{"id":1056212,"date":"2026-09-08T15:05:15","date_gmt":"2026-09-08T07:05:15","guid":{"rendered":"https:\/\/vimaterial.de\/perche-i-bersagli-di-sputtering-in-ito-si-rompono-o-esplodono-spiegazione-della-struttura-sinterizzata-e-del-controllo-delle-sollecitazioni\/"},"modified":"2026-09-08T15:10:48","modified_gmt":"2026-09-08T07:10:48","slug":"perche-i-bersagli-di-sputtering-in-ito-si-rompono-o-esplodono-spiegazione-della-struttura-sinterizzata-e-del-controllo-delle-sollecitazioni","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/vimaterial.de\/it\/perche-i-bersagli-di-sputtering-in-ito-si-rompono-o-esplodono-spiegazione-della-struttura-sinterizzata-e-del-controllo-delle-sollecitazioni\/","title":{"rendered":"Perch\u00e9 i bersagli di sputtering in ITO si rompono o esplodono? Spiegazione della struttura sinterizzata e del controllo delle sollecitazioni"},"content":{"rendered":"\t\t<div data-elementor-type=\"wp-post\" data-elementor-id=\"1056212\" class=\"elementor elementor-1056212 elementor-1056198\" data-elementor-post-type=\"post\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-3749ffd e-flex e-con-boxed e-con e-parent\" data-id=\"3749ffd\" data-element_type=\"container\" data-e-type=\"container\">\n\t\t\t\t\t<div class=\"e-con-inner\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-8fd7b53 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"8fd7b53\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p><span style=\"color: #0000ff;\"><a style=\"color: #0000ff;\" href=\"https:\/\/vimaterial.de\/it\/product\/ossido-di-indio-e-stagno-ito-2\/\">I bersagli di sputtering in ITO (ossido di indio e stagno)<\/a><\/span> sono ampiamente utilizzati per produrre film conduttivi trasparenti per display, pannelli touch, dispositivi fotovoltaici e altre applicazioni optoelettroniche. Durante lo sputtering magnetronico, tuttavia, i target ITO possono sviluppare crepe, scheggiature, archi elettrici anomali o persino fratture improvvise, comunemente denominate &#8221; <strong>fessurazione dei target ITO&#8221; o &#8220;esplosione del target&#8221;.<\/strong> Il fenomeno della rottura dei bersagli di sputtering ITO \u00e8 complesso e sfaccettato.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-1ebb2b4 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"1ebb2b4\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Questo difetto \u00e8 raramente causato da un unico fattore. Di solito \u00e8 legato agli effetti combinati della <strong>densit\u00e0 di sinterizzazione, della distribuzione dei pori, della struttura granulare, delle sollecitazioni residue, dei difetti interni, dell\u2019incollaggio del bersaglio, delle condizioni di raffreddamento e della potenza di sputtering.<\/strong><\/p><p>Comprendere queste relazioni \u00e8 essenziale per produrre bersagli in ITO in grado di resistere alla polverizzazione ad alta potenza e garantire una deposizione stabile del film.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-2dfcbe2 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"2dfcbe2\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">1. Quali sono le cause dell'esplosione del bersaglio ITO?<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-e57da88 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"e57da88\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Durante la deposizione per sputtering con magnetrone, ioni ad alta energia bombardano continuamente la superficie del bersaglio in ITO. Il bombardamento genera sollecitazioni sia termiche che meccaniche.<\/p><p>Se il bersaglio presenta difetti interni o tensioni residue, tali sollecitazioni possono concentrarsi in corrispondenza delle zone pi\u00f9 deboli e dare origine a crepe microscopiche. Una volta formatasi una crepa, i ripetuti cicli termici e il bombardamento ionico possono favorirne la propagazione.<\/p><p>Un meccanismo di rottura semplificato \u00e8 il seguente:<\/p><p><strong>Difetto interno \u2192 concentrazione di sollecitazioni \u2192 formazione di microfessure \u2192 propagazione della fessura \u2192 frattura del bersaglio<\/strong><\/p><p>Nei casi pi\u00f9 gravi, la formazione di crepe pu\u00f2 verificarsi in concomitanza con scariche anomale o archi elettrici. I frammenti del bersaglio possono quindi contaminare la camera di sputtering o il substrato, causando l\u2019interruzione del processo e una riduzione della resa produttiva.<\/p><p>Pertanto, <span style=\"color: #0000ff;\"><a style=\"color: #0000ff;\" href=\"https:\/\/vimaterial.de\/it\/problemi-comuni-relativi-ai-target-di-sputtering-ito-e-relative-soluzioni\/\">l\u2019esplosione del bersaglio ITO<\/a><\/span> dovrebbe essere intesa come un <strong>problema legato all\u2019interazione tra struttura del materiale e processo<\/strong>, piuttosto che come un semplice guasto meccanico.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-78c5682 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"78c5682\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>In definitiva, affrontare il problema delle crepe nei bersagli di sputtering ITO \u00e8 fondamentale per migliorare l&#8217;affidabilit\u00e0 e le prestazioni dei processi di sputtering.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-8e3062c elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"8e3062c\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">2. Perch\u00e9 la struttura di sinterizzazione \u00e8 fondamentale?<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-e23f416 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"e23f416\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>I bersagli ITO sono generalmente realizzati in <span style=\"color: #0000ff;\"><a style=\"color: #0000ff;\" href=\"https:\/\/vimaterial.de\/it\/search\/?type=name&#038;keyword=ITO\">sistema ceramico In\u2082O\u2083-SnO\u2082<\/a><\/span> . Le caratteristiche della polvere, il processo di formatura, il profilo di sinterizzazione e il processo di raffreddamento determinano collettivamente la microstruttura finale.<\/p><p>Diversi parametri influenzano direttamente l\u2019affidabilit\u00e0 del bersaglio:<\/p><ul><li>Densit\u00e0 di sinterizzazione<\/li><li>Uniformit\u00e0 della densit\u00e0<\/li><li>Porosit\u00e0 e distribuzione dei pori<\/li><li>Dimensione dei grani e uniformit\u00e0 dei grani<\/li><li>Composizione chimica<\/li><li>Difetti interni<\/li><li>Tensione residua<\/li><\/ul>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-b31bd2b elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"b31bd2b\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Una densit\u00e0 media elevata, di per s\u00e9, non garantisce l\u2019affidabilit\u00e0 di un bersaglio. Un bersaglio pu\u00f2 presentare una densit\u00e0 complessiva soddisfacente pur contenendo aree locali a bassa densit\u00e0, pori o interfacce deboli.<\/p><p>Queste regioni possono diventare punti di concentrazione delle sollecitazioni durante la polverizzazione.<\/p><p>Per questo motivo, <strong>l\u2019uniformit\u00e0 in tutto il bersaglio \u00e8 spesso pi\u00f9 importante della semplice massimizzazione della densit\u00e0 media.