Les cibles de pulvérisation d’oxyde de magnésium sont des matériaux utilisés dans les processus de dépôt physique en phase vapeur (PVD), principalement pour créer des films minces de MgO dans diverses applications, telles que les revêtements protecteurs, les couches optiques et les dispositifs électroniques. Les cibles MgO sont appréciées pour leurs propriétés isolantes, leur point de fusion élevé et leur transparence dans les domaines visible et infrarouge, ce qui les rend adaptées aux applications nécessitant des films durables et de haute qualité.
Formule chimique :MgO
Masse molaire : 40,304 g/mol
Apparence :Poudre blanche
Odeur :Inodore
Densité : 3,6 g/cm3
Point de fusion :2 852 °C (5 166 °F ; 3 125 K)
Point d’ébullition :3 600 °C (6 510 °F ; 3 870 K)
Solubilité : Soluble dans l’acide, insoluble dans l’ammoniac dans l’alcool
Revêtements protecteurs : Les films MgO sont utilisés comme revêtements protecteurs pour les matériaux qui fonctionnent à des températures élevées ou dans des environnements corrosifs, tels que les composants aérospatiaux et les lentilles optiques. Films optiques et transparents : En raison de sa transparence optique et de sa capacité à transmettre la lumière infrarouge et visible, le MgO est utilisé dans les revêtements optiques, les technologies d’affichage et les films antireflets. Microélectronique et dispositifs à semi-conducteurs : Les cibles de pulvérisation d’oxyde de magnésium sont utilisées comme couches isolantes ou diélectriques de grille dans les dispositifs à semi-conducteurs. La constante diélectrique élevée et les propriétés isolantes rendent les films MgO adaptés aux applications dans les transistors et les condensateurs haute performance. Jonctions tunnel magnétiques (MTJ) : Le MgO est souvent utilisé comme couche barrière à effet tunnel dans les MTJ, qui sont des composants clés des dispositifs spintroniques et de la technologie de mémoire magnétique à accès aléatoire (MRAM). Dispositifs biomédicaux : Les cibles de pulvérisation d’oxyde de magnésium sont biocompatibles et utilisées comme revêtements dans les dispositifs médicaux, y compris les implants, où elles servent de barrière résistante à la corrosion et biocompatible.
Cassabilité : Les cibles de pulvérisation d’oxyde de magnésium sont cassantes, ce qui les rend susceptibles de se fissurer ou de s’écailler lors de la manipulation. Une manipulation appropriée et un montage soigneux dans les systèmes de pulvérisation sont nécessaires pour éviter tout dommage. Nature hygroscopique : Le MgO peut absorber l’humidité de l’air, ce qui peut entraîner une hydratation partielle et affecter les performances de pulvérisation. Le stockage et la manipulation dans des conditions sèches sont essentiels pour maintenir l’intégrité de la cible. Environnement de pulvérisation réactif : Le MgO peut nécessiter un environnement de pulvérisation contrôlé pour éviter les réactions indésirables, en particulier dans les environnements à forte teneur en oxygène. La pulvérisation cathodique réactive peut également avoir un impact sur le taux de dépôt et la qualité du film.
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