231-545-4
Form:
Rotary Target
HazMat:
Produkt-ID Formel Purity Dimension Quantity Preis in € Anfrage
140801RT001 SiO2 99.99% OD355.6mm x ID203.2mm x 6.35mm 1 POR Inquire
140801RT002 SiO2 99.995% OD304.8mm x ID22.86mm x9.525mm 1 POR Inquire
Produkt-ID
140801RT001
Formel
SiO2
Purity
99.99%
Dimension
OD355.6mm x ID203.2mm x 6.35mm
Quantity
1
Preis in €
POR
Produkt-ID
140801RT002
Formel
SiO2
Purity
99.995%
Dimension
OD304.8mm x ID22.86mm x9.525mm
Quantity
1
Preis in €
POR

Siliciumdioxid Ringtargets sind hochreine anorganische Materialien, die aus Silizium und Sauerstoff bestehen. Dank ihrer hervorragenden optischen Transparenz, chemischen Stabilität, elektrischen Isolation und thermischen Beständigkeit werden SiO₂-Ringtargets häufig für die Dünnschichtabscheidung in der Optik, Halbleiterindustrie, Displaytechnik, Elektronik sowie in anderen Anwendungen mit hochentwickelten Materialien eingesetzt.

VIMATERIAL liefert hochwertige SiO₂-Ringtargets, die sich durch hohe Reinheit, eine stabile Zusammensetzung, gute Maßgenauigkeit und zuverlässige Leistung während der Abscheidung auszeichnen. Je nach Kundenanforderungen können unterschiedliche Reinheitsgrade, Abmessungen und Spezifikationen bereitgestellt werden. Wir bieten außerdem Target-Bonding-Dienstleistungen und maßgeschneiderte Target-Lösungen an.

Sollten Sie spezifische Anforderungen an Materialien oder Targets haben, steht Ihnen unser technisches Team mit fachkundiger Unterstützung zur Seite. Kontaktieren Sie uns.

Eigenschaften

Molekülformel SiO₂
Molekulargewicht 60,08 g/mol
Aussehen Farblos bis transparent, mit glasartigem Aussehen
Dichte Etwa 2,20 g/cm³
Schmelzpunkt Etwa 1713 °C
Struktur Im Allgemeinen amorph, mit kurzreichweitiger atomarer Ordnung und weitreichender struktureller Unordnung

Die amorphe Struktur von SiO₂ sorgt für eine gute optische Gleichmäßigkeit, chemische Stabilität und elektrische Isolierung, wodurch es sich für eine Vielzahl von Beschichtungs- und Dünnschichtanwendungen eignet.

Anwendungen von Siliziumdioxid-Ringtargets

  • Optische Beschichtungen: SiO₂-Ringtargets können zur Abscheidung optischer Schichten verwendet werden, darunter Antireflex-, Reflexions-, Schutz- und dielektrische Beschichtungen. SiO₂-Schichten können dabei helfen, Lichtdurchlässigkeit und -reflexion zu steuern, und werden häufig für optische Linsen und andere optische Komponenten eingesetzt.
  • Halbleiter- und Elektronikmaterialien: Hochreine SiO₂-Targets werden zur Abscheidung von isolierenden und dielektrischen Schichten in der Halbleiter- und Elektronikfertigung eingesetzt. Dank ihrer elektrischen Isolierung und chemischen Stabilität eignet sich SiO₂ für Anwendungen, bei denen kontrollierte Dünnschichteigenschaften erforderlich sind.
  • Displayfertigung: SiO₂-Targets können in PVD-Dünnschichtabscheidungsverfahren für displaybezogene Anwendungen eingesetzt werden, bei denen eine gleichmäßige Schichtbildung, optische Eigenschaften und Oberflächenschutz wichtig sind.
  • Optische und photonische Anwendungen: SiO₂-Dünnschichten finden aufgrund ihrer guten Transparenz, chemischen Stabilität und kontrollierbaren Brechungseigenschaften breite Anwendung in optischen und photonischen Bauelementen. Sie können als Funktions- oder Schutzschichten auf optischen Komponenten eingesetzt werden.
  • Weitere Dünnschichtanwendungen: SiO₂-Targets werden auch für Schutzbeschichtungen, dielektrische Schichten, Oberflächenmodifikationen und Antireflexbeschichtungen verwendet, darunter Anwendungen in Solar- und Elektronikgeräten.

Herstellungsverfahren

Der Herstellungsprozess von SiO₂-Ringtargets kann je nach erforderlicher Reinheit, Dichte, Abmessungen und Anwendung Pulververarbeitung, Formgebung, Sintern, Heißpressen und heißisostatisches Pressen (HIP) umfassen.

Pulvermetallurgie

Die Pulvermetallurgie ist ein gängiges Verfahren zur Herstellung herkömmlicher Keramik-Targets. Das Pulver wird vor dem Sintern verarbeitet und in die gewünschte Target-Geometrie geformt.

Heißpresssintern

Beim Heißpresssintern werden Druck und Temperatur gleichzeitig angewendet, um die Verdichtung des Materials und die mechanische Festigkeit zu verbessern. Dieses Verfahren eignet sich für Anwendungen, die eine höhere Targetdichte und strukturelle Integrität erfordern.