<\/strong><\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-85a8053 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"85a8053\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">3. Densit\u00e0 non uniforme e ritiro differenziale<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-799c293 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"799c293\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Il problema pu\u00f2 insorgere gi\u00e0 prima della sinterizzazione.<\/p><p>La polvere di ITO deve prima essere modellata in un corpo verde. Spesso si ricorre alla pressatura isostatica a freddo (CIP), poich\u00e9 \u00e8 in grado di fornire una pressione relativamente uniforme e di ridurre i gradienti di densit\u00e0.<\/p><p>Tuttavia, il riempimento della polvere, la distribuzione granulometrica, la dispersione della polvere e le condizioni di formatura possono comunque determinare differenze nella densit\u00e0 del grezzo.<\/p><p>Durante la sinterizzazione, le regioni con densit\u00e0 iniziali diverse possono restringersi a velocit\u00e0 diverse.<\/p><p>Il processo che ne deriva pu\u00f2 essere descritto come segue:<\/p><p><strong>Compattazione non uniforme della polvere \u2192 gradiente di densit\u00e0 del corpo verde \u2192 ritiro differenziale \u2192 tensione residua \u2192 formazione di crepe<\/strong><\/p><p>Questo problema assume sempre maggiore rilevanza per i target ITO di ampia superficie o di elevato spessore, dove \u00e8 pi\u00f9 difficile mantenere una densit\u00e0 uniforme su tutta la sezione trasversale.<\/p><p>Per ridurre le fessurazioni legate alla densit\u00e0, i produttori dovrebbero controllare:<\/p><ul><li>Distribuzione granulometrica della polvere<\/li><li>La dispersione della polvere<\/li><li>Uniformit\u00e0 di riempimento della polvere<\/li><li>Pressione di formatura<\/li><li>Condizioni CIP<\/li><li>Distribuzione della densit\u00e0 del grezzo<\/li><li>Comportamento di ritiro durante la sinterizzazione<\/li><\/ul>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-5786723 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"5786723\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>L&#8217;obiettivo \u00e8 quello di ottenere un corpo grezzo con <strong>una densit\u00e0 iniziale omogenea<\/strong>, che consenta una densificazione pi\u00f9 uniforme durante la sinterizzazione.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-8347935 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"8347935\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">4. Porosit\u00e0 e difetti interni<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-05ef7a6 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"05ef7a6\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>La porosit\u00e0 \u00e8 un altro fattore determinante che influisce sull&#8217;affidabilit\u00e0 del pezzo finito.<\/p><p>Durante la sinterizzazione, i pori dovrebbero ridursi progressivamente e scomparire man mano che il materiale si densifica. Tuttavia, se all\u2019interno del corpo verde rimangono residui organici, gas o polvere mal dispersa, i pori potrebbero rimanere intrappolati o trasformarsi in difetti interni chiusi.<\/p><p>Questi difetti sono particolarmente problematici perch\u00e9 fungono da concentratori locali di sollecitazioni.<\/p><p>I difetti interni possono inoltre contribuire a un comportamento anomalo durante la polverizzazione e alla generazione di particelle, fenomeno strettamente correlato alla <a href=\"https:\/\/vimaterial.de\/it\/formazione-di-noduli-sullito-durante-la-deposizione-per-sputtering-cause-effetti-e-soluzioni\/\"><span style=\"color: #0000ff;\">formazione di noduli sul bersaglio ITO durante la polverizzazione.<\/span><\/a><\/p><p>In condizioni di sputtering, il bersaglio \u00e8 sottoposto ripetutamente a sollecitazioni termiche e meccaniche. Un poro o una zona debole possono quindi diventare il punto di partenza per la propagazione di una fessura.<\/p><p>Il meccanismo pu\u00f2 essere sintetizzato come segue:<\/p><p><strong>Porosi o difetto interno \u2192 concentrazione locale di sollecitazioni \u2192 microfessura \u2192 crescita della fessura \u2192 cedimento del bersaglio<\/strong><\/p><p>Ecco perch\u00e9 l\u2019ispezione superficiale da sola non \u00e8 sufficiente per valutare un bersaglio ITO ad alte prestazioni. \u00c8 necessario considerare anche l\u2019integrit\u00e0 interna.<\/p><p>Tra i metodi di ispezione appropriati figurano la misurazione della densit\u00e0, l\u2019analisi al microscopio o al SEM, l\u2019ispezione a ultrasuoni, il controllo dimensionale e l\u2019analisi chimica.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-d379e1c elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"d379e1c\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">5. Tensioni residue e shock termico<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-014280c elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"014280c\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Uno dei fattori pi\u00f9 importanti nella formazione di crepe nel pezzo \u00e8 <strong>la tensione residua generata durante il riscaldamento e il raffreddamento.<\/strong><\/p><p>Durante la sinterizzazione, diverse zone di un corpo ceramico di grandi dimensioni possono essere soggette a temperature diverse. Durante il raffreddamento, il materiale si contrae man mano che la sua temperatura diminuisce.<\/p><p>Se la superficie e l\u2019interno si raffreddano a velocit\u00e0 diverse, si verifica una contrazione termica differenziale.<\/p><p>Ci\u00f2 produce una sollecitazione determinata dal gradiente di temperatura:<\/p><p><strong>Gradiente di temperatura \u2192 contrazione termica differenziale \u2192 sollecitazione termica \u2192 sollecitazione residua<\/strong><\/p><p>Se la tensione accumulata supera la resistenza locale alla frattura della ceramica, possono formarsi delle crepe oppure le microfessure esistenti possono diventare instabili.<\/p><p>La fase di raffreddamento \u00e8 quindi importante tanto quanto quella di riscaldamento.<\/p><p>Tra i parametri importanti figurano:<\/p><ul><li>Velocit\u00e0 di riscaldamento<\/li><li>Velocit\u00e0 di raffreddamento<\/li><li>Tempo di mantenimento<\/li><li>Spessore del bersaglio<\/li><li>Geometria del pezzo<\/li><li>Uniformit\u00e0 della temperatura del forno<\/li><li>Atmosfera di sinterizzazione<\/li><\/ul>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-6fa5db0 elementor-widget elementor-widget-image\" data-id=\"6fa5db0\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"image.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<img fetchpriority=\"high\" decoding=\"async\" width=\"800\" height=\"449\" src=\"https:\/\/vimaterial.de\/wp-content\/uploads\/2026\/09\/Internal-defects-stress-concentration-and-crack-propagation-in-ITO-sputtering-targets.png\" class=\"attachment-large size-large wp-image-1056213\" alt=\"Difetti interni, concentrazione di sollecitazioni e propagazione delle fessure nei target di sputtering ITO - VIMATERIAL\" srcset=\"https:\/\/vimaterial.de\/wp-content\/uploads\/2026\/09\/Internal-defects-stress-concentration-and-crack-propagation-in-ITO-sputtering-targets.png 890w, https:\/\/vimaterial.de\/wp-content\/uploads\/2026\/09\/Internal-defects-stress-concentration-and-crack-propagation-in-ITO-sputtering-targets-300x169.png 300w, https:\/\/vimaterial.de\/wp-content\/uploads\/2026\/09\/Internal-defects-stress-concentration-and-crack-propagation-in-ITO-sputtering-targets-768x431.png 768w, https:\/\/vimaterial.de\/wp-content\/uploads\/2026\/09\/Internal-defects-stress-concentration-and-crack-propagation-in-ITO-sputtering-targets-600x337.png 600w\" sizes=\"(max-width: 800px) 100vw, 800px\" title=\"\">\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-49e583c elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"49e583c\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Il raffreddamento controllato pu\u00f2 ridurre i gradienti termici e minimizzare le tensioni residue. A seconda del processo di produzione, \u00e8 possibile ricorrere anche a un successivo trattamento di ricottura per alleviare le tensioni interne.