{"id":997039,"date":"2024-05-27T09:08:21","date_gmt":"2024-05-27T01:08:21","guid":{"rendered":"https:\/\/vimaterial.de\/notre-guide-des-cibles-de-pulverisation\/"},"modified":"2025-09-17T16:09:43","modified_gmt":"2025-09-17T08:09:43","slug":"notre-guide-des-cibles-de-pulverisation","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/vimaterial.de\/fr\/notre-guide-des-cibles-de-pulverisation\/","title":{"rendered":"Comment faire une cible de pulv\u00e9risation ?"},"content":{"rendered":"\t\t
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Les cibles de pulv\u00e9risation<\/a><\/span> cathodique sont des mat\u00e9riaux utilis\u00e9s pour le d\u00e9p\u00f4t de couches minces. La technologie de pulv\u00e9risation cathodique permet de pulv\u00e9riser des atomes ou des mol\u00e9cules de mat\u00e9riaux \u00e0 partir de cibles solides, puis de former des couches minces sur des substrats. Les cibles de pulv\u00e9risation cathodique sont largement utilis\u00e9es dans les secteurs de l’\u00e9lectronique et de l’information, notamment pour les puces semi-conductrices, les cellules solaires, les \u00e9crans plats, le stockage d’informations et d’autres domaines. <\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t

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\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\"Magnetron\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t
Principe de fonctionnement de la pulv\u00e9risation magn\u00e9tron<\/figcaption>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/figure>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t
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Flux de processus cible de pulv\u00e9risation cathodique<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t
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Poudre de mati\u00e8re premi\u00e8re – fusion de poudre – m\u00e9lange de poudre – moulage par pressage – frittage sous atmosph\u00e8re – traitement du plastique – traitement thermique – d\u00e9tection de d\u00e9fauts par ultrasons – d\u00e9coupe \u00e0 l’eau – usinage – m\u00e9tallisation – liaison – contr\u00f4le par ultrasons – nettoyage par ultrasons – inspection – exp\u00e9dition.<\/p>

Les principaux proc\u00e9d\u00e9s sont les suivants :<\/p>

Fusion de poudre:<\/b> la poudre de mati\u00e8re premi\u00e8re est soumise \u00e0 un frittage sous atmosph\u00e8re pr\u00e9liminaire afin de contr\u00f4ler sa teneur en gaz.<\/p>

M\u00e9lange de poudre: <\/b>le mat\u00e9riau cible poss\u00e8de une formule unique, la teneur de chaque composant doit \u00eatre contr\u00f4l\u00e9e avec pr\u00e9cision et la teneur en impuret\u00e9s strictement limit\u00e9e. Dans le proc\u00e9d\u00e9 de m\u00e9tallurgie des poudres, il est n\u00e9cessaire de m\u00e9langer parfaitement les \u00e9l\u00e9ments de mani\u00e8re homog\u00e8ne et d’obtenir une distribution granulom\u00e9trique uniforme pour \u00e9viter toute pollution. Une poudre composite m\u00e9lang\u00e9e doit \u00eatre pr\u00e9par\u00e9e par des proc\u00e9d\u00e9s sp\u00e9ciaux. <\/p>

Moulage par pressage:<\/b> le mat\u00e9riau cible pr\u00e9par\u00e9 par m\u00e9tallurgie des poudres doit \u00eatre pr\u00e9-press\u00e9 pour obtenir un corps cru de densit\u00e9 moyenne. L’uniformit\u00e9 de sa densit\u00e9 et ses d\u00e9fauts internes affectent le rendement du frittage \u00e0 haute temp\u00e9rature \u00e0 l’\u00e9tape ult\u00e9rieure. <\/p>

Atmosphere sintering: <\/b>The pre-pressed green body needs to undergo one or more high-temperature sintering. Different sintering temperature curves are selected according to different materials, and different sintering environments, such as sintering atmosphere and sintering pressure, are selected to prepare high-density target blanks. <\/p>

