La cible de pulvérisation au nitrure de bore est un matériau utilisé dans le processus de pulvérisation pour déposer des films de nitrure de bore (BN) sur un substrat. La pulvérisation est un type de dépôt physique en phase vapeur (PVD) où des ions ou des particules de haute énergie frappent une cible, provoquant l’éjection d’atomes ou de molécules du matériau cible et leur dépôt sur un substrat pour former un film mince.
Formule chimique :BN
Masse molaire : 24,82 g/mol
Apparence : Les cibles de pulvérisation de nitrure de bore sont généralement des disques ou des plaques solides et blancs.
Densité :2,1 (h-BN) ; 3,45 (c-BN) g/cm3
Point de fusion : 2 973 °C (5 383 °F ; 3 246 K) sublime (cBN)
Solubilité dans l’eau : insoluble
Pureté : Les cibles de pulvérisation sont disponibles dans différents degrés de pureté, allant généralement de 99 % à 99,99 % pour les applications hautes performances. Isolation électrique : Le nitrure de bore est un excellent isolant électrique, ce qui le rend idéal pour les applications qui nécessitent une isolation électrique ainsi qu’une conductivité thermique élevée.
Cette forme est souvent utilisée pour créer des films minces lubrifiants ou isolants. Il a une structure en couches similaire au graphite, permettant le dépôt de films minces aux propriétés lubrifiantes. Utilisé pour sa conductivité thermique élevée et ses propriétés d’isolation électrique. Courant dans des applications telles que les revêtements pour les appareils électroniques, les films optiques et comme revêtement protecteur dans les environnements à haute température.
Les cibles de pulvérisation au nitrure de bore cubique sont utilisées lorsque l’application exige une dureté, par exemple dans les outils de coupe, les matériaux abrasifs et les revêtements résistants à l’usure. Cette forme de BN est le deuxième matériau le plus dur connu (après le diamant), ce qui la rend idéale pour les films résistants à l’usure dans des conditions difficiles.
Dépôt de couche mince :
Revêtements optiques : Les cibles de pulvérisation en nitrure de bore peuvent être utilisées dans des applications optiques, telles que dans des miroirs ou des revêtements qui doivent résister à des températures élevées tout en offrant une clarté optique. Gestion thermique : La conductivité thermique élevée du nitrure de bore le rend adapté aux applications de dissipation thermique et à d’autres composants électroniques où la dissipation de chaleur est critique. Revêtements résistants à l’usure : Les cibles de pulvérisation en nitrure de bore cubique sont utilisées dans le dépôt de films durs pour les outils de coupe, les produits abrasifs et les revêtements protecteurs dans les industries automobile et manufacturière. Réflecteurs de neutrons : Les films BN sont utilisés dans les applications nucléaires comme réflecteurs de neutrons en raison de leur faible absorption de neutrons et de leur grande stabilité thermique.
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