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-6db385a elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"6db385a\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">6. Granulometria e uniformit\u00e0 microstrutturale<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-7c36d7e elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"7c36d7e\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p><span style=\"color: #0000ff;\"><a style=\"color: #0000ff;\" href=\"https:\/\/www.sciencedirect.com\/science\/article\/pii\/S2352492825029708?utm_source=chatgpt.com\" rel=\"nofollow noopener\" target=\"_blank\">Anche la struttura granulare influisce sulle propriet\u00e0 meccaniche e sul comportamento di sputtering dei target ITO.<\/a><\/span><\/p><p>Una crescita eccessiva dei grani pu\u00f2 ridurre la resistenza meccanica e modificare il comportamento alla frattura. All\u2019estremo opposto, una struttura a grana eccessivamente fine aumenta la densit\u00e0 dei bordi di grano e pu\u00f2 influenzare le propriet\u00e0 elettriche e le caratteristiche di sputtering.<\/p><p>Pertanto, l\u2019obiettivo non \u00e8 semplicemente quello di ottenere grani il pi\u00f9 piccoli possibile, ma di ottenere una <strong>struttura granulare controllata e uniforme.<\/strong><\/p><p>La distribuzione granulometrica \u00e8 particolarmente importante. Grandi variazioni nella dimensione dei grani possono produrre differenze locali nella resistenza meccanica, nella risposta termica e nel comportamento di sputtering.<\/p><p>Una microstruttura adeguatamente controllata dovrebbe garantire un equilibrio tra:<\/p><p><strong>Resistenza meccanica + propriet\u00e0 elettriche + stabilit\u00e0 di sputtering<\/strong><\/p><p>Ci\u00f2 \u00e8 particolarmente importante per i bersagli destinati allo sputtering ad alta potenza o di lunga durata.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-41b23d9 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"41b23d9\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">7. Impurit\u00e0 e scariche anomale<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-d162cc3 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"d162cc3\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Le materie prime ad alta purezza sono fondamentali per la produzione di target ITO.<\/p><p>Impurit\u00e0, particelle estranee, residui organici e altri contaminanti possono introdurre anomalie locali a livello di composizione o struttura.<\/p><p>Durante la deposizione per sputtering magnetronico, queste regioni anomale possono rispondere in modo diverso ai carichi elettrici e termici rispetto alla matrice ITO circostante.<\/p><p>Tali aree possono potenzialmente diventare punti preferenziali per:<\/p><ul><li>Riscaldamento localizzato<\/li><li>Scariche anomale<\/li><li>Formazione di archi elettrici<\/li><li>Generazione di particelle<\/li><li>Inizio di fessurazioni<\/li><\/ul>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-494e8dd elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"494e8dd\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Pertanto, il controllo di qualit\u00e0 dovrebbe riguardare non solo la purezza chimica delle polveri di In\u2082O\u2083 e SnO\u2082, ma anche la pulizia durante le fasi di miscelazione, formatura, sinterizzazione, lavorazione meccanica e confezionamento.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-91bcc06 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"91bcc06\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">8. In che modo le condizioni di sputtering causano il guasto del bersaglio<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-785dc9e elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"785dc9e\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Anche un bersaglio ben realizzato pu\u00f2 comunque presentare crepe se il processo di sputtering genera sollecitazioni termiche eccessive.<\/p><p>Durante la deposizione per sputtering con magnetrone, gli ioni ad alta energia trasferiscono energia alla superficie del bersaglio. Una parte significativa di questa energia si trasforma in calore.<\/p><p>Se la dissipazione del calore \u00e8 insufficiente, la temperatura del bersaglio pu\u00f2 aumentare localmente. Porosit\u00e0 preesistenti, microfessurazioni o sollecitazioni residue possono quindi amplificare la risposta termica.<\/p><p>Un processo tipico \u00e8 il seguente:<\/p><p><strong>Bombardamento ionico \u2192 riscaldamento localizzato \u2192 sollecitazione termica \u2192 propagazione della fessura \u2192 formazione di archi elettrici \u2192 cedimento del bersaglio<\/strong><\/p><p>I parametri di sputtering che possono influenzare questo processo includono:<\/p><ul><li>Potenza applicata<\/li><li>Densit\u00e0 di potenza<\/li><li>Corrente e tensione<\/li><li>Pressione di esercizio<\/li><li>Composizione del gas<\/li><li>Durata della polverizzazione<\/li><li>Condizioni dell&#8217;acqua di raffreddamento<\/li><li>Contatto termico tra bersaglio e piastra di supporto<\/li><\/ul>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-255d754 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"255d754\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Pertanto, la qualit\u00e0 del bersaglio e i parametri di sputtering devono essere valutati congiuntamente.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-afa42e3 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"afa42e3\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">9. Perch\u00e9 lo sputtering ad alta potenza aumenta il rischio<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-68d9293 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"68d9293\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Lo sputtering ad alta potenza viene sempre pi\u00f9 utilizzato per migliorare le velocit\u00e0 di deposizione e l&#8217;efficienza produttiva. Tuttavia, l&#8217;aumento della potenza comporta anche un aumento del carico termico applicato al bersaglio.<\/p><p>Ci\u00f2 comporta maggiori requisiti in termini di:<\/p><ul><li>Densit\u00e0 del bersaglio<\/li><li>Resistenza meccanica<\/li><li>Conduttivit\u00e0 termica<\/li><li>Uniformit\u00e0 microstrutturale<\/li><li>Resistenza agli shock termici<\/li><li>Efficienza di raffreddamento<\/li><li>Qualit\u00e0 dell&#8217;incollaggio del bersaglio<\/li><\/ul>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-82c3ded elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"82c3ded\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Un bersaglio che funziona bene in condizioni di alimentazione convenzionali pu\u00f2 presentare archi elettrici anomali o crepe quando la densit\u00e0 di potenza viene aumentata in modo significativo.