Lithiumfluorid-Sputtertarget ist ein Zielmaterial, das beim Sputtern verwendet wird, um dünne Schichten aus Lithiumfluorid auf verschiedenen Substraten abzuscheiden. Lithiumfluorid ist eine anorganische Verbindung, die hochionisch ist und ausgeprägte Eigenschaften aufweist, die sie für Anwendungen in der Elektronik, Optik und anderen fortschrittlichen Materialbereichen geeignet machen.
Chemische Formel: LiF
Molare Masse:25,939(2) g/mol
Aussehen: weißes Pulver oder transparente Kristalle, hygroskopisch
Dichte: 2,635 g / cm3
Schmelzpunkt: 845 °C (1.553 °F; 1.118 K)
Siedepunkt: 1.676 °C (3.049 °F; 1.949 K)
Löslichkeit in Wasser”0,127 g/100 mL (18 °C)/0,134 g/100 mL (25 °C) Löslichkeit:löslich in HF; unlöslich in Alkohol
Magnetische Suszeptibilität (χ):−10,1·10−6 cm3/mol
Brechungsindex (nD):1.3915
Kristallstruktur: Flächenzentriert kubisch
Dünnschichtabscheidung: Die Hauptanwendung von Lithiumfluorid-Sputtertargets ist die Abscheidung dünner Schichten im Sputterprozess. LiF-Dünnschichten werden in Anwendungen wie den folgenden eingesetzt:
Halbleiterbauelemente: Lithiumfluorid-Sputtertarget wird gelegentlich bei der Herstellung von Halbleitern eingesetzt, auch als Teil der dielektrischen Schichten in Transistoren und anderen Halbleiterbauelementen. Solarzellen: Lithiumfluorid-Sputtertarget wird auch in einigen Dünnschicht-Solarzellentechnologien verwendet, wo seine einzigartigen Eigenschaften zur Verbesserung der Energieeffizienz oder Stabilität beitragen können.
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