La cible de pulvérisation de phosphate de lithium et de cobalt (LiCoPO4) est une cible spécialisée utilisée pour le dépôt de couches minces de LiCoPO₄ par pulvérisation, un processus couramment utilisé dans la fabrication de batteries à couches minces et d’appareils électroniques. LiCoPO₄, connu pour ses performances à haute tension, joue un rôle prometteur dans les applications de stockage d’énergie en raison de ses propriétés électrochimiques uniques, qui peuvent être exploitées efficacement par dépôt de couches minces.
Apparence : Généralement gris à violet foncé, selon les méthodes de fabrication, avec une forme solide et dense adaptée à la pulvérisation. Densité : Environ 3,6 g/cm³. Taille cible : Disponible dans des diamètres standard (par exemple, 2 pouces, 4 pouces) et des tailles personnalisées en fonction des exigences de l’application. L’épaisseur typique varie en fonction de la configuration spécifique de la pulvérisation.
Taux de dépôt : Les taux de dépôt de LiCoPO4 sont influencés par des paramètres de pulvérisation tels que la puissance, la pression et la composition cible. Les taux sont généralement optimisés pour obtenir des films minces uniformes. Contrôle de la composition du film : Les films LiCoPO₄ créés à partir de cibles de pulvérisation maintiennent la stœchiométrie pour des performances uniformes dans les applications de batterie. Conductivité : Le LiCoPO4 a une faible conductivité inhérente, de sorte que les processus de dépôt peuvent impliquer des additifs conducteurs ou des traitements de substrat pour obtenir les performances électriques souhaitées.
Batteries à couche mince : Les couches minces LiCoPO4 sont utilisées dans les batteries lithium-ion à couche mince pour les applications à haute énergie, telles que la microélectronique et les appareils énergétiques portables. Sa haute tension (environ 4,8 V) permet des densités d’énergie potentiellement plus élevées que les autres matériaux de cathode. Microélectronique : En raison de sa stabilité et de sa haute densité d’énergie, le LiCoPO4 est adapté à une utilisation dans les alimentations des appareils microélectroniques. Recherche et développement : Utilisé dans des études axées sur les matériaux de cathode à haute tension, permettant d’étudier la stabilité, la compatibilité avec les électrolytes et le potentiel des technologies de batterie de nouvelle génération.
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