La cible de pulvérisation à l’oxynitrure d’aluminium (AlON) est un matériau cible spécialisé utilisé dans les processus de dépôt physique en phase vapeur (PVD), en particulier la pulvérisation, pour déposer des films minces d’AlON sur des substrats. Les cibles de pulvérisation AlON sont utilisées dans des applications nécessitant des revêtements durs, optiquement transparents et thermiquement stables, tels que des revêtements protecteurs sur les composants optiques, des armures transparentes et d’autres céramiques haute performance.
Formule : AlON, composé d’atomes d’aluminium, d’oxygène et d’azote. Solution solide : L’oxynitrure d’aluminium a une structure cristalline de type spinelle qui contribue à sa dureté et à ses propriétés optiques. Pureté : L’oxynitrure d’aluminium de haute pureté est essentiel pour éviter la contamination du film mince déposé, garantissant des performances optiques et mécaniques constantes.
Apparence : Se présente généralement sous la forme d’un disque dense et solide ou d’une plaque rectangulaire, selon le système de pulvérisation. Haute densité et dureté : Les cibles d’oxynitrure d’aluminium sont dures et denses, ce qui est bénéfique pour créer des revêtements uniformes et sans défaut. Stabilité thermique : Les cibles de pulvérisation en oxynitrure d’aluminium sont thermiquement stables, ce qui leur permet de résister aux températures élevées générées pendant le processus de pulvérisation.
Revêtements protecteurs pour l’optique : Les couches minces AlON sont utilisées pour protéger les composants optiques de l’abrasion et des dommages environnementaux tout en maintenant la transparence sur les longueurs d’onde UV, visibles et IR. Ces revêtements sont précieux dans les lentilles, les fenêtres et autres systèmes optiques. Armure transparente : Les revêtements en oxynitrure d’aluminium améliorent la résistance aux chocs et la durabilité de l’armure transparente, fournissant une couche protectrice supplémentaire sur des matériaux comme le verre ou le polycarbonate. Revêtements résistants aux infrarouges et aux UV : La transparence à large spectre d’AlON le rend adapté aux applications IR et UV, telles que les capteurs et les objectifs de caméra nécessitant une durabilité dans des environnements difficiles. Aérospatiale et défense : Utilisé pour revêtir les capteurs, les fenêtres et d’autres équipements dans l’aérospatiale et la défense afin de protéger contre les impacts à grande vitesse, les chocs thermiques et l’exposition aux produits chimiques.
Fragilité et entretien des surfaces : Les cibles de l’oxynitrure d’aluminium sont denses mais peuvent être cassantes ; Une manipulation soigneuse est nécessaire pour éviter les éclats ou les fissures. L’emballage de protection permet d’éviter les dommages avant utilisation. Conditions de stockage : Stockez les cibles AlON dans un environnement sec et sans poussière pour maintenir la pureté et prévenir toute contamination potentielle sur la surface de la cible.
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