Oxyde d’aluminium : Oxyde d’yttrium : Oxyde de thulium (Al₂O₃- Y₂O₃-Tm₂O₃) Les cibles sont des cibles composites créées à partir d’un mélange d’oxyde d’aluminium, d’oxyde d’yttrium et d’oxyde de thulium, souvent utilisées dans les procédés avancés de dépôt de couches minces, tels que la pulvérisation cathodique et le dépôt laser pulsé (PLD). Cette combinaison d’oxydes permet d’obtenir un matériau cible aux propriétés optiques, thermiques et structurelles uniques, adapté à une utilisation dans les applications électroniques, photoniques et laser.
L’oxyde d’aluminium (Al₂O₃) assure la stabilité thermique, la dureté et l’isolation électrique. L’oxyde d’yttrium (Y₂O₃) améliore la ténacité et la résistance thermique de la cible, ainsi que sa stabilité chimique. L’oxyde de thulium (Tm₂O₃) est un ion actif dans les matériaux optiques, ajoutant des propriétés d’émission optique bénéfiques pour les applications laser et photoniques.
Dureté et ténacité élevées : La combinaison d’oxydes d’aluminium et d’yttrium améliore la dureté et la résistance à la rupture de la cible, ce qui la rend durable et résistante à la fissuration ou à l’usure pendant l’utilisation. Stabilité thermique : Avec un point de fusion élevé et une bonne conductivité thermique, ces cibles sont adaptées aux environnements à haute température, avec une stabilité maintenue jusqu’à environ 2000°C.
Capacité photoluminescente : L’oxyde de thulium introduit des propriétés luminescentes, ce qui rend le matériau efficace dans les applications laser et optiques. Lorsqu’elle est utilisée dans des applications à couche mince, cette cible peut déposer des couches qui émettent dans certaines longueurs d’onde, telles que le proche infrarouge, bénéfiques dans les systèmes photoniques et laser médicaux. Haute transparence : La combinaison d’oxydes, en particulier avec Tm₂O₃, peut donner des films minces transparents ou translucides, adaptés aux revêtements optiques ou aux applications laser.
La cible conserve des propriétés diélectriques élevées, grâce à Al₂O₃ et Y₂O₃, ce qui assure une forte isolation électrique dans les couches minces, ce qui les rend adaptées aux applications dans les couches isolantes ou les revêtements protecteurs dans les appareils électroniques.
Cette composition cible résiste à de nombreux produits chimiques, y compris les acides et les alcalis, ce qui la rend idéale pour les applications exposées à des environnements difficiles.
Dispositifs laser et photoniques : Le composant oxyde de thulium confère des propriétés luminescentes qui sont utiles dans les lasers proches infrarouges, les circuits photoniques et les technologies laser médicales. Revêtements optiques : La cible composite peut être utilisée pour déposer des films minces à haute transparence et aux propriétés optiques spécifiques, adaptés aux lentilles, écrans d’affichage et autres composants optiques. Revêtements de protection dans l’électronique : En raison de sa durabilité, de sa stabilité thermique et de son isolation, la cible est utile dans les revêtements pour les appareils électroniques, en particulier là où une résilience à haute température est nécessaire. Applications résistantes à l’usure et à haute température : Dans les environnements nécessitant une résistance à l’usure et une stabilité à haute température, cette cible offre une option robuste pour la protection des surfaces.
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