La cible de pulvérisation en oxyde de zirconium
est un type de cible céramique dont le composant principal est l’oxyde de zirconium. Elle présente les caractéristiques suivantes : point de fusion élevé, dureté élevée et bonne stabilité chimique. Elle est utilisée dans la pulvérisation magnétron et d’autres technologies de revêtement pour préparer des matériaux en couche mince de haute qualité.
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Caractéristiques
Formule chimique : ZrO2
Point de fusion : environ 2700 °C.
Point d’ébullition : environ 4300 °C.
Densité : densité théorique 5,68 g/cm3.
Dureté : dureté Mohs d’environ 7.
Propriétés chimiques : haute stabilité chimique, à température ambiante, ne réagit pas facilement avec l’eau, les acides, les alcalis et autres substances, mais à des températures élevées, les acides forts, les alcalis et d’autres conditions spécifiques peuvent provoquer des réactions chimiques.
Propriétés électriques : en général, l’oxyde de zirconium a une résistivité relativement élevée, mais sa conductivité électrique peut être efficacement améliorée par dopage et d’autres moyens afin de répondre aux exigences du pulvérisation magnétron et d’autres procédés de pulvérisation à commande électrique.
Propriétés optiques : le film de zircone a une bonne transmittance optique et un bon indice de réfraction, il peut être utilisé pour la préparation de films optiques, de films améliorant la perméabilité, de films d’interférence, etc.
Structure de phase cristalline : l’oxyde de zirconium présente trois phases cristallines, à savoir la phase monoclinique (en dessous de 1170 °C), la phase tétragonale (1170 °C-2370 °C) et la phase cubique (au-dessus de 2370 °C).
Électronique : utilisé dans les semi-conducteurs, les écrans et les dispositifs photovoltaïques pour les films diélectriques à haute constante diélectrique, les couches conductrices transparentes et l’amélioration de l’efficacité et de la stabilité.
Optique : appliqué dans les revêtements optiques et laser pour améliorer le contrôle de la lumière, la durabilité et la stabilité thermique.
Énergie : utilisé dans les électrolytes SOFC et les batteries lithium-ion pour améliorer la conductivité ionique, les performances et la durée de vie.
Médical : convient aux restaurations dentaires et aux revêtements de dispositifs médicaux en raison de son excellente biocompatibilité, de sa dureté et de ses propriétés antibactériennes.
Industriel : utilisé dans les revêtements résistants à l’usure, les barrières thermiques et les revêtements décoratifs pour améliorer la durabilité, la résistance à la chaleur et les performances de surface.
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