Das Sputtertarget aus Lithium-Eisenphosphat (LiFePO4) ist ein Material, das in Dünnschichtabscheidungsprozessen, insbesondere beim Sputtern, verwendet wird, um dünne Schichten aus Lithium-Eisenphosphat auf verschiedenen Substraten zu erzeugen. Sputtern ist eine gängige Methode zum Abscheiden von Materialien auf Oberflächen für den Einsatz in Elektronik, Energiegeräten und anderen Anwendungen. LiFePO₄-Sputtertargets werden in der Regel für die Abscheidung dünner Schichten in Anwendungen wie Festkörperbatterien, Sensoren und Dünnschichttransistoren oder für die Herstellung von Beschichtungen verwendet, die die spezifischen Eigenschaften von Lithium-Eisenphosphat erfordern.
Chemische Formel: FeLiO4P
Molare Masse: 157.757
Reinheit: Hochreine LiFePO₄-Targets (in der Regel 99 % oder höher) sind unerlässlich, um eine gleichbleibende Schichtqualität und -leistung bei Sputteranwendungen zu erzielen.
Aussehen: Das LiFePO4-Sputtertarget ist typischerweise eine dichte, feste Scheibe, oft dunkelgrau oder schwarz, ähnlich der Pulverform, aber in einem verfestigten und geformten Zustand für das Sputtern. Dichte: ca. 3,6 g/cm³, ähnlich dem Schüttgut. Diese Dichte trägt dazu bei, dass das Sputtertarget während der Abscheidung eine stabile und konsistente Materialquelle darstellt. Größe und Form: Sputtertargets werden in der Regel in Scheibenformen mit einem Durchmesser von 2 Zoll bis 4 Zoll hergestellt, obwohl je nach Anwendung kundenspezifische Größen hergestellt werden können. Auch die Dicke des Targets kann je nach vorgesehenem Sputterverfahren variieren.
Festkörperbatterien: Eine der häufigsten Anwendungen für LiFePO4-Sputtertargets ist die Herstellung von Festkörper-Lithium-Ionen-Batterien, bei denen dünne Schichten aus LiFePO4 als Kathoden verwendet werden. Diese Batterien werden aufgrund ihrer Sicherheit, hohen Stabilität und langen Lebensdauer immer beliebter. Dünnschicht-Energiespeicher: LiFePO₄-Dünnschichten werden in Energiespeichern eingesetzt, bei denen kompakte und leichte Batterien oder Kondensatoren benötigt werden, wie z. B. in der Mikroelektronik und bei tragbaren Energiespeichersystemen. Dünnschichtbeschichtungen: LiFePO4-Sputtertargets können auch verwendet werden, um Schutz- oder Funktionsbeschichtungen für elektronische Bauteile, Halbleiterbauelemente oder Sensoren herzustellen, die die spezifischen elektrochemischen Eigenschaften von Lithium-Eisenphosphat erfordern. Elektrochemische Sensoren: LiFePO4-Dünnschichten können als Elektroden in elektrochemischen Sensoren verwendet werden, insbesondere solchen, die für die Detektion von Ionen oder Gasen in verschiedenen Anwendungen ausgelegt sind.
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