<\/p><p>Ecco perch\u00e9 la polverizzazione ad alta potenza richiede non solo un bersaglio ITO ad alta densit\u00e0, ma anche <strong>una struttura uniforme e una gestione termica efficace.<\/strong><\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-3495746 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"3495746\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">10. Adesione e raffreddamento del bersaglio<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-3d751ec elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"3d751ec\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Il bersaglio ceramico di per s\u00e9 non \u00e8 l&#8217;unico componente coinvolto nella gestione termica.<\/p><p>In un tipico gruppo di sputtering, il calore deve propagarsi dal bersaglio ITO attraverso lo strato di incollaggio e la piastra di supporto fino al sistema di raffreddamento.<\/p><p>Un contatto termico inadeguato pu\u00f2 creare differenze di temperatura localizzate e aumentare lo stress termico.<\/p><p>Tra i potenziali problemi figurano:<\/p><ul><li>Spessore irregolare dello strato di incollaggio<\/li><li>Vuoti nello strato di incollaggio<\/li><li>Contatto termico insufficiente<\/li><li>Raffreddamento insufficiente<\/li><li>Surriscaldamento locale<\/li><li>Cicli termici eccessivi<\/li><\/ul>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-597b262 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"597b262\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Pertanto, l\u2019affidabilit\u00e0 del bersaglio dovrebbe essere valutata come un insieme completo:<\/p><p><strong>bersaglio ITO \u2192 strato di incollaggio \u2192 piastra di supporto \u2192 sistema di raffreddamento<\/strong><\/p><p>Un buon contatto termico contribuisce a mantenere una temperatura del bersaglio pi\u00f9 uniforme e riduce la probabilit\u00e0 di fessurazioni indotte dal calore.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-7c470e6 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"7c470e6\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">11. Come prevenire l\u2019esplosione del bersaglio ITO<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-fd23bfd elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"fd23bfd\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Per evitare il malfunzionamento del bersaglio \u00e8 necessario un controllo coordinato che vada dalla preparazione della polvere fino alla deposizione per sputtering.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-3aafd4b elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"3aafd4b\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h3 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">11.1 Controllo della qualit\u00e0 della polvere<\/h3>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-3121aa6 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"3121aa6\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Utilizzare polveri di In\u2082O\u2083 e SnO\u2082 ad elevata purezza, con distribuzione granulometrica controllata, buona dispersione e distribuzione uniforme dello Sn.<\/p><p>Tra i parametri importanti figurano:<\/p><ul><li>Purezza chimica<\/li><li>Distribuzione granulometrica<\/li><li>Superficie specifica<\/li><li>Morfologia della polvere<\/li><li>Uniformit\u00e0 della composizione<\/li><li>Livelli di umidit\u00e0 e impurit\u00e0<\/li><\/ul>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-9ca8fce elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"9ca8fce\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h3 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">11.2 Miglioramento dell'uniformit\u00e0 della densit\u00e0 del green body<\/h3>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-05a6290 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"05a6290\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Il processo di formatura dovrebbe ridurre al minimo i gradienti di densit\u00e0.<\/p><p>Il CIP pu\u00f2 contribuire a ottenere una compattazione pi\u00f9 uniforme, mentre le condizioni di riempimento con polvere e di pressatura dovrebbero essere ottimizzate in base alla geometria desiderata.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-fb4cdc6 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"fb4cdc6\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h3 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">11.3 Ottimizzazione del profilo di sinterizzazione<\/h3>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-7fbf870 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"7fbf870\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Il programma di sinterizzazione dovrebbe garantire una rimozione controllata del legante, la densificazione, la crescita dei grani e il raffreddamento.<\/p><p>Un schema di processo tipico \u00e8 il seguente:<\/p><p><strong>Rimozione del legante \u2192 riscaldamento controllato \u2192 densificazione \u2192 raffreddamento controllato \u2192 ricottura facoltativa<\/strong><\/p><p>Il profilo di temperatura esatto dovrebbe essere determinato in base alle caratteristiche della polvere, alle dimensioni del bersaglio, alla configurazione del forno e alla composizione del materiale, anzich\u00e9 utilizzare un&#8217;unica ricetta fissa per tutti i bersagli.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-5170bbd elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"5170bbd\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h3 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">11.4 Microstruttura di controllo<\/h3>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-ace69fa elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"ace69fa\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Il bersaglio finito dovrebbe presentare:<\/p><ul><li>Una densit\u00e0 elevata e uniforme<\/li><li>Porosit\u00e0 bassa e distribuita uniformemente<\/li><li>Granulometria controllata<\/li><li>Composizione uniforme<\/li><li>Difetti interni minimi<\/li><li>Bassa tensione residua<\/li><\/ul>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-10fa835 elementor-widget elementor-widget-image\" data-id=\"10fa835\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"image.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<img decoding=\"async\" width=\"800\" height=\"449\" src=\"https:\/\/vimaterial.de\/wp-content\/uploads\/2026\/09\/ITO-sputtering-targets-sintering-structure-and-microstructure.png\" class=\"attachment-large size-large wp-image-1056214\" alt=\"Struttura di sinterizzazione e microstruttura dei bersagli di sputtering ITO - VIMATERIAL\" srcset=\"https:\/\/vimaterial.de\/wp-content\/uploads\/2026\/09\/ITO-sputtering-targets-sintering-structure-and-microstructure.png 890w, https:\/\/vimaterial.de\/wp-content\/uploads\/2026\/09\/ITO-sputtering-targets-sintering-structure-and-microstructure-300x169.png 300w, https:\/\/vimaterial.de\/wp-content\/uploads\/2026\/09\/ITO-sputtering-targets-sintering-structure-and-microstructure-768x431.png 768w, https:\/\/vimaterial.de\/wp-content\/uploads\/2026\/09\/ITO-sputtering-targets-sintering-structure-and-microstructure-600x337.png 600w\" sizes=\"(max-width: 800px) 100vw, 800px\" title=\"\">\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-6ba02df elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"6ba02df\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h3 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">11.5 Ottimizzazione dell'incollaggio e del raffreddamento<\/h3>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-b3c9730 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"b3c9730\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Lo strato di adesione dovrebbe garantire un fissaggio meccanico affidabile e un efficiente trasferimento di calore. Inoltre, le condizioni di raffreddamento dovrebbero essere sufficienti a impedire un aumento eccessivo della temperatura del bersaglio e la formazione di gradienti termici.