Heißisostatisches Pressen (HIP)

Beim HIP werden hoher Druck und hohe Temperatur gleichmäßig auf das Material ausgeübt, wodurch die innere Porosität deutlich reduziert und die Dichte sowie die Gleichmäßigkeit verbessert werden können. Es eignet sich für anspruchsvolle Targetanwendungen, bei denen eine hohe Dichte und strukturelle Konsistenz erforderlich sind.

Das geeignete Herstellungsverfahren kann entsprechend den Abmessungen, der Reinheit, der Dichte und dem vorgesehenen Abscheidungsverfahren des Targets ausgewählt werden.

Spezifikationen für SiO₂-Ringtargets

VIMATERIAL kann Siliziumdioxid-Targets in verschiedenen Konfigurationen entsprechend den Kundenanforderungen liefern.

  • Ringtargets
  • Maßgeschneiderte Abmessungen
  • Verschiedene Reinheitsgrade
  • Maßgeschneiderte Targetgeometrie
  • Target-Bonding-Service
  • Kleinserien und Forschungsanforderungen

Abmessungen und technische Spezifikationen können entsprechend den Zeichnungen und Anwendungsanforderungen des Kunden besprochen werden.

Qualitätskontrolle

Für jede Produktcharge wird ein strenges Qualitätskontrollsystem wird für jede Produktcharge durchgeführt. Von der Auswahl der Rohstoffe über die Verarbeitung bis hin zur Endkontrolle und Auslieferung werden wichtige Qualitätsparameter sorgfältig überwacht.

Die Prüfungen können Folgendes umfassen:

  • Chemische Zusammensetzung und Reinheit
  • Materialdichte
  • Maßgenauigkeit
  • Oberflächenqualität
  • Optische Eigenschaften
  • Strukturelle Eigenschaften

Detaillierte Prüfberichte können entsprechend den Kundenanforderungen bereitgestellt werden, um sicherzustellen, dass die gelieferten SiO₂-Ringtargets den festgelegten technischen Anforderungen entsprechen.

Verpackung und Lagerung

Verpackung: SiO₂-Ringtargets werden sorgfältig mit weichen Polstermaterialien geschützt und in maßgeschneiderten Kartons oder Holzkisten verpackt, um das Risiko von Stößen und Beschädigungen während des Transports zu minimieren.

Lagerung: Lagern Sie SiO₂-Ringtargets in einer sauberen, trockenen Umgebung und schützen Sie sie vor Feuchtigkeit, Verunreinigungen und korrosiven Substanzen wie starken Säuren und Laugen. Vermeiden Sie starke Temperaturschwankungen und längere direkte Sonneneinstrahlung. Behandeln Sie das Target sorgfältig, um mechanische Beschädigungen zu vermeiden.

Häufig gestellte Fragen

Frage 1: Was ist ein SiO₂-Ringtarget?

A: Ein SiO₂-Ringtarget ist ein Siliziumdioxid-Target, das in ringförmiger Geometrie für Dünnschichtabscheidungsverfahren hergestellt wird. Es wird hauptsächlich in der Optik, Halbleiterindustrie, Elektronik, Displaytechnik und anderen Beschichtungsanwendungen eingesetzt.

F2: Können Sie maßgeschneiderte SiO₂-Ringtargets liefern?

A: Ja. Maßgeschneiderte Abmessungen, Geometrien, Reinheitsgrade und andere technische Spezifikationen können gemäß Kundenzeichnungen und Anwendungsanforderungen bereitgestellt werden.

Frage 3: Wofür werden SiO₂-Ringtargets verwendet?

A: Zu den typischen Anwendungen zählen optische Beschichtungen, Dünnschichten in der Halbleiter- und Elektronikindustrie, Displaybeschichtungen, dielektrische Schichten, Schutzbeschichtungen und Antireflexbeschichtungen.

F4. Was ist der Unterschied zwischen amorphem und kristallinem SiO₂?

A: Amorphes SiO₂ weist keine kristalline Fernordnung auf, während kristalline Formen wie Quarz eine geordnete Kristallstruktur besitzen. Die erforderliche Struktur hängt vom Herstellungsprozess des Targets und der vorgesehenen Dünnschichtanwendung ab.

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QUALITÄTSSICHERUNG

Die VI HALBLEITERMATERIAL GmbH (VIMATERIAL) wendet ein strenges Qualitätssicherungssystem an, um die Zuverlässigkeit unserer Produktqualität zu gewährleisten. In der gesamten Produktionskette werden strenge Qualitätskontrollen durchgeführt, und bei fehlerhaften Produkten setzen wir das Prinzip der Nachbesserung streng durch. Jede Charge wird erst dann freigegeben, wenn sie detaillierte Spezifikationstests bestanden hat.

Jede Charge unserer Materialien wird von unabhängiger Seite getestet, und falls erforderlich, senden wir Proben an zertifizierte Unternehmen zur Prüfung. Wir liefern diese Dokumente und Analysezertifikate zusammen mit der Lieferung, um zu bestätigen, dass unsere Produkte die erforderlichen Standards erfüllen.

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