Óxido de aluminio : Óxido de itrio : Óxido de tulio (Al₂O₃- Y₂O₃-Tm₂O₃) Los objetivos son objetivos compuestos creados a partir de una mezcla de óxido de aluminio, óxido de itrio y óxido de tulio, a menudo utilizados en procesos avanzados de deposición de película delgada, como la pulverización catódica y la deposición láser pulsada (PLD). Esta combinación de óxidos da como resultado un material objetivo con propiedades ópticas, térmicas y estructurales únicas, adecuado para su uso en aplicaciones electrónicas, fotónicas y láser.
El óxido de aluminio (Al₂O₃) proporciona estabilidad térmica, dureza y aislamiento eléctrico. El óxido de itrio (Y₂O₃) mejora la tenacidad y la resistencia térmica del objetivo, así como su estabilidad química. El óxido de tulio (Tm₂O₃) es un ion activo en los materiales ópticos, lo que agrega propiedades de emisión óptica beneficiosas para aplicaciones láser y fotónicas.
Alta dureza y tenacidad: La combinación de óxidos de aluminio e itrio mejora la dureza y la tenacidad a la fractura del objetivo, lo que lo hace duradero y resistente al agrietamiento o al desgaste durante el uso. Estabilidad térmica: Con un alto punto de fusión y buena conductividad térmica, estos objetivos son adecuados para entornos de alta temperatura, con una estabilidad mantenida hasta aproximadamente 2000 °C.
Capacidad fotoluminiscente: El óxido de tulio introduce propiedades luminiscentes, lo que hace que el material sea eficaz en aplicaciones láser y ópticas. Cuando se usa en aplicaciones de película delgada, este objetivo puede depositar capas que emiten en ciertas longitudes de onda, como el infrarrojo cercano, beneficioso en fotónica y sistemas láser médicos. Alta transparencia: La combinación de óxidos, especialmente con Tm₂O₃, puede producir películas delgadas transparentes o translúcidas, adecuadas para recubrimientos ópticos o aplicaciones láser.
El objetivo mantiene altas propiedades dieléctricas, gracias al Al₂O₃ y al Y₂O₃, lo que garantiza un fuerte aislamiento eléctrico en películas delgadas, lo que las hace adecuadas para aplicaciones en capas aislantes o recubrimientos protectores en dispositivos electrónicos.
Esta composición objetivo es resistente a muchos productos químicos, incluidos ácidos y álcalis, lo que la hace ideal para aplicaciones expuestas a entornos hostiles.
Láser y dispositivos fotónicos: El componente de óxido de tulio confiere propiedades luminiscentes que son útiles en láseres de infrarrojo cercano, circuitos fotónicos y tecnologías láser médicas. Recubrimientos ópticos: El objetivo compuesto se puede utilizar para depositar películas delgadas con alta transparencia y propiedades ópticas específicas, adecuadas para lentes, pantallas de visualización y otros componentes ópticos. Recubrimientos protectores en electrónica: Debido a su durabilidad, estabilidad térmica y aislamiento, el objetivo es útil en recubrimientos para dispositivos electrónicos, especialmente donde se necesita resistencia a altas temperaturas. Aplicaciones resistentes al desgaste y a altas temperaturas: En entornos que requieren resistencia al desgaste y estabilidad a altas temperaturas, este objetivo proporciona una opción robusta para la protección de superficies.
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