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-57051c1 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"57051c1\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">12. Come valutare la qualit\u00e0 del bersaglio ITO?<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-39471f2 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"39471f2\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Un sistema affidabile di controllo della qualit\u00e0 dovrebbe combinare diversi metodi di ispezione.<\/p><table><thead><tr><th>Parametro di qualit\u00e0<\/th><th>Metodo di valutazione<\/th><\/tr><\/thead><tbody><tr><td>Densit\u00e0 di sinterizzazione<\/td><td>Misurazione della densit\u00e0<\/td><\/tr><tr><td>Struttura granulare<\/td><td>SEM \/ Analisi al microscopio<\/td><\/tr><tr><td>Difetti interni<\/td><td>Ispezione a ultrasuoni<\/td><\/tr><tr><td>Condizioni superficiali<\/td><td>Ispezione visiva<\/td><\/tr><tr><td>Purezza chimica<\/td><td>Analisi chimica<\/td><\/tr><tr><td>Dimensioni<\/td><td>Controllo dimensionale<\/td><\/tr><tr><td>Tensioni residue<\/td><td>Valutazione del processo e delle sollecitazioni<\/td><\/tr><\/tbody><\/table><p>L&#8217;approccio pi\u00f9 efficace consiste nello stabilire una correlazione tra <strong>i parametri di produzione e i risultati delle ispezioni.<\/strong><\/p><p>Ad esempio, i difetti interni ricorrenti possono essere ricondotti alla dispersione della polvere, alla densit\u00e0 di formatura o alle condizioni di sinterizzazione. Una crescita anomala dei grani pu\u00f2 essere correlata alla temperatura di sinterizzazione e al tempo di mantenimento.<\/p><p>Ci\u00f2 crea un processo a ciclo chiuso:<\/p><p><strong>Propriet\u00e0 della polvere \u2192 Densit\u00e0 di formatura \u2192 Sinterizzazione \u2192 Microstruttura \u2192 Ispezione \u2192 Ottimizzazione del processo<\/strong><\/p><p>Un sistema di questo tipo aiuta i produttori a passare dal semplice rilevamento dei difetti alla previsione e alla prevenzione di potenziali guasti.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-4510a55 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"4510a55\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">13. L'esplosione del bersaglio ITO come problema di materiali accoppiati<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-ca0e7b8 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"ca0e7b8\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>La formazione di crepe sul bersaglio ITO non dovrebbe essere attribuita a un singolo parametro, come la densit\u00e0 o la potenza di sputtering.<\/p><p>La catena completa di difetti pu\u00f2 essere rappresentata come segue:<\/p><p><strong>Qualit\u00e0 della polvere<\/strong><br \/><strong>\u2193<\/strong><br \/><strong>Uniformit\u00e0 della densit\u00e0 del corpo verde<\/strong><br \/><strong>\u2193<\/strong><br \/><strong>Sinterizzazione e raffreddamento<\/strong><br \/><strong>\u2193<\/strong><br \/><strong>Densit\u00e0 + porosit\u00e0 + struttura granulare<\/strong><br \/><strong>\u2193<\/strong><br \/><strong>Tensioni residue e difetti interni<\/strong><br \/><strong>\u2193<\/strong><br \/><strong>Lavorazione meccanica e incollaggio<\/strong><br \/><strong>\u2193<\/strong><br \/><strong>Carico termico durante la polverizzazione catodica<\/strong><br \/><strong>\u2193<\/strong><br \/><strong>Formazione di archi elettrici \/ propagazione delle crepe<\/strong><br \/><strong>\u2193<\/strong><br \/><strong>Rottura del bersaglio<\/strong><\/p><p>Questo spiega perch\u00e9 il semplice aumento della densit\u00e0 media di un bersaglio ITO non elimina necessariamente la formazione di crepe.<\/p><p>Un bersaglio affidabile richiede una combinazione di <strong>alta densit\u00e0, uniformit\u00e0 strutturale, porosit\u00e0 controllata, dimensione appropriata dei grani, bassa tensione residua, elevata purezza e gestione termica efficace.<\/strong><\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-e836ab3 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"e836ab3\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Conclusione<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-66b7074 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"66b7074\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>L&#8217;esplosione del target ITO \u00e8 un fenomeno di guasto complesso che coinvolge <strong>la struttura di sinterizzazione, l&#8217;uniformit\u00e0 della densit\u00e0, la porosit\u00e0, la dimensione dei grani, le tensioni residue, i difetti interni, le condizioni di incollaggio, il raffreddamento e i parametri di sputtering.<\/strong><\/p><p>Tra questi fattori, la qualit\u00e0 della sinterizzazione \u00e8 particolarmente importante poich\u00e9 determina la stabilit\u00e0 meccanica e termica iniziale del bersaglio.<\/p><p>Un bersaglio ITO ad alte prestazioni dovrebbe quindi garantire non solo un\u2019elevata densit\u00e0, ma anche <strong>una densit\u00e0 uniforme, una distribuzione controllata dei pori, una struttura granulare omogenea, basse sollecitazioni residue, elevata purezza e difetti interni minimi.<\/strong><\/p><p>Man mano che i processi di sputtering si orientano verso bersagli di dimensioni maggiori e densit\u00e0 di potenza pi\u00f9 elevate, il controllo preciso di questi parametri diventa sempre pi\u00f9 importante.<\/p><p>In definitiva, la chiave per prevenire la formazione di crepe nei target ITO non \u00e8 una singola regolazione del processo, ma un sistema completo di controllo della produzione e dello sputtering che integri <strong>la preparazione della polvere, la formatura, la sinterizzazione, il raffreddamento, la lavorazione meccanica, l\u2019incollaggio, l\u2019ispezione e l\u2019ottimizzazione del processo.<\/strong><\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-bedc3d1 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"bedc3d1\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Domande frequenti<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-f187569 elementor-widget elementor-widget-n-accordion\" data-id=\"f187569\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-settings=\"{&quot;default_state&quot;:&quot;expanded&quot;,&quot;max_items_expended&quot;:&quot;one&quot;,&quot;n_accordion_animation_duration&quot;:{&quot;unit&quot;:&quot;ms&quot;,&quot;size&quot;:400,&quot;sizes&quot;:[]}}\" data-widget_type=\"nested-accordion.