Transformation plastique:<\/b> La billette m\u00e9tallique doit subir une d\u00e9formation plastique importante pour obtenir des dimensions de longueur, de largeur et d\u2019\u00e9paisseur suffisantes, et pour permettre aux grains internes de subir une d\u00e9formation en traction suffisante, g\u00e9n\u00e9rant ainsi suffisamment de dislocations internes. \uf075 Traitement thermique : Apr\u00e8s que la billette m\u00e9tallique ait subi une grande d\u00e9formation plastique, le processus de traitement thermique est s\u00e9lectionn\u00e9 en fonction des caract\u00e9ristiques des diff\u00e9rents mat\u00e9riaux, de sorte que le mat\u00e9riau m\u00e9tallique puisse \u00eatre recristallis\u00e9 et que la contrainte interne du mat\u00e9riau puisse \u00eatre \u00e9limin\u00e9e. <\/p>

D\u00e9tection de d\u00e9fauts par ultrasons:<\/b> Apr\u00e8s le traitement de l’\u00e9bauche cible, des ultrasons doivent \u00eatre utilis\u00e9s pour v\u00e9rifier la pr\u00e9sence de d\u00e9fauts dans le mat\u00e9riau. Une fois l’\u00e9bauche cible coll\u00e9e \u00e0 la plaque arri\u00e8re, un scanner \u00e0 ultrasons \u00e0 immersion dans l’eau doit \u00eatre utilis\u00e9 pour d\u00e9tecter la couche de liaison et v\u00e9rifier si la zone de collage est conforme \u00e0 la norme. <\/p>

Usinage m\u00e9canique: <\/b>L’\u00e9bauche cible doit \u00eatre usin\u00e9e par formage m\u00e9canique pr\u00e9cis. La plaque arri\u00e8re utilis\u00e9e en combinaison avec l’\u00e9bauche cible doit pr\u00e9senter une pr\u00e9cision dimensionnelle et une r\u00e9sistance m\u00e9canique extr\u00eamement \u00e9lev\u00e9es gr\u00e2ce \u00e0 sa coordination pr\u00e9cise avec l’\u00e9quipement de rev\u00eatement et le refroidissement par eau haute pression. La difficult\u00e9 d’usinage est relativement \u00e9lev\u00e9e, en particulier pour les plaques arri\u00e8re avec un canal d’eau de circulation interne. En raison de la particularit\u00e9 du mat\u00e9riau, le soudage ferm\u00e9 du canal d’eau est tr\u00e8s difficile et n\u00e9cessite un proc\u00e9d\u00e9 de soudage sp\u00e9cifique. <\/p>

M\u00e9tallisation:<\/b> Avant que la cible vierge et la plaque arri\u00e8re ne soient li\u00e9es, afin d’am\u00e9liorer les propri\u00e9t\u00e9s de mouillage du m\u00e9tal du mat\u00e9riau cible et du mat\u00e9riau cible et de la soudure, la surface de soudage doit \u00eatre pr\u00e9trait\u00e9e afin qu’une couche de transition soit plaqu\u00e9e sur la surface.<\/p>

Collage: <\/b>Most target materials cannot be directly installed for coating due to the physical or chemical properties of the material. Metal solder is needed to weld the target blank and the back plate together, and the effective bonding rate of the surface needs to reach a large area welding greater than 95%. The whole process needs to be carried out under high temperature and high pressure. <\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t

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\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\"zinc\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t
Cibles de pulv\u00e9risation cathodique rotative<\/figcaption>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/figure>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t
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CIBLE DE PULV\u00c9RISATION - PROCESSUS DE FABRICATION<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t
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La fabrication des cibles commence par une conception unique, adapt\u00e9e aux performances et aux exigences de l\u2019application en aval pr\u00e9vue. Ce processus implique des d\u00e9formations plastiques et des traitements thermiques r\u00e9p\u00e9t\u00e9s, suivis d\u2019un traitement m\u00e9canique, d\u2019un nettoyage, d\u2019un s\u00e9chage et d\u2019un conditionnement sous vide. <\/p>\n

Les principales m\u00e9thodes de pr\u00e9paration des cibles par pulv\u00e9risation cathodique sont actuellement le moulage et la m\u00e9tallurgie des poudres.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t

