Das Lithium-Kobalt-Phosphat (LiCoPO4)-Sputtertarget ist ein spezielles Target, das für die Dünnschichtabscheidung von LiCoPO₄ durch Sputtern verwendet wird, ein Verfahren, das häufig bei der Herstellung von Dünnschichtbatterien und elektronischen Geräten angewendet wird. LiCoPO₄, bekannt für seine Hochspannungsleistung, spielt aufgrund seiner einzigartigen elektrochemischen Eigenschaften, die durch Dünnschichtabscheidung effektiv genutzt werden können, eine vielversprechende Rolle in Energiespeicheranwendungen.
Aussehen: In der Regel grau bis dunkelviolett, je nach Herstellungsverfahren, mit einer festen, dichten Form, die zum Sputtern geeignet ist. Dichte: ca. 3,6 g/cm³. Zielgröße: Erhältlich in Standarddurchmessern (z. B. 2 Zoll, 4 Zoll) und kundenspezifischen Größen, je nach Anwendungsanforderungen. Die typische Dicke variiert je nach spezifischem Sputter-Setup.
Abscheidungsrate: Die Abscheidungsraten für LiCoPO4 werden durch Sputterparameter wie Leistung, Druck und Zielzusammensetzung beeinflusst. Die Raten werden in der Regel optimiert, um gleichmäßige dünne Schichten zu erzielen. Kontrolle der Filmzusammensetzung: LiCoPO₄-Filme, die aus Sputtertargets hergestellt werden, behalten die Stöchiometrie für eine gleichmäßige Leistung in Batterieanwendungen bei. Leitfähigkeit: LiCoPO4 hat von Natur aus eine geringe Leitfähigkeit, so dass bei Abscheidungsprozessen leitfähige Additive oder Substratbehandlungen erforderlich sein können, um die gewünschte elektrische Leistung zu erzielen.
Dünnschichtbatterien: LiCoPO4-Dünnschichten werden in Dünnschicht-Lithium-Ionen-Batterien für Hochenergieanwendungen wie Mikroelektronik und tragbare Energiegeräte verwendet. Seine hohe Spannung (ca. 4,8 V) ermöglicht potenziell höhere Energiedichten als andere Kathodenmaterialien. Mikroelektronik: Aufgrund seiner Stabilität und hohen Energiedichte eignet sich LiCoPO4 für den Einsatz in Stromversorgungen für mikroelektronische Bauelemente. Forschung und Entwicklung: Wird in Studien verwendet, die sich auf Hochspannungskathodenmaterialien konzentrieren und die Untersuchung der Stabilität, Kompatibilität mit Elektrolyten und des Potenzials für Batterietechnologien der nächsten Generation ermöglichen.
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