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t<div class=\"e-n-accordion\" aria-label=\"Accordion. Open links with Enter or Space, close with Escape, and navigate with Arrow Keys\">\n\t\t\t\t\t\t<details id=\"e-n-accordion-item-2530\" class=\"e-n-accordion-item\" open>\n\t\t\t\t<summary class=\"e-n-accordion-item-title\" data-accordion-index=\"1\" tabindex=\"0\" aria-expanded=\"true\" aria-controls=\"e-n-accordion-item-2530\" >\n\t\t\t\t\t<span class='e-n-accordion-item-title-header'><div class=\"e-n-accordion-item-title-text\"> Perch\u00e9 i target di sputtering ITO si rompono durante il processo di sputtering? <\/div><\/span>\n\t\t\t\t\t\t\t<span class='e-n-accordion-item-title-icon'>\n\t\t\t<span class='e-opened' ><svg aria-hidden=\"true\" class=\"e-font-icon-svg e-fas-minus\" viewBox=\"0 0 448 512\" xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/2000\/svg\"><path d=\"M416 208H32c-17.67 0-32 14.33-32 32v32c0 17.67 14.33 32 32 32h384c17.67 0 32-14.33 32-32v-32c0-17.67-14.33-32-32-32z\"><\/path><\/svg><\/span>\n\t\t\t<span class='e-closed'><svg aria-hidden=\"true\" class=\"e-font-icon-svg e-fas-plus\" viewBox=\"0 0 448 512\" xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/2000\/svg\"><path d=\"M416 208H272V64c0-17.67-14.33-32-32-32h-32c-17.67 0-32 14.33-32 32v144H32c-17.67 0-32 14.33-32 32v32c0 17.67 14.33 32 32 32h144v144c0 17.67 14.33 32 32 32h32c17.67 0 32-14.33 32-32V304h144c17.67 0 32-14.33 32-32v-32c0-17.67-14.33-32-32-32z\"><\/path><\/svg><\/span>\n\t\t<\/span>\n\n\t\t\t\t\t\t<\/summary>\n\t\t\t\t<div role=\"region\" aria-labelledby=\"e-n-accordion-item-2530\" class=\"elementor-element elementor-element-c1bb1ff e-con-full e-flex e-con e-child\" data-id=\"c1bb1ff\" data-element_type=\"container\" data-e-type=\"container\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-e05f378 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"e05f378\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>I bersagli di sputtering ITO possono rompersi a causa di una combinazione di densit\u00e0 non uniforme, pori interni, tensioni residue, gradienti termici, difetti microstrutturali, scarso legame e carico termico eccessivo durante lo sputtering. Le microfessure o le zone deboli gi\u00e0 presenti possono espandersi a seguito del ripetuto bombardamento ionico e dei cicli termici.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/details>\n\t\t\t\t\t\t<details id=\"e-n-accordion-item-2531\" class=\"e-n-accordion-item\" >\n\t\t\t\t<summary class=\"e-n-accordion-item-title\" data-accordion-index=\"2\" tabindex=\"-1\" aria-expanded=\"false\" aria-controls=\"e-n-accordion-item-2531\" >\n\t\t\t\t\t<span class='e-n-accordion-item-title-header'><div class=\"e-n-accordion-item-title-text\"> Qual \u00e8 la causa principale dell'esplosione del bersaglio ITO? <\/div><\/span>\n\t\t\t\t\t\t\t<span class='e-n-accordion-item-title-icon'>\n\t\t\t<span class='e-opened' ><svg aria-hidden=\"true\" class=\"e-font-icon-svg e-fas-minus\" viewBox=\"0 0 448 512\" xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/2000\/svg\"><path d=\"M416 208H32c-17.67 0-32 14.33-32 32v32c0 17.67 14.33 32 32 32h384c17.67 0 32-14.33 32-32v-32c0-17.67-14.33-32-32-32z\"><\/path><\/svg><\/span>\n\t\t\t<span class='e-closed'><svg aria-hidden=\"true\" class=\"e-font-icon-svg e-fas-plus\" viewBox=\"0 0 448 512\" xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/2000\/svg\"><path d=\"M416 208H272V64c0-17.67-14.33-32-32-32h-32c-17.67 0-32 14.33-32 32v144H32c-17.67 0-32 14.33-32 32v32c0 17.67 14.33 32 32 32h144v144c0 17.67 14.33 32 32 32h32c17.67 0 32-14.33 32-32V304h144c17.67 0 32-14.33 32-32v-32c0-17.67-14.33-32-32-32z\"><\/path><\/svg><\/span>\n\t\t<\/span>\n\n\t\t\t\t\t\t<\/summary>\n\t\t\t\t<div role=\"region\" aria-labelledby=\"e-n-accordion-item-2531\" class=\"elementor-element elementor-element-fbbe1c6 e-con-full e-flex e-con e-child\" data-id=\"fbbe1c6\" data-element_type=\"container\" data-e-type=\"container\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-48c15f4 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"48c15f4\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Di solito non esiste una causa unica. Una densit\u00e0 di sinterizzazione non uniforme, difetti interni, tensioni termiche residue e un\u2019insufficiente dissipazione del calore sono i principali fattori che contribuiscono a questo fenomeno. Un\u2019elevata potenza di sputtering o una elevata densit\u00e0 di potenza possono aumentare ulteriormente le tensioni termiche e innescare la propagazione di crepe o la formazione di archi elettrici anomali.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/details>\n\t\t\t\t\t\t<details id=\"e-n-accordion-item-2532\" class=\"e-n-accordion-item\" >\n\t\t\t\t<summary class=\"e-n-accordion-item-title\" data-accordion-index=\"3\" tabindex=\"-1\" aria-expanded=\"false\" aria-controls=\"e-n-accordion-item-2532\" >\n\t\t\t\t\t<span class='e-n-accordion-item-title-header'><div class=\"e-n-accordion-item-title-text\"> Il raffreddamento rapido pu\u00f2 causare la formazione di crepe nel bersaglio ITO? <\/div><\/span>\n\t\t\t\t\t\t\t<span class='e-n-accordion-item-title-icon'>\n\t\t\t<span class='e-opened' ><svg aria-hidden=\"true\" class=\"e-font-icon-svg e-fas-minus\" viewBox=\"0 0 448 512\" xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/2000\/svg\"><path d=\"M416 208H32c-17.67 0-32 14.33-32 32v32c0 17.67 14.33 32 32 32h384c17.67 0 32-14.33 32-32v-32c0-17.67-14.33-32-32-32z\"><\/path><\/svg><\/span>\n\t\t\t<span class='e-closed'><svg aria-hidden=\"true\" class=\"e-font-icon-svg e-fas-plus\" viewBox=\"0 0 448 512\" xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/2000\/svg\"><path d=\"M416 208H272V64c0-17.67-14.33-32-32-32h-32c-17.67 0-32 14.33-32 32v144H32c-17.67 0-32 14.33-32 32v32c0 17.67 14.33 32 32 32h144v144c0 17.67 14.33 32 32 32h32c17.67 0 32-14.33 32-32V304h144c17.67 0 32-14.33 32-32v-32c0-17.67-14.33-32-32-32z\"><\/path><\/svg><\/span>\n\t\t<\/span>\n\n\t\t\t\t\t\t<\/summary>\n\t\t\t\t<div role=\"region\" aria-labelledby=\"e-n-accordion-item-2532\" class=\"elementor-element elementor-element-3f6b8b8 e-con-full e-flex e-con e-child\" data-id=\"3f6b8b8\" data-element_type=\"container\" data-e-type=\"container\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-25dcf9c elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"25dcf9c\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>S\u00ec. Un raffreddamento rapido o non uniforme pu\u00f2 generare gradienti di temperatura tra le diverse zone del bersaglio in ITO. Poich\u00e9 i materiali ceramici subiscono una contrazione termica durante il raffreddamento, tali gradienti possono generare tensioni residue e aumentare il rischio di formazione di microfessure o di propagazione delle fessure.