Magnesiumoxid-Sputtertargets sind Materialien, die in PVD-Prozessen (Physical Vapor Deposition) verwendet werden, hauptsächlich zur Erzeugung von MgO-Dünnschichten in verschiedenen Anwendungen, wie z. B. Schutzbeschichtungen, optischen Schichten und elektronischen Geräten. MgO-Targets werden wegen ihrer isolierenden Eigenschaften, ihres hohen Schmelzpunkts und ihrer Transparenz im sichtbaren und infraroten Bereich geschätzt und eignen sich daher für Anwendungen, die langlebige, hochwertige Folien erfordern.
Chemische Formel: MgO
Molare Masse:40.304 g/mol
Aussehen: Weißes Pulver
Geruch: Geruchlos
Dichte: 3,6 g / cm3
Schmelzpunkt: 2.852 °C (5.166 °F; 3.125 K)
Siedepunkt: 3.600 °C (6.510 °F; 3.870 K)
Löslichkeit: Löslich in Säure, Ammoniak unlöslich in Alkohol
Schutzbeschichtungen: MgO-Folien werden als Schutzbeschichtungen für Materialien verwendet, die bei hohen Temperaturen oder in korrosiven Umgebungen betrieben werden, wie z. B. in Luft- und Raumfahrtkomponenten und optischen Linsen. Optische und transparente Folien: Aufgrund seiner optischen Transparenz und der Fähigkeit, infrarotes und sichtbares Licht zu übertragen, wird MgO in optischen Beschichtungen, Displaytechnologien und Antireflexfolien verwendet. Mikroelektronik und Halbleiterbauelemente: Magnesiumoxid-Sputtertargets werden als Isolierschichten oder Gate-Dielektrika in Halbleiterbauelementen eingesetzt. Durch die hohe Dielektrizitätskonstante und die isolierenden Eigenschaften eignen sich MgO-Schichten für Anwendungen in Hochleistungstransistoren und -kondensatoren. Magnetische Tunnelübergänge (MTJs): MgO wird häufig als tunnelnde Barriereschicht in MTJs verwendet, die Schlüsselkomponenten in spintronischen Bauelementen und der MRAM-Technologie (Magnetic Random Access Memory) sind. Biomedizinische Geräte: Magnesiumoxid-Sputtertargets sind biokompatibel und werden als Beschichtungen in Medizinprodukten, einschließlich Implantaten, verwendet, wo sie als korrosionsbeständige und biokompatible Barriere dienen.
Sprödigkeit: Magnesiumoxid-Sputtertargets sind spröde, was sie anfällig für Risse oder Absplitterungen während der Handhabung macht. Eine sachgemäße Handhabung und eine sorgfältige Montage in Sputteranlagen sind erforderlich, um Schäden zu vermeiden. Hygroskopische Natur: MgO kann Feuchtigkeit aus der Luft absorbieren, was zu einer teilweisen Hydratation führen und die Sputterleistung beeinträchtigen kann. Lagerung und Handhabung unter trockenen Bedingungen sind unerlässlich, um die Integrität des Ziels zu erhalten. Reaktive Sputterumgebung: MgO kann eine kontrollierte Sputterumgebung erfordern, um unerwünschte Reaktionen zu vermeiden, insbesondere in Umgebungen mit hohem Sauerstoffgehalt. Reaktives Sputtern kann sich auch auf die Abscheidungsrate und die Schichtqualität auswirken.
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