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Proc\u00e9d\u00e9 de pr\u00e9paration<\/th>\nType g\u00e9n\u00e9ral<\/th>\nCaract\u00e9ristiques<\/th>\n<\/tr>\n
Fusion et coulage<\/td>\nFusion par induction sous vide
Fusion par arc sous vide
Fusion par bombardement \u00e9lectronique sous vide<\/td>\n		Compar\u00e9es \u00e0 la m\u00e9thode des poudres, les cibles d’alliage obtenues par fusion pr\u00e9sentent une teneur en impuret\u00e9s plus faible, notamment en gaz, et se caract\u00e9risent par une \u00e9nergie et une densit\u00e9 \u00e9lev\u00e9es. Cependant, pour les alliages compos\u00e9s de m\u00e9taux pr\u00e9sentant des points de fusion et des densit\u00e9s tr\u00e8s variables, obtenir une composition uniforme des cibles d’alliage fondues est g\u00e9n\u00e9ralement difficile. <\/td>\n<\/tr>\n
Proc\u00e9d\u00e9 de m\u00e9tallurgie des poudres<\/td>\nPressage \u00e0 chaud
Pressage \u00e0 chaud sous vide
Pression isostatique \u00e0 chaud (HIP)<\/td>\n		Cette m\u00e9thode facilite l’obtention d’une structure uniforme \u00e0 grains fins, tout en pr\u00e9servant les mati\u00e8res premi\u00e8res et en am\u00e9liorant l’efficacit\u00e9 de la production. Les facteurs critiques incluent : le choix d’une poudre ultrafine et de haute puret\u00e9 comme mati\u00e8re premi\u00e8re ; l’utilisation de technologies de formage et de frittage permettant une densification rapide afin de garantir une faible porosit\u00e9 de la cible et de contr\u00f4ler la granulom\u00e9trie de cristallisation ; et un contr\u00f4le rigoureux de l’introduction d’impuret\u00e9s pendant le processus de pr\u00e9paration. <\/td>\n<\/tr>\n
Proc\u00e9d\u00e9 d’extrusion<\/td>\nExtrusion \u00e0 chaud\nExtrusion \u00e0 froid
Extrusion \u00e0 chaud<\/td>
Principalement utilis\u00e9 pour la pr\u00e9paration de cibles rotatives en m\u00e9tal et alliage pr\u00e9sentant une bonne plasticit\u00e9, comme les alliages aluminium-cuivre-zinc-nickel-chrome.<\/td>\n<\/tr>\n
Proc\u00e9d\u00e9 de projection plasma<\/td>\nSous vide\nStabilit\u00e9 \u00e0 l’eau
Stabilit\u00e9 au gaz
Projection plasma<\/td>
MPrincipalement utilis\u00e9 pour la pr\u00e9paration de cibles c\u00e9ramiques fragiles en m\u00e9tal et alliage, telles que le chrome m\u00e9tallique, le silicium, les alliages silicium-aluminium, les oxydes et autres cibles rotatives.<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t
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VI HALBLEITERMATERIAL GmbH propose une large gamme de mat\u00e9riaux pour cibles de pulv\u00e9risation cathodique haute puret\u00e9 et hautes performances, disponibles dans diverses formes et compositions. Notre gamme comprend des cibles de pulv\u00e9risation cathodique circulaires, rectangulaires, triangulaires, planes, rotatives et annulaires, avec des puret\u00e9s allant de 99,0 % \u00e0 99,9999 %. <\/p>

La fabrication sur mesure de la plupart des cibles de pulv\u00e9risation cathodique, de toutes formes et dimensions, est possible, \u00e0 partir des plans fournis. Pour les cibles de pulv\u00e9risation avec des contraintes techniques sur la taille maximale d’une seule pi\u00e8ce, les segments peuvent \u00eatre joints \u00e0 l’aide de joints bout \u00e0 bout ou coud\u00e9s pour former une cible de pulv\u00e9risation multi-segments. <\/p>

Si les mat\u00e9riaux\/sp\u00e9cifications requis pour la cible de pulv\u00e9risation cathodique ne sont pas r\u00e9pertori\u00e9s, nous vous invitons \u00e0 nous contacter.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t

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Qu\u2019est-ce que nous pouvons vous offrir ?<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t
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M\u00e9tal<\/th>\nAlliage<\/th>\nOxyde<\/th>\nC\u00e9ramique (sans oxyde)<\/th>\nChalcog\u00e9nure<\/th>\nM\u00e9tal pr\u00e9cieux<\/th>\nTerre rare<\/th>\nHalog\u00e9nure<\/th>\nCompos\u00e9<\/th>\n<\/tr>\n
Al<\/td>\nAlCo<\/td>\nAl\u2082O\u2083<\/td>\nAlN<\/td>\nBi\u2082Te\u2083<\/td>\nAg<\/td>\nCe<\/td>\nCsI<\/td>\nATO<\/td>\n<\/tr>\n
Ba<\/td>\nAlCr<\/td>\nAlON<\/td>\nB\u2084C<\/td>\nBiSbTe<\/td>\nAgCr<\/td>\nCeGd<\/td>\nInF\u2083<\/td>\nAZO<\/td>\n<\/tr>\n
Bi<\/td>\nAlCu<\/td>\nCdO<\/td>\nBN<\/td>\nBiSbSe<\/td>\nAgCu<\/td>\nCeSm<\/td>\nLiF<\/td>\nFTO<\/td>\n<\/tr>\n
Co<\/td>\nAlMg<\/td>\nCu\u2082O<\/td>\nCr\u2082AlC<\/td>\nCdS<\/td>\nAu<\/td>\nEr<\/td>\nMgF\u2082<\/td>\nIGZO<\/td>\n<\/tr>\n
Cu<\/td>\nAlNi<\/td>\nFe\u2083O\u2084<\/td>\nCrSi\u2082<\/td>\nFeS<\/td>\nIr<\/td>\nGd<\/td>\nPbCl\u2082<\/td>\nITO<\/td>\n<\/tr>\n
Fe<\/td>\nAlSi<\/td>\nGa\u2082O\u2083<\/td>\nGaN<\/td>\nGeS\u2082<\/td>\nIrMn<\/td>\nLa<\/td>\nYbF\u2083<\/td>\nIZO<\/td>\n<\/tr>\n
Ge<\/td>\nCoCr<\/td>\nHfO\u2082<\/td>\nMgSi\u2082<\/td>\nMoS\u2082<\/td>\nPd<\/td>\nLa\u2082O\u2083<\/td>\nKF<\/td>\nYSZ<\/td>\n<\/tr>\n
Hf<\/td>\nCrNb<\/td>\nIn\u2082O\u2083<\/td>\nMo\u2082C<\/td>\nMoSe\u2082<\/td>\nPdAg<\/td>\nLa\u2082Zr\u2082O\u2087<\/td>\nZnF\u2082<\/td>\nZTO<\/td>\n<\/tr>\n
In<\/td>\nCrSiAl<\/td>\nLi\u2082O<\/td>\nMoSi\u2082<\/td>\nNbSe\u2082<\/td>\nPdNi<\/td>\nLaB\u2086<\/td>\nMoCl\u2085<\/td>\nBaTiO\u2083<\/td>\n<\/tr>\n
Li<\/td>\nCuSn<\/td>\nMoO\u2083<\/td>\nNbN<\/td>\nSnS\u2082<\/td>\nPt<\/td>\nSm<\/td>\nNbCl\u2085<\/td>\nBaVO\u2083<\/td>\n<\/tr>\n
Mg<\/td>\nCuZn<\/td>\nNb\u2082O\u2085<\/td>\nSi\u2083N\u2084<\/td>\nZnS<\/td>\nRh<\/td>\nSmB\u2086<\/td>\nZrF\u2084<\/td>\nBiFeO\u2083<\/td>\n<\/tr>\n
Mn<\/td>\nFeCrAl<\/td>\nNiO<\/td>\nSiC<\/td>\nCdTe<\/td>\nRu<\/td>\nSmCo<\/td>\n\u2026<\/td>\nBiVO\u2084<\/td>\n<\/tr>\n
Mo<\/td>\nMoNb<\/td>\nSb\u2082O\u2085<\/td>\nTaC<\/td>\nZnSe<\/td>\n\u2026<\/td>\nTm<\/td>\n <\/td>\nKNbO\u2083<\/td>\n<\/tr>\n
Nb<\/td>\nMoTa<\/td>\nSiO<\/td>\nTaN<\/td>\nZnTe<\/td>\n <\/td>\nY<\/td>\n <\/td>\nLi\u2083PO\u2084<\/td>\n<\/tr>\n
Ni<\/td>\nMoW<\/td>\nSiO\u2082<\/td>\nTi\u2083SiC\u2082<\/td>\nCaSe<\/td>\n <\/td>\nYb<\/td>\n <\/td>\nLiCoPO\u2084<\/td>\n<\/tr>\n
Sb<\/td>\nNbTi<\/td>\nSnO\u2082<\/td>\nTiB\u2082<\/td>\nFeSe<\/td>\n <\/td>\nYb\u2082O\u2083<\/td>\n <\/td>\nLiSiO\u2084<\/td>\n<\/tr>\n
Sc<\/td>\nNbZr<\/td>\nTa\u2082O\u2085<\/td>\nTiN<\/td>\nCu\u2082Te<\/td>\n <\/td>\nYBCO<\/td>\n <\/td>\nLiFePO\u2084<\/td>\n<\/tr>\n
Se<\/td>\nNiAl<\/td>\nTiOx<\/td>\nVN<\/td>\nCuTe<\/td>\n <\/td>\nYPO\u2084<\/td>\n <\/td>\nMgTiO\u2083<\/td>\n<\/tr>\n
Si<\/td>\nNiCr<\/td>\nV\u2082O\u2085<\/td>\nVSi\u2082<\/td>\nNiTe<\/td>\n <\/td>\n\u2026<\/td>\n <\/td>\nMgSiO\u2083<\/td>\n<\/tr>\n
Sn<\/td>\nNiFe<\/td>\nZnO<\/td>\nWC<\/td>\nMoTe\u2082<\/td>\n <\/td>\n <\/td>\n <\/td>\nSrTiO\u2083<\/td>\n<\/tr>\n
Ta<\/td>\nNiSi<\/td>\nZrO\u2082<\/td>\nWSi\u2082<\/td>\n\u2026<\/td>\n <\/td>\n <\/td>\n <\/td>\nSrNbO\u2083<\/td>\n<\/tr>\n
Te<\/td>\nNiV<\/td>\n\u2026<\/td>\nZrB\u2082<\/td>\n <\/td>\n <\/td>\n <\/td>\n <\/td>\nZnTiO\u2083<\/td>\n<\/tr>\n
Ti<\/td>\nSiFe<\/td>\n <\/td>\nZrC<\/td>\n <\/td>\n <\/td>\n <\/td>\n <\/td>\nZrNbO\u2083<\/td>\n<\/tr>\n
V<\/td>\nTiAlSi<\/td>\n <\/td>\n\u2026<\/td>\n <\/td>\n <\/td>\n <\/td>\n <\/td>\n\u2026<\/td>\n<\/tr>\n
W<\/td>\nTiZr<\/td>\n <\/td>\n <\/td>\n <\/td>\n <\/td>\n <\/td>\n <\/td>\n <\/td>\n<\/tr>\n
Zn<\/td>\nWRe<\/td>\n <\/td>\n <\/td>\n <\/td>\n <\/td>\n <\/td>\n <\/td>\n <\/td>\n<\/tr>\n
Zr<\/td>\nWTi<\/td>\n <\/td>\n <\/td>\n <\/td>\n <\/td>\n <\/td>\n <\/td>\n <\/td>\n<\/tr>\n
\u2026<\/td>\nZnSn<\/td>\n <\/td>\n <\/td>\n <\/td>\n <\/td>\n <\/td>\n <\/td>\n <\/td>\n<\/tr>\n
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Les cibles de pulv\u00e9risation cathodique sont des mat\u00e9riaux utilis\u00e9s pour le d\u00e9p\u00f4t de couches minces. La technologie de pulv\u00e9risation cathodique permet de pulv\u00e9riser des atomes ou des mol\u00e9cules de mat\u00e9riaux \u00e0 partir de cibles solides, puis de former des couches minces sur des substrats. Les cibles de pulv\u00e9risation cathodique sont largement utilis\u00e9es dans les secteurs […]<\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":994566,"comment_status":"closed","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_acf_changed":false,"footnotes":""},"categories":[113],"tags":[],"class_list":["post-997039","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-non-classifiee"],"acf":[],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/vimaterial.de\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/997039","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/vimaterial.de\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/vimaterial.de\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/vimaterial.de\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/vimaterial.de\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=997039"}],"version-history":[{"count":3,"href":"https:\/\/vimaterial.de\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/997039\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":1045044,"href":"https:\/\/vimaterial.de\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/997039\/revisions\/1045044"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/vimaterial.de\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/media\/994566"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/vimaterial.de\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=997039"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/vimaterial.de\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=997039"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/vimaterial.de\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=997039"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}