El objetivo de pulverización catódica de fluoruro de litio es un material objetivo utilizado en el proceso de pulverización catódica para depositar películas delgadas de fluoruro de litio en varios sustratos. El fluoruro de litio es un compuesto inorgánico altamente iónico y tiene propiedades distintivas que lo hacen adecuado para aplicaciones en electrónica, óptica y otros campos de materiales avanzados.
Fórmula química:LiF
Masa molar: 25.939 (2) g / mol
Aspecto: polvo blanco o cristales transparentes, higroscópico
Densidad:2.635 g/cm3
Punto de fusión: 845 °C (1.553 °F; 1.118 K)
Punto de ebullición: 1.676 °C (3.049 °F; 1.949 K)
Solubilidad en agua”0,127 g/100 mL (18 °C)/0,134 g/100 mL (25 °C) Solubilidad:soluble en HF; insoluble en alcohol
Susceptibilidad magnética (χ):−10.1·10−6 cm3/mol
Índice de refracción (nD):1.3915
Estructura cristalina:Cúbica centrada en la cara
Deposición de película delgada: El uso principal de los objetivos de pulverización catódica de fluoruro de litio es la deposición de películas delgadas en el proceso de pulverización catódica. Las películas delgadas LiF se utilizan en aplicaciones tales como:
Dispositivos semiconductores: El objetivo de pulverización catódica de fluoruro de litio se emplea ocasionalmente en la fabricación de semiconductores, incluso como parte de las capas dieléctricas de transistores y otros dispositivos semiconductores. Células solares: El objetivo de pulverización catódica de fluoruro de litio también se utiliza en algunas tecnologías de células solares de película delgada, donde sus propiedades únicas pueden ayudar a mejorar la eficiencia energética o la estabilidad.
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