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/details>\n\t\t\t\t\t\t<details id=\"e-n-accordion-item-2533\" class=\"e-n-accordion-item\" >\n\t\t\t\t<summary class=\"e-n-accordion-item-title\" data-accordion-index=\"4\" tabindex=\"-1\" aria-expanded=\"false\" aria-controls=\"e-n-accordion-item-2533\" >\n\t\t\t\t\t<span class='e-n-accordion-item-title-header'><div class=\"e-n-accordion-item-title-text\"> Come posso evitare l'esplosione del bersaglio ITO durante la deposizione per sputtering? <\/div><\/span>\n\t\t\t\t\t\t\t<span class='e-n-accordion-item-title-icon'>\n\t\t\t<span class='e-opened' ><svg aria-hidden=\"true\" class=\"e-font-icon-svg e-fas-minus\" viewBox=\"0 0 448 512\" xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/2000\/svg\"><path d=\"M416 208H32c-17.67 0-32 14.33-32 32v32c0 17.67 14.33 32 32 32h384c17.67 0 32-14.33 32-32v-32c0-17.67-14.33-32-32-32z\"><\/path><\/svg><\/span>\n\t\t\t<span class='e-closed'><svg aria-hidden=\"true\" class=\"e-font-icon-svg e-fas-plus\" viewBox=\"0 0 448 512\" xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/2000\/svg\"><path d=\"M416 208H272V64c0-17.67-14.33-32-32-32h-32c-17.67 0-32 14.33-32 32v144H32c-17.67 0-32 14.33-32 32v32c0 17.67 14.33 32 32 32h144v144c0 17.67 14.33 32 32 32h32c17.67 0 32-14.33 32-32V304h144c17.67 0 32-14.33 32-32v-32c0-17.67-14.33-32-32-32z\"><\/path><\/svg><\/span>\n\t\t<\/span>\n\n\t\t\t\t\t\t<\/summary>\n\t\t\t\t<div role=\"region\" aria-labelledby=\"e-n-accordion-item-2533\" class=\"elementor-element elementor-element-e073a78 e-flex e-con-boxed e-con e-child\" data-id=\"e073a78\" data-element_type=\"container\" data-e-type=\"container\">\n\t\t\t\t\t<div class=\"e-con-inner\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-c0b4c15 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"c0b4c15\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>\u00c8 possibile ridurre i difetti del bersaglio ITO controllando la qualit\u00e0 della polvere, la densit\u00e0 del corpo verde, le condizioni di sinterizzazione e raffreddamento, la struttura granulare, i difetti interni, l\u2019adesione del bersaglio e l\u2019efficienza di raffreddamento. Durante la polverizzazione, sono importanti anche una densit\u00e0 di potenza adeguata, una corretta gestione termica e la stabilit\u00e0 del processo.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/details>\n\t\t\t\t\t\t<details id=\"e-n-accordion-item-2534\" class=\"e-n-accordion-item\" >\n\t\t\t\t<summary class=\"e-n-accordion-item-title\" data-accordion-index=\"5\" tabindex=\"-1\" aria-expanded=\"false\" aria-controls=\"e-n-accordion-item-2534\" >\n\t\t\t\t\t<span class='e-n-accordion-item-title-header'><div class=\"e-n-accordion-item-title-text\"> Una maggiore densit\u00e0 target dell'ITO garantisce sempre prestazioni di sputtering migliori? <\/div><\/span>\n\t\t\t\t\t\t\t<span class='e-n-accordion-item-title-icon'>\n\t\t\t<span class='e-opened' ><svg aria-hidden=\"true\" class=\"e-font-icon-svg e-fas-minus\" viewBox=\"0 0 448 512\" xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/2000\/svg\"><path d=\"M416 208H32c-17.67 0-32 14.33-32 32v32c0 17.67 14.33 32 32 32h384c17.67 0 32-14.33 32-32v-32c0-17.67-14.33-32-32-32z\"><\/path><\/svg><\/span>\n\t\t\t<span class='e-closed'><svg aria-hidden=\"true\" class=\"e-font-icon-svg e-fas-plus\" viewBox=\"0 0 448 512\" xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/2000\/svg\"><path d=\"M416 208H272V64c0-17.67-14.33-32-32-32h-32c-17.67 0-32 14.33-32 32v144H32c-17.67 0-32 14.33-32 32v32c0 17.67 14.33 32 32 32h144v144c0 17.67 14.33 32 32 32h32c17.67 0 32-14.33 32-32V304h144c17.67 0 32-14.33 32-32v-32c0-17.67-14.33-32-32-32z\"><\/path><\/svg><\/span>\n\t\t<\/span>\n\n\t\t\t\t\t\t<\/summary>\n\t\t\t\t<div role=\"region\" aria-labelledby=\"e-n-accordion-item-2534\" class=\"elementor-element elementor-element-c81e74a e-flex e-con-boxed e-con e-child\" data-id=\"c81e74a\" data-element_type=\"container\" data-e-type=\"container\">\n\t\t\t\t\t<div class=\"e-con-inner\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-b81c11b elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"b81c11b\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Non necessariamente. L&#8217;alta densit\u00e0 \u00e8 importante, ma la qualit\u00e0 del bersaglio dipende anche dall&#8217;uniformit\u00e0 della densit\u00e0, dalla distribuzione dei pori, dalla granulometria, dalle sollecitazioni residue, dalla purezza chimica e dall&#8217;integrit\u00e0 interna. Un bersaglio altamente denso, ma con sollecitazioni interne significative o disomogeneit\u00e0 strutturali, pu\u00f2 comunque presentare fessurazioni o scariche anomale.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/details>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-2388eee e-con-full e-flex e-con e-child\" data-id=\"2388eee\" data-element_type=\"container\" data-e-type=\"container\" data-settings=\"{&quot;background_background&quot;:&quot;classic&quot;}\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-cab56dc elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"cab56dc\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h3 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Riferimenti<\/h3>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-3145bb7 elementor-icon-list--layout-traditional elementor-list-item-link-full_width elementor-widget elementor-widget-icon-list\" data-id=\"3145bb7\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"icon-list.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t<ul class=\"elementor-icon-list-items\">\n\t\t\t\t\t\t\t<li class=\"elementor-icon-list-item\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<span class=\"elementor-icon-list-text\">[1] Medvedovski, E., et al. (2008). Ceramiche avanzate a base di ossido di indio e stagno per bersagli di sputtering. Ceramics International, 34(5), 1173\u20131182.<\/span>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/li>\n\t\t\t\t\t\t\t\t<li class=\"elementor-icon-list-item\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<span class=\"elementor-icon-list-text\">[2] Confronto tra le microstrutture dei bersagli di sputtering ITO preparati con polveri di ossido di indio drogato con stagno e polveri miste di In\u2082O\u2083-SnO\u2082. (2015). Rare Metal Materials and Engineering, 44(12), 2937\u20132942.<\/span>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/li>\n\t\t\t\t\t\t\t\t<li class=\"elementor-icon-list-item\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<span class=\"elementor-icon-list-text\">[3] Omata, T., Kita, M., Okada, H., Otsuka-Yao-Matsuo, S., Ono, N. e Ikawa, H. (2006). Caratterizzazione di bersagli di sputtering in ossido di indio-stagno che presentano diverse densit\u00e0 di formazione di noduli. Thin Solid Films, 503(1\u20132), 22\u201328.<\/span>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/li>\n\t\t\t\t\t\t\t\t<li class=\"elementor-icon-list-item\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<span class=\"elementor-icon-list-text\">[4] Effetto della dispersione dell\u2019ossido di stagno sulla formazione di noduli nella deposizione per sputtering dell\u2019ITO. (2002). Vacuum, 66(3\u20134), 221\u2013226.<\/span>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/li>\n\t\t\t\t\t\t\t\t<li class=\"elementor-icon-list-item\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<span class=\"elementor-icon-list-text\">[5] Rivestimenti in ossido di indio-stagno per applicazioni nel settore fotovoltaico e dei display, depositati mediante bersagli ceramici rotanti: recenti approfondimenti sulla stabilit\u00e0 del processo e sul livello di drogaggio. (2013). Thin Solid Films, 532, 94\u201397.<\/span>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/li>\n\t\t\t\t\t\t<\/ul>\n\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-e6ce3f2 e-con-full e-flex e-con e-child\" data-id=\"e6ce3f2\" data-element_type=\"container\" data-e-type=\"container\" data-settings=\"{&quot;background_background&quot;:&quot;classic&quot;}\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-9eb6552 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"9eb6552\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h3 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Ulteriori approfondimenti<\/h3>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-647f30a elementor-icon-list--layout-traditional elementor-list-item-link-full_width elementor-widget elementor-widget-icon-list\" data-id=\"647f30a\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"icon-list.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t<ul class=\"elementor-icon-list-items\">\n\t\t\t\t\t\t\t<li class=\"elementor-icon-list-item\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<a href=\"https:\/\/vimaterial.de\/it\/obiettivi-di-ossido-di-indio-stagno-ito-esplorazione-delle-proprieta-e-delle-applicazioni-uniche\/\">\n\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<span class=\"elementor-icon-list-icon\">\n\t\t\t\t\t\t\t<svg aria-hidden=\"true\" class=\"e-font-icon-svg e-far-arrow-alt-circle-right\" viewBox=\"0 0 512 512\" xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/2000\/svg\"><path d=\"M504 256C504 119 393 8 256 8S8 119 8 256s111 248 248 248 248-111 248-248zm-448 0c0-110.5 89.5-200 200-200s200 89.5 200 200-89.5 200-200 200S56 366.5 56 256zm72 20v-40c0-6.6 5.4-12 12-12h116v-67c0-10.7 12.9-16 20.5-8.5l99 99c4.7 4.7 4.7 12.3 0 17l-99 99c-7.6 7.6-20.5 2.2-20.5-8.5v-67H140c-6.6 0-12-5.4-12-12z\"><\/path><\/svg>\t\t\t\t\t\t<\/span>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<span class=\"elementor-icon-list-text\">Target di ossido di indio e stagno (ITO) \u2013 Panoramica sulla composizione, le propriet\u00e0, la preparazione e le applicazioni dei target ITO.<\/span>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/a>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/li>\n\t\t\t\t\t\t\t\t<li class=\"elementor-icon-list-item\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<a href=\"https:\/\/vimaterial.de\/it\/formazione-di-noduli-sullito-durante-la-deposizione-per-sputtering-cause-effetti-e-soluzioni\/\">\n\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<span class=\"elementor-icon-list-icon\">\n\t\t\t\t\t\t\t<svg aria-hidden=\"true\" class=\"e-font-icon-svg e-far-arrow-alt-circle-right\" viewBox=\"0 0 512 512\" xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/2000\/svg\"><path d=\"M504 256C504 119 393 8 256 8S8 119 8 256s111 248 248 248 248-111 248-248zm-448 0c0-110.5 89.5-200 200-200s200 89.5 200 200-89.5 200-200 200S56 366.5 56 256zm72 20v-40c0-6.6 5.4-12 12-12h116v-67c0-10.7 12.9-16 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data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Cerchi target per sputtering ITO di alta qualit\u00e0?<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-b3eb951 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"b3eb951\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Se siete alla ricerca di target di sputtering ITO di alta qualit\u00e0 per display, impianti fotovoltaici, pannelli touch o altre applicazioni che prevedono l&#8217;uso di pellicole conduttive trasparenti, contattateci per conoscere i livelli di purezza disponibili, le dimensioni dei target, le opzioni di incollaggio e le soluzioni personalizzate.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-797e654 e-con-full e-flex e-con e-child\" data-id=\"797e654\" data-element_type=\"container\" data-e-type=\"container\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-0edfc6b elementor-widget elementor-widget-button\" data-id=\"0edfc6b\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"button.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<div class=\"elementor-button-wrapper\">\n\t\t\t\t\t<a class=\"elementor-button elementor-button-link elementor-size-sm\" href=\"#elementor-action%3Aaction%3Dpopup%3Aopen%26settings%3DeyJpZCI6MTAzNTA3MCwidG9nZ2xlIjpmYWxzZX0%3D\">\n\t\t\t\t\t\t<span class=\"elementor-button-content-wrapper\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<span class=\"elementor-button-text\">Richiedi un preventivo<\/span>\n\t\t\t\t\t<\/span>\n\t\t\t\t\t<\/a>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-d0a0fa6 elementor-widget elementor-widget-button\" data-id=\"d0a0fa6\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"button.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<div class=\"elementor-button-wrapper\">\n\t\t\t\t\t<a class=\"elementor-button elementor-button-link elementor-size-sm\" href=\"https:\/\/vimaterial.de\/it\/contatto\/\">\n\t\t\t\t\t\t<span class=\"elementor-button-content-wrapper\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<span class=\"elementor-button-text\">Contattaci<\/span>\n\t\t\t\t\t<\/span>\n\t\t\t\t\t<\/a>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>I bersagli di sputtering in ITO (ossido di indio e stagno) sono ampiamente utilizzati per produrre film conduttivi trasparenti per display, pannelli touch, dispositivi fotovoltaici e altre applicazioni optoelettroniche. Durante lo sputtering magnetronico, tuttavia, i target ITO possono sviluppare crepe, scheggiature, archi elettrici anomali o persino fratture improvvise, comunemente denominate &#8221; fessurazione dei target ITO&#8221; [&hellip;]<\/p>\n","protected":false},"author":5,"featured_media":1056213,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_acf_changed":false,"footnotes":""},"categories":[576,315,335],"tags":[316,401,577],"class_list":["post-1056212","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-deposizione-di-film-sottili","category-materiali-per-bersagli-di-sputtering","category-materiali-semiconduttori","tag-bersagli-per-sputtering","tag-guide-tecniche","tag-target-di-sputtering-ito"],"acf":[],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/vimaterial.de\/it\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/1056212","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/vimaterial.de\/it\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/vimaterial.de\/it\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/vimaterial.de\/it\/wp-json\/wp\/v2\/users\/5"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/vimaterial.de\/it\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=1056212"}],"version-history":[{"count":2,"href":"https:\/\/vimaterial.de\/it\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/1056212\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":1056216,"href":"https:\/\/vimaterial.de\/it\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/1056212\/revisions\/1056216"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/vimaterial.de\/it\/wp-json\/wp\/v2\/media\/1056213"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/vimaterial.de\/it\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=1056212"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/vimaterial.de\/it\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=1056212"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/vimaterial.de\/it\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=1056212"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}