El blanco de pulverización de óxido de circonio
es un tipo de blanco cerámico con óxido de circonio como componente principal, que tiene las características de alto punto de fusión, alta dureza y buena estabilidad química, y se utiliza en la pulverización magnetrónica y otras tecnologías de recubrimiento para preparar materiales de película delgada de alta calidad.
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Características
Fórmula química: ZrO2
Punto de fusión: aprox. 2700 °C.
Punto de ebullición: aprox. 4300 °C.
Densidad: densidad teórica 5,68 g/cm3.
Dureza: la dureza Mohs es de aproximadamente 7.
Propiedades químicas: alta estabilidad química, a temperatura ambiente no es fácil que reaccione con el agua, los ácidos, los álcalis y otras sustancias, pero a altas temperaturas, con ácidos y álcalis fuertes y en otras condiciones específicas, puede producirse una reacción química.
Propiedades eléctricas: en términos generales, el óxido de circonio tiene una resistividad relativamente alta, pero su conductividad eléctrica puede mejorarse eficazmente mediante dopaje y otros medios para cumplir los requisitos de la pulverización catódica por magnetrón y otros procesos de pulverización catódica accionados eléctricamente.
Propiedades ópticas: la película de circonio tiene una buena transmitancia óptica y un buen índice de refracción, y puede utilizarse para la preparación de películas ópticas, películas de mejora de la permeabilidad, películas de interferencia, etc.
Estructura de fase cristalina: el óxido de circonio tiene tres fases cristalinas, a saber, la fase monoclínica (por debajo de 1170 °C), la fase tetragonal (1170 °C-2370 °C) y la fase cúbica (por encima de 2370 °C).
Electrónica: se utiliza en semiconductores, pantallas y dispositivos fotovoltaicos para películas dieléctricas de alta constante dieléctrica, capas conductoras transparentes y mejora de la eficiencia y la estabilidad.
Óptica: se aplica en recubrimientos ópticos y láser para mejorar el control de la luz, la durabilidad y la estabilidad térmica.
Energía: se utiliza en electrolitos SOFC y baterías de iones de litio para mejorar la conductividad iónica, el rendimiento y la vida útil.
Medicina: Adecuado para restauraciones dentales y recubrimientos de dispositivos médicos debido a su excelente biocompatibilidad, dureza y propiedades antibacterianas.
Industria: Empleado en recubrimientos resistentes al desgaste, barreras térmicas y recubrimientos decorativos para mejorar la durabilidad, la resistencia al calor y el rendimiento de la superficie.
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| Metal de circonio | Carburo de circonio | Nitruro de circonio |
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