Les cibles au nitrure de tantale sont un outil important pour la pr\u00e9paration des mat\u00e9riaux \u00e0 couche mince.<\/p>\n
Informations de base :<\/p>\n
Composition chimique : le composant principal est le nitrure de tantale (TaN), compos\u00e9 d\u2019\u00e9l\u00e9ments tantale (Ta) et azot\u00e9 (N).
\nStructure cristalline : Structure cristalline g\u00e9n\u00e9ralement hexagonale, la constante du r\u00e9seau variera en fonction du processus de pr\u00e9paration et des conditions.
\nApparence\u00a0: Appara\u00eet g\u00e9n\u00e9ralement sous la forme d\u2019un solide grumeleux jaune-brun, apr\u00e8s un traitement fin, la surface est relativement plate et lisse.
\nDensit\u00e9 : Densit\u00e9 relativement \u00e9lev\u00e9e, environ 14,36 g\/cm\u00b3.
\nDuret\u00e9\u00a0: duret\u00e9 \u00e9lev\u00e9e, avec une bonne r\u00e9sistance \u00e0 l\u2019abrasion et aux rayures.
\nPoint de fusion : point de fusion jusqu\u2019\u00e0 3090\u00b0C, avec une excellente r\u00e9sistance aux hautes temp\u00e9ratures.<\/p>\n
Domaines d\u2019application :<\/p>\n
Industrie des semi-conducteurs : Dans la fabrication de semi-conducteurs, il est utilis\u00e9 dans les processus de d\u00e9p\u00f4t physique en phase vapeur (PVD) et de d\u00e9p\u00f4t chimique en phase vapeur (CVD) pour pr\u00e9parer des films minces conducteurs, des couches barri\u00e8res, etc., par exemple, il joue le r\u00f4le de connecter des circuits et d\u2019emp\u00eacher la diffusion d\u2019ions m\u00e9talliques dans les circuits int\u00e9gr\u00e9s.<\/p>\n
Champ optique : Il est utilis\u00e9 pour pr\u00e9parer des films optiques, tels que des films antireflets, des films d\u2019am\u00e9lioration de la transmittance, etc., qui peuvent am\u00e9liorer les performances des composants optiques et augmenter la r\u00e9solution et la transmittance des syst\u00e8mes optiques.<\/p>\n
Champ des composants \u00e9lectroniques : Il peut \u00eatre utilis\u00e9 pour fabriquer des composants \u00e9lectroniques tels que des r\u00e9sistances \u00e0 puce, et les r\u00e9sistances au nitrure de tantale peuvent r\u00e9sister \u00e0 l\u2019\u00e9rosion de la vapeur d\u2019eau et augmenter la stabilit\u00e9 des composants \u00e9lectroniques.<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"
Les cibles au nitrure de tantale sont un outil important pour la pr\u00e9paration des mat\u00e9riaux \u00e0 couche mince.<\/p>\n
Industrie des semi-conducteurs : Dans la fabrication de semi-conducteurs, il est utilis\u00e9 dans les processus de d\u00e9p\u00f4t physique en phase vapeur (PVD) et de d\u00e9p\u00f4t chimique en phase vapeur (CVD) pour pr\u00e9parer des films minces conducteurs, des couches barri\u00e8res, etc., par exemple, il joue le r\u00f4le de connecter des circuits et d\u2019emp\u00eacher la diffusion d\u2019ions m\u00e9talliques dans les circuits int\u00e9gr\u00e9s.<\/p>\n
Champ optique\u00a0: Il est utilis\u00e9 pour pr\u00e9parer des films optiques, tels que des films antireflets, des films d\u2019am\u00e9lioration de la transmittance, etc., qui peuvent am\u00e9liorer les performances des composants optiques et augmenter la r\u00e9solution et la transmittance des syst\u00e8mes optiques.<\/p>\n
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