Das Magnesiumtitanat-Sputtertarget ist ein spezielles Material, das im Sputterprozess verwendet wird, um dünne Schichten aus Magnesiumtitanat (MgTiO₃) auf Substraten in verschiedenen Anwendungen, hauptsächlich in der Elektronik, Optoelektronik und Materialwissenschaft, abzuscheiden. Sputtern ist eine physikalische Gasphasenabscheidungstechnik (PVD), bei der Ionen ein Zielmaterial bombardieren, wodurch Atome oder Moleküle aus dem Ziel herausgeschleudert und auf einem Substrat abgelagert werden.
Materialzusammensetzung: Das Ziel besteht aus hochreinem Magnesiumtitanat (MgTiO₃), das sicherstellt, dass der erzeugte dünne Film von gleichbleibender Qualität und Zusammensetzung ist. Hohe Reinheit: Hochreine Targets (typischerweise über 99,99 %) sind unerlässlich, um eine minimale Kontamination während der Abscheidung zu gewährleisten, was für die Leistung der resultierenden dünnen Schichten entscheidend ist, insbesondere in Elektronik- und Halbleiteranwendungen. Thermische und elektrische Eigenschaften: Das Target besteht aus dem hochstabilen Material von Magnesiumtitanat, das den gesputterten Schichten Eigenschaften wie gute Durchschlagsfestigkeit, hohe thermische Stabilität und geringe elektrische Leitfähigkeit verleiht, die für Isolieranwendungen wünschenswert sind. Strukturelle Eigenschaften: MgTiO₃ hat eine Perowskit-Kristallstruktur, die die Eigenschaften der dünnen Schichten beeinflusst, wie z.B. ihr optisches und elektrisches Verhalten bei der Abscheidung.
Dielektrische Schichten in Kondensatoren: Die dünnen Schichten, die aus Magnesiumtitanat-Sputtertargets hergestellt werden, werden als dielektrische Schichten in Kondensatoren verwendet, insbesondere für Hochleistungsanwendungen, bei denen hohe Dielektrizitätskonstanten und geringe Verluste unerlässlich sind. Dünnschichtkeramik: Magnesiumtitanat wird in elektronischer Keramik verwendet. Seine gesputterten dünnen Schichten dienen als Isolierschichten, Schutzbeschichtungen oder Komponenten in elektronischen Geräten wie Mikroelektronik, HF-Geräten und Hochfrequenzkomponenten. Optoelektronische Bauelemente: Magnesiumtitanat-Sputtertargets werden aufgrund ihrer geeigneten optischen Eigenschaften und hohen thermischen Stabilität für den Einsatz in optoelektronischen Bauelementen wie Photodetektoren, LEDs und Laserdioden untersucht. Wärmedämmschichten: Die hohe thermische Stabilität von MgTiO₃ macht es nützlich bei der Abscheidung dünner Schichten für Wärmedämmschichten, insbesondere zum Schutz von Komponenten in Hochtemperaturumgebungen wie Turbinenschaufeln und Luft- und Raumfahrtkomponenten. Katalyse: Dünnschichten aus Magnesiumtitanat, insbesondere wenn sie als Teil eines Katalysatorträgers oder in katalytischen Reaktoren abgeschieden werden, können in der chemischen Verarbeitung oder in Umweltanwendungen wie dem Umweltschutz eingesetzt werden, wo stabile, thermisch beständige Materialien erforderlich sind. Mikroelektronik und Sensoren: Das Material wird zur Isolierung von Schichten in der Mikroelektronik verwendet, sorgt für elektrische Isolierung und trägt zur Herstellung von MEMS (Micro-Electromechanical Systems) und Sensoren bei.
Materialkosten: Sputtertargets aus Magnesiumtitanat können teurer sein als Targets aus einfacheren Materialien. Die Kosten können durch die Reinheit des Materials, die Größe des Ziels und die Synthesemethode beeinflusst werden. Handhabung und Lagerung: Magnesiumtitanat-Targets sollten vorsichtig gehandhabt werden, um eine Kontamination zu vermeiden. Obwohl sie nicht sehr reaktiv sind, kann die Einwirkung von Feuchtigkeit und hoher Luftfeuchtigkeit ihre Leistung beeinträchtigen und zu Oxidation oder Degradation des Zielmaterials führen. Lebensdauer des Targets: Wie bei anderen Sputtertargets hängt die Lebensdauer des Magnesiumtitanat-Sputtertargets von der Sputterrate, der angewendeten Leistung und der Nutzungsdauer ab. Das Target muss möglicherweise nach einer bestimmten Menge an Sputtern aufgrund von Erschöpfung oder Verschleiß ausgetauscht werden, insbesondere wenn hohe Abscheideraten erforderlich sind.
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Jede Charge unserer Materialien wird von unabhängiger Seite getestet, und falls erforderlich, senden wir Proben an zertifizierte Unternehmen zur Prüfung. Wir liefern diese Dokumente und Analysezertifikate zusammen mit der Lieferung, um zu bestätigen, dass unsere Produkte die erforderlichen Standards erfüllen.
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