La cible en carbure de tantale est une cible de pulv\u00e9risation importante avec une large gamme d\u2019applications.<\/p>\n
Informations de base :<\/p>\n
Composition : principalement compos\u00e9 de carbure de tantale (TaC), un compos\u00e9 form\u00e9 d\u2019\u00e9l\u00e9ments tantale (Ta) et carbone (C).
\nDuret\u00e9 \u00e9lev\u00e9e : duret\u00e9 de Mohs entre 9-10, comparable \u00e0 celle du diamant.
\nPoint de fusion \u00e9lev\u00e9 : point de fusion jusqu\u2019\u00e0 3880\u00b0C.
\nBonne conductivit\u00e9 \u00e9lectrique : faible r\u00e9sistance \u00e0 temp\u00e9rature ambiante, bonne conductivit\u00e9 \u00e9lectrique, ce qui est propice \u00e0 la formation d\u2019un plasma stable dans le processus de pulv\u00e9risation, am\u00e9liore l\u2019efficacit\u00e9 de pulv\u00e9risation et la qualit\u00e9 du film.
\nHaute densit\u00e9 : g\u00e9n\u00e9ralement sup\u00e9rieure \u00e0 14 g\/cm\u00b3, ce qui fait que le mat\u00e9riau cible dans le processus de pulv\u00e9risation a une bonne stabilit\u00e9, n\u2019est pas facile d\u2019\u00eatre impact\u00e9 par les particules de pulv\u00e9risation et le d\u00e9placement ou la d\u00e9formation.<\/p>\n
Domaines d\u2019application :<\/p>\n
Industrie des semi-conducteurs : Dans la fabrication de semi-conducteurs, les cibles en carbure de tantale peuvent \u00eatre utilis\u00e9es dans le processus de d\u00e9p\u00f4t physique en phase vapeur (PVD) pour pr\u00e9parer des films minces avec des fonctions sp\u00e9cifiques, telles que des films conducteurs et des couches barri\u00e8res.<\/p>\n
Optique\u00a0: Utilis\u00e9s dans la pr\u00e9paration de films optiques, tels que les films antireflets, les films d\u2019am\u00e9lioration de la transmission, etc., ils peuvent am\u00e9liorer les performances des composants optiques et augmenter la r\u00e9solution et la transmittance des syst\u00e8mes optiques.<\/p>\n
Rev\u00eatement dur : En raison de sa duret\u00e9 \u00e9lev\u00e9e et de sa bonne r\u00e9sistance \u00e0 l\u2019abrasion, il peut \u00eatre utilis\u00e9 comme mat\u00e9riau de rev\u00eatement dur sur les surfaces des outils de coupe, des moules, etc. pour am\u00e9liorer leur dur\u00e9e de vie et leurs performances de coupe.<\/p>\n
Domaine a\u00e9rospatial : Dans le domaine a\u00e9rospatial, les cibles en carbure de tantale peuvent \u00eatre utilis\u00e9es pour pr\u00e9parer des mat\u00e9riaux structurels \u00e0 haute temp\u00e9rature et des rev\u00eatements r\u00e9sistants \u00e0 l\u2019usure, tels que des aubes de turbine de moteur \u00e0 r\u00e9action et des rev\u00eatements de tuy\u00e8re de fus\u00e9e, etc., ce qui peut am\u00e9liorer leurs performances anti-br\u00fblure et prolonger leur dur\u00e9e de vie.<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"
La cible en carbure de tantale est une cible de pulv\u00e9risation importante avec une large gamme d\u2019applications.<\/p>\n
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