Aluminiumoxid

Aluminiumoxid-Sputtertarget ist ein hochreines, festes Targetmaterial, das hauptsächlich aus Aluminiumoxid besteht und häufig in Dünnschichtabscheidungsprozessen wie Sputtern und gepulster Laserabscheidung verwendet wird. Aluminiumoxid-Targets sind in Branchen unerlässlich, die äußerst haltbare, isolierende und verschleißfeste Beschichtungen erfordern, insbesondere in der Elektronik, Optik und bei Hochtemperaturanwendungen.

Zusammensetzung der Aluminiumoxid-Sputtertargets:

Aluminiumoxid-Sputtertargets haben in der Regel einen Reinheitsgrad von 99,9 % oder mehr, insbesondere in Anwendungen wie der Halbleiterfertigung, bei denen eine minimale Kontamination entscheidend ist. Die hochreine Al₂O₃-Zusammensetzung sorgt dafür, dass die resultierenden Folien minimale Defekte und hervorragende Isolationseigenschaften aufweisen.

Physikalische und strukturelle Eigenschaften:

Dichte und gleichmäßige Struktur: Gleichmäßige Targets mit hoher Dichte sind für eine konsistente Schichtabscheidung unerlässlich und wurden entwickelt, um Fehler zu minimieren und die Homogenität während des Abscheidungsprozesses zu gewährleisten. Hoher Schmelzpunkt: Aluminiumoxid hat einen Schmelzpunkt von etwa 2072 °C (3762 °F) und eignet sich daher für Hochtemperaturanwendungen und für den Einsatz als Wärmebarriere. Härte und Haltbarkeit: Al₂O₃ rangiert weit oben auf der Mohs-Härteskala, was es dem Target ermöglicht, einen längeren Einsatz in Sputteranlagen ohne nennenswerten Verschleiß zu überstehen.

Thermische und elektrische Isolierung:

Ausgezeichneter Isolator: Aluminiumoxid ist ein ausgezeichneter elektrischer Isolator, eine wertvolle Eigenschaft für die Bildung von Isolierschichten in elektronischen Bauteilen. Thermische Stabilität: Aufgrund seiner thermischen Stabilität hält Al₂O₃ extremen Temperaturen stand, ohne zu zerfallen, und eignet sich daher ideal für Schutzbeschichtungen und Hochtemperaturbauteile. Chemische Inertheit: Al₂O₃ ist sehr widerstandsfähig gegen Korrosion und chemische Angriffe, was bedeutet, dass es rauen Umgebungen standhalten kann, ohne sich zu zersetzen. Diese Inertheit ist vorteilhaft für Anwendungen, die stabile Beschichtungen erfordern, die nicht mit anderen Materialien reagieren.

Anträge:

Elektronik und Halbleiter: Aluminiumoxid-Sputtertargets werden häufig verwendet, um dünne, isolierende Schichten in elektronischen Geräten abzuscheiden, wie z. B. dielektrische Schichten in Kondensatoren und Schutzbeschichtungen in mikroelektronischen Schaltkreisen. Optik: Aluminiumoxid-Beschichtungen werden aufgrund ihrer Transparenz und Kratzfestigkeit in optischen Anwendungen für Antireflexbeschichtungen, langlebige Linsen und Bildschirme verwendet. Luft- und Raumfahrt und Automobilindustrie: Als Hochtemperaturisolator und korrosionsbeständige Beschichtung wird Al₂O₃ eingesetzt, um kritische Komponenten vor Verschleiß und extremen Bedingungen zu schützen. Schutzbeschichtungen: Die Härte und chemische Inertheit von Aluminiumoxid machen es geeignet für verschleißfeste Beschichtungen auf Werkzeugen, Schneidinstrumenten und verschiedenen Industrieanlagen.