Alumine

La cible de pulvérisation d’oxyde d’aluminium est un matériau cible solide de haute pureté, principalement composé d’oxyde d’aluminium, couramment utilisé dans les processus de dépôt de couches minces tels que la pulvérisation et le dépôt laser pulsé. Les cibles en oxyde d’aluminium sont essentielles dans les industries nécessitant des revêtements très durables, isolants et résistants à l’usure, en particulier dans l’électronique, l’optique et les applications à haute température.

Composition des cibles de pulvérisation d’oxyde d’aluminium :

Les cibles de pulvérisation d’oxyde d’aluminium sont généralement d’une pureté de 99,9 % ou plus, en particulier dans des applications telles que la fabrication de semi-conducteurs où une contamination minimale est cruciale. La composition Al₂O₃ de haute pureté garantit que les films résultants présentent des défauts minimaux et d’excellentes propriétés d’isolation.

Propriétés physiques et structurelles :

Structure dense et uniforme : Des cibles uniformes à haute densité sont essentielles pour un dépôt de film cohérent et sont conçues pour minimiser les défauts et assurer l’homogénéité pendant le processus de dépôt. Point de fusion élevé : L’oxyde d’aluminium a un point de fusion d’environ 2072 °C (3762 °F), ce qui le rend adapté aux applications à haute température et à une utilisation comme barrière thermique. Dureté et durabilité : Al₂O₃ se classe haut sur l’échelle de dureté de Mohs, ce qui permet à la cible de supporter une utilisation prolongée dans un équipement de pulvérisation sans usure significative.

Isolation thermique et électrique :

Excellent isolant : L’oxyde d’aluminium est un excellent isolant électrique, une propriété précieuse pour créer des couches isolantes dans les composants électroniques. Stabilité thermique : En raison de sa stabilité thermique, Al₂O₃ peut résister à des températures extrêmes sans se décomposer, ce qui le rend idéal pour les revêtements protecteurs et les composants à haute température. Inertie chimique : Al₂O₃ est très résistant à la corrosion et aux attaques chimiques, ce qui signifie qu’il peut résister à l’exposition à des environnements difficiles sans se dégrader. Cette inertie est bénéfique dans les applications nécessitant des revêtements stables qui ne réagissent pas avec d’autres matériaux.

Applications:

Électronique et semi-conducteurs : Les cibles de pulvérisation d’oxyde d’aluminium sont couramment utilisées pour déposer de fines couches isolantes dans les appareils électroniques, telles que des couches diélectriques dans les condensateurs et des revêtements protecteurs dans les circuits microélectroniques. Optique: Les revêtements en oxyde d’aluminium sont utilisés dans des applications optiques pour les revêtements antireflets, les lentilles durables et les écrans d’affichage en raison de leur transparence et de leur résistance aux rayures. Aérospatiale et automobile : En tant qu’isolant à haute température et revêtement résistant à la corrosion, Al₂O₃ est appliqué pour protéger les composants critiques de l’usure et des conditions extrêmes. Revêtements protecteurs : La dureté et l’inertie chimique de l’oxyde d’aluminium le rendent adapté aux revêtements résistants à l’usure sur les outils, les instruments de coupe et divers équipements industriels.