Aluminiumoxid : Yttriumoxid : Thuliumoxid (Al₂O₃- Y₂O₃-Tm₂O₃) Targets sind zusammengesetzte Targets, die aus einer Mischung von Aluminiumoxid, Yttriumoxid und Thuliumoxid hergestellt werden und häufig in fortschrittlichen Dünnschichtabscheidungsprozessen wie Sputtern und gepulster Laserabscheidung (PLD) verwendet werden. Diese Kombination von Oxiden führt zu einem Zielmaterial mit einzigartigen optischen, thermischen und strukturellen Eigenschaften, das für den Einsatz in Elektronik-, Photonik- und Laseranwendungen geeignet ist.
Aluminiumoxid (Al₂O₃) sorgt für thermische Stabilität, Härte und elektrische Isolierung. Yttriumoxid (Y₂O₃) verbessert die Zähigkeit und thermische Beständigkeit des Targets sowie seine chemische Stabilität. Thuliumoxid (Tm₂O₃) ist ein aktives Ion in optischen Materialien, das optische Emissionseigenschaften hinzufügt, die für Laser- und photonische Anwendungen von Vorteil sind.
Hohe Härte und Zähigkeit: Die Kombination aus Aluminium- und Yttriumoxiden verbessert die Härte und Bruchzähigkeit des Ziels, was es langlebig und widerstandsfähig gegen Rissbildung oder Verschleiß während des Gebrauchs macht. Thermische Stabilität: Mit einem hohen Schmelzpunkt und einer guten Wärmeleitfähigkeit eignen sich diese Targets für Hochtemperaturumgebungen, wobei die Stabilität bis ca. 2000 °C erhalten bleibt.
Photolumineszierende Fähigkeit: Thuliumoxid bringt lumineszierende Eigenschaften ein, die das Material in Laser- und optischen Anwendungen effektiv machen. Beim Einsatz in Dünnschichtanwendungen kann dieses Target Schichten abscheiden, die in bestimmten Wellenlängen emittieren, wie z. B. im nahen Infrarot, was in der Photonik und in medizinischen Lasersystemen von Vorteil ist. Hohe Transparenz: Durch die Kombination von Oxiden, insbesondere mit Tm₂O₃, können transparente oder durchscheinende dünne Schichten entstehen, die sich für optische Beschichtungen oder Laseranwendungen eignen.
Das Target behält dank Al₂O₃ und Y₂O₃ hohe dielektrische Eigenschaften bei, die eine starke elektrische Isolierung in dünnen Schichten gewährleisten, wodurch sie für Anwendungen in Isolierschichten oder Schutzbeschichtungen in elektronischen Geräten geeignet sind.
Diese Target-Zusammensetzung ist beständig gegen viele Chemikalien, einschließlich Säuren und Laugen, was sie ideal für Anwendungen macht, die rauen Umgebungen ausgesetzt sind.
Laser und photonische Bauelemente: Die Thuliumoxid-Komponente verleiht lumineszierende Eigenschaften, die in Nahinfrarotlasern, photonischen Schaltkreisen und medizinischen Lasertechnologien nützlich sind. Optische Beschichtungen: Das Komposit-Target kann verwendet werden, um dünne Schichten mit hoher Transparenz und spezifischen optischen Eigenschaften abzuscheiden, die für Linsen, Bildschirme und andere optische Komponenten geeignet sind. Schutzbeschichtungen in der Elektronik: Aufgrund seiner Haltbarkeit, thermischen Stabilität und Isolierung ist das Ziel in Beschichtungen für elektronische Geräte nützlich, insbesondere dort, wo eine hohe Temperaturbeständigkeit erforderlich ist. Verschleißfeste und Hochtemperaturanwendungen: In Umgebungen, die Verschleißfestigkeit und Hochtemperaturstabilität erfordern, bietet dieses Ziel eine robuste Option für den Oberflächenschutz.
Die VI HALBLEITERMATERIAL GmbH (VIMATERIAL) wendet ein strenges Qualitätssicherungssystem an, um die Zuverlässigkeit unserer Produktqualität zu gewährleisten. In der gesamten Produktionskette werden strenge Qualitätskontrollen durchgeführt, und bei fehlerhaften Produkten setzen wir das Prinzip der Nachbesserung streng durch. Jede Charge wird erst dann freigegeben, wenn sie detaillierte Spezifikationstests bestanden hat.
Jede Charge unserer Materialien wird von unabhängiger Seite getestet, und falls erforderlich, senden wir Proben an zertifizierte Unternehmen zur Prüfung. Wir liefern diese Dokumente und Analysezertifikate zusammen mit der Lieferung, um zu bestätigen, dass unsere Produkte die erforderlichen Standards